一种新颖的载舟装置的制作方法

本实用新型涉及半导体和太阳能的制造领域，特别是涉及一种新颖的载舟装置。

背景技术：

在半导体和太阳能电池制造的过程中，离不开高温烘烤的工艺，比如扩散炉、氧化炉以及退火炉等。以扩散工艺为例，传统的衬底磷预扩散是将承载硅片的工艺舟设置于桨上方，桨位于工艺舟下方，通过操控桨实现将工艺舟缓缓推入炉管，随后开始后续工艺；完成扩散后，通过操控桨实现将工艺舟抽出炉管。由于产能要求不断提高，硅片的尺寸不断增大，相应的工艺舟的质量也随之增大，但是桨的长度和承重能力都是有限的，因此这就对桨在有限大小的情况下的负载和形变要求都更为严格。另一方面，随着桨的体积变大，虽然桨的承重能力增加了，但是桨自身的重量也增加了，同时承重后的质量增加更多，这对于桨的固定端的要求也相应提高了。因此在炉管直径一定的情况下，尽可能大的实现桨的承重能力是在半导体和太阳能电池加工过程中亟待解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种新颖的载舟装置，结构简单，使用方便。

一种新颖的载舟装置，包括桨；所述桨共两副，两副桨对称设置于舟的两侧。

进一步的，所述载舟装置还包括桨固定块，所述桨固定块设置于两副桨之间。

进一步的，所述桨包括两部分，分别为固定部以及支撑部；所述固定部与支撑部一体制成，固定部和支撑部平滑连接。

进一步的，所述固定部呈长条直管，固定部的截面为多边形；所述多边形可以是规则的多边形，也可以是不规则的多边形；固定部的内部镂空。

进一步的，所述固定部的截面为正方形。

进一步的，所述支撑部呈长条直管；支撑部的截面为扁平的矩形；支撑部的内部镂空。

进一步的，所述支撑部的长边长于固定部截面的边长，支撑部的短边短于固定部截面的边长；支撑部长边对应的侧面设置镂空一。

进一步的，所述桨固定块整体呈矩形，桨固定块两侧设置凹槽；所述凹槽用于设置桨的支撑部；支撑部与桨固定块通过销进行连接。

进一步的，舟的侧面设置桨支撑位；所述桨支撑位向舟的外侧延伸。

进一步的，所述桨的锋锐边缘进行磨钝处理。

本实用新型的有益效果为：

本实用通过设置两副桨，并且将两副桨设置于舟的侧面，相比传统采用单桨设置于舟的底部，本实用新型的桨的设置方式具备更大的承重能力；

通过将桨设置于舟的侧面，使炉内的上下空间更大，由于本实施例中的硅片为水平向上堆放，因此能够承载更多的硅片，提高产能。

附图说明

图1为本实用新型结合舟的示意图；

图2为本实用新型的连接片示意图；

图3为本实用新型固定部的截面图；

图4为本实用新型舟的示意图；

图5为本实用新型桨的结构图；

图6为本实用新型桨的正视图；

图7为本实用新型桨的俯视图。

附图标识说明：桨1、固定部11、支撑部12、镂空一13、桨固定块2、销21、镂空二22、舟3、桨支撑位31。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一：

如图1-2所示，一种新颖的载舟装置，包括桨1。所述桨1共两副，两副桨1对称设置于舟的两侧；所述载舟装置还包括桨固定块2，所述桨固定块2设置于两副桨1之间。在本实施例中用于承载硅片的舟3在工艺过程中设置于两副桨1之间。

如图5-7所示，所述桨1包括两部分，分别为固定部11以及支撑部12。固定部11与支撑部12一体制成。桨1的锋锐边缘进行磨钝处理，防止锋锐边缘划伤操作人员。

如图3、5-7所示，所述固定部11与炉门连接，固定部11用于固定桨1，支撑桨1的整体以及桨1上的承重，所述桨1上的承重包括舟3和硅片。固定部11呈长条直管，固定部11的截面为多边形，所述多边形可以是规则的多边形，也可以是不规则的多边形，在本实施例中，固定部11的截面为正方形，其一，这样的截面形状设计方便固定、不易打转，其二，正方形截面的直管相比面积大小相等的矩形截面的直管，正方形截面的直管在各个方向上的承重能力更加均匀，综合承重能力更强。固定部11的内部镂空，目的是能够在保证桨1的承重能力的同时尽可能减小桨1本身的质量。

所述支撑部12与舟3连接，支撑部12用于支撑舟3。支撑部12呈长条直管，支撑部12的截面为多边形，在本实施例中，支撑部12的截面为扁平的矩形，支撑部12的长边长于固定部11截面的边长，支撑部12的短边短于固定部11截面的边长。实施过程中，支撑部12竖直设置，支撑部12的长边与地面垂直，短边与底面平行，目的是支撑部12在竖直方向上能够具备更好的承重能力，能够支撑舟3。支撑部12的内部镂空，目的是为了减小桨1的质量；支撑部12长边对应的侧面设置镂空一13，所述长边对应侧面设置的镂空一13可以为矩形镂空、椭圆形镂空或者中间矩形、两端半圆形镂空，目的是为了减小桨1的质量，而且保证了承载的舟3的通风。

所述固定部11和支撑部12平滑连接，其中固定部11的上表面和支撑部12的上表面处于同一平面；固定部11的一个侧面和支撑部12的一个侧面处于同一平面；因此桨1的四个侧面中有两个侧面是平整的，有两个侧面不是平整的。所述两副桨1对称设置时，桨1的上表面平整，同时桨1相互远离的侧面平整；桨1的下表面不平整，同时桨1相对的一面不平整。

如图2所示，为了保证两副桨1的前端不会张开，在两副桨1之间设置桨固定块2，桨固定块2设置于支撑部12的一端，桨固定块2远离固定部11。桨固定块2整体呈矩形，桨固定块2两侧设置凹槽，所述凹槽用于设置桨1的支撑部12，支撑部12与桨固定块2通过销21进行连接。桨固定块2的中部设置镂空二22，目的是减小桨固定块2的质量进而减小装置整体的质量。

如图4所示，与本实施例中所述装置对应的舟3的侧面设置桨支撑位31，所述桨支撑位31向舟3的外侧延伸。在实施过程中桨支撑位31能够与桨1的支撑部12连接，并位于桨1的上方，进而将舟3平稳的设置于桨1上。

需要说明的是桨固定块只有在对桨的形变要求较高时安装设置于两副桨之间，用于限制桨的外扩或内收形变。在对桨的形变要求不高时，可不安装桨的固定块。

实施例二：

一种新颖的载舟装置，包括桨1。所述桨1共两副，两副桨1对称设置于舟的两侧。与本实施例中所述装置对应的舟3的侧面设置桨支撑位31，所述桨支撑位31向舟3的外侧延伸。在实施过程中桨支撑位31能够与桨1的支撑部12连接，并位于桨1的上方，进而将舟3平稳的设置于桨1上。

以上描述仅是本实用新型的具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本

技术实现要素：
和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。