1.本发明属于晶圆涂膜领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆贴膜治具。
背景技术：
2.贴膜治具作为贴膜时的重要辅助器具，在晶圆贴膜作业中，其协助控制贴膜的准确性，并循环做重制工作，重复多次不同晶圆的贴膜，代替了传统的手工操作，提高晶圆准确贴膜效率。
3.基于上述本发明人发现，现有的晶圆贴膜治具存在以下不足：
4.由于晶圆生产工艺中，表面带有尘质，在贴附装置重复升降进行贴膜作业中，需由承载晶圆的定位板块与其配合转动，使不同晶圆进行贴膜，而贴附压头随气缸动力机驱动升降过程中，会将晶圆表面的尘质向定位板块的转卡口吹，使尘质落入，造成定位板块在转动时，出现卡顿现象，影响晶圆贴膜作业的位置准确度。
5.因此需要提出一种晶圆贴膜治具。
技术实现要素：
6.针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种晶圆贴膜治具，以解决现有技术的问题。
7.为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆贴膜治具，其结构包设有底板、基础板、固柱、贴附台、气缸动力机，所述基础板位于底板顶端，所述贴附台活动于基础板上方，所述气缸动力机连接在固柱的一侧，所述固柱嵌固安装在底板上，所述贴附台与气缸动力机相配合。
8.所述基础板设有撑台、定位卡块、转底、支撑脚，所述转底嵌入连接在撑台中端，所述定位卡块连接于转底上方且相配合，所述支撑脚嵌固连接在撑台下方。
9.作为本发明的进一步改进，所述定位卡块设有整盘、卡口区、贴端面、转卡环、带转圈，所述卡口区嵌入安装在整盘内，所述贴端面与定位卡块为一体化结构，所述转卡环活动卡合于卡口区，所述带转圈连接在转卡环内侧且活动配合，所述转卡环在带转圈的带动下做有规律的转动，所述转卡环外侧与卡口区卡合的位置具有韧性。
10.作为本发明的进一步改进，所述卡口区设有口端道、防尘装置，所述防尘装置活动安装在口端道下端且活动于其两侧端，所述防尘装置受下端力的作用，向两侧摆开。
11.作为本发明的进一步改进，所述防尘装置设有中接块、实底块、扯接杆、顶防块、侧摆架，所述中接块安装在实底块之间，所述顶防块位于中接块前侧端，所述扯接杆铰接连接在中接块两侧，所述扯接杆一端与侧摆架相连接且活动配合，所述中接块具有伸缩性，所述顶防块呈弧状，且为橡胶材质，具有一定的柔韧性，所述扯接杆具有伸缩的弹性连接性质。
12.作为本发明的进一步改进，所述侧摆架设有侧实板、前接板、集口、顶挡板、撑簧，所述前接板与侧实板为一体化结构且设在其前侧位置，所述集口嵌入安装在前接板的前侧端，所述顶挡板铰接连接在侧实板顶端，所述撑簧与侧实板、顶挡板内侧分别相连接且活动
配合，所述集口设有三个，所述撑簧的弹性力，对顶挡板起到撑弹效果。
13.作为本发明的进一步改进，所述集口设有排腔径、侧限板、集尘腔，所述侧限板与排腔径为一体化结构且设在其上下端，所述集尘腔连接在排腔径后端且相贯通，所述排腔径口径由大到小，所述集尘腔呈圆球状。
14.作为本发明的进一步改进，所述集尘腔设有球腔槽、导向门、粘带，所述球腔槽与集尘腔为一体化结构，所述导向门铰接连接在球腔槽前侧两端，所述粘带活动于球腔槽后侧，所述导向门进行单向摆动，所述粘带随气流力的作用而有所甩动。
15.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
16.1.由转卡环转动，会逐渐摩擦防尘装置并抵触产生卡位，使得侧摆架铰接着实底块向侧端摆向，扯接杆连着其内侧端并为其提供伸缩连接力，撑簧的撑力便于顶挡板可以灵活触压于口端道顶端两侧，起到防尘效果，侧摆架向两侧摆动时，带动气流变化，而有向两侧流通的气流力，利于尘质随气流向两侧活动，继而进入集口中。
17.2.通过排腔径的通透结构，且其外端口径大，便于尘质向集尘腔排入，由导向门的单向摆开方式，其受气压和尘质的压力，令球腔槽前端呈通口状态，方便尘质进入而被收集，不受气压力，导向门及时摆向而令球腔槽端口闭合，避免尘质反逸，由粘带具有粘性的特点，其向球腔槽内部甩，可将尘质粘带，从而更好的收集尘质。
附图说明
18.图1为本发明一种晶圆贴膜治具的结构示意图。
19.图2为本发明一种基础板的结构示意图。
20.图3为本发明一种定位卡块的结构示意图。
21.图4为本发明一种卡口区的结构示意图。
22.图5为本发明一种防尘装置的结构示意图。
23.图6为本发明一种侧摆架的结构示意图。
24.图7为本发明一种集口的结构示意图。
25.图8为本发明一种集尘腔的结构示意图。
26.图中：底板－1、基础板－2、固柱－3、贴附台－4、气缸动力机－5、撑台－21、定位卡块－22、转底－23、支撑脚－24、整盘－221、卡口区－222、贴端面－223、转卡环－224、带转圈－225、口端道－a1、防尘装置－a2、中接块－a21、实底块－a22、扯接杆－a23、顶防块－a24、侧摆架－a25、侧实板－b1，前接板－b2、集口－b3、顶挡板－b4、撑簧－b5、排腔径－b31、侧限板－b32、集尘腔－b33、球腔槽－c1、导向门－c2、粘带－c3。
具体实施方式
27.以下结合附图对本发明做进一步描述：
28.实施例1：
29.如附图1至附图6所示：
30.本发明提供一种晶圆贴膜治具，其结构包设有底板1、基础板2、固柱3、贴附台4、气缸动力机5，所述基础板2位于底板1顶端，所述贴附台4活动于基础板2上方，所述气缸动力机5连接在固柱3的一侧，所述固柱3嵌固安装在底板1上，所述贴附台4与气缸动力机5相配
合。
31.所述基础板2设有撑台21、定位卡块22、转底23、支撑脚24，所述转底23嵌入连接在撑台21中端，所述定位卡块22连接于转底23上方且相配合，所述支撑脚24嵌固连接在撑台21下方。
32.其中，所述定位卡块22设有整盘221、卡口区222、贴端面223、转卡环224、带转圈225，所述卡口区222嵌入安装在整盘221内，所述贴端面223与定位卡块22为一体化结构，所述转卡环224活动卡合于卡口区222，所述带转圈225连接在转卡环224内侧且活动配合，所述转卡环224在带转圈225的带动下做有规律的转动，所述转卡环224外侧与卡口区222卡合的位置具有韧性，便于与卡口区222相配合做定时定位，为贴端面223上的晶圆限定转动时间段。
33.其中，所述卡口区222设有口端道a1、防尘装置a2，所述防尘装置a2活动安装在口端道a1下端且活动于其两侧端，所述防尘装置a2受下端力的作用，向两侧摆开，为口端道a1起到防尘作用。
34.其中，所述防尘装置a2设有中接块a21、实底块a22、扯接杆a23、顶防块a24、侧摆架a25，所述中接块a21安装在实底块a22之间，所述顶防块a24位于中接块a21前侧端，所述扯接杆a23铰接连接在中接块a21两侧，所述扯接杆a23一端与侧摆架a25相连接且活动配合，所述中接块a21具有伸缩性，所述顶防块a24呈弧状，且为橡胶材质，具有一定的柔韧性，所述扯接杆a23具有伸缩的弹性连接性质，所述侧摆架a25随中接块a21受力压缩，而铰接着实底块a22有所摆向，在扯接杆a23的辅助下产生摆折限度。
35.其中，所述侧摆架a25设有侧实板b1、前接板b2、集口b3、顶挡板b4、撑簧b5，所述前接板b2与侧实板b1为一体化结构且设在其前侧位置，所述集口b3嵌入安装在前接板b2的前侧端，所述顶挡板b4铰接连接在侧实板b1顶端，所述撑簧b5与侧实板b1、顶挡板b4内侧分别相连接且活动配合，所述集口b3设有三个，所述撑簧b5的弹性力，对顶挡板b4起到撑弹效果，集口b3随侧实板b1的摆向带动气流而进行集尘。
36.本实施例的具体使用方式与作用：人员通过将待贴膜的晶圆放置在定位卡块22上，接通电源，让贴附台4在气缸动力机5的配合下，顺着固柱3进行升降，活动并作用于基础板2上方，通过带转圈225在转底23的转动配合下，转卡环224被带转，与卡口区222相互作用，而辅助贴端面223上的晶圆定点被贴膜，由转卡环224转动，会逐渐摩擦防尘装置a2并抵触产生卡位，使得侧摆架a25铰接着实底块a22向侧端摆向，扯接杆a23连着其内侧端并为其提供伸缩连接力，撑簧b5的撑力便于侧摆架a25向口端道a1两侧端摆动时，顶挡板b4可以灵活触压于口端道a1顶端两侧，起到防尘效果，侧摆架a25向两侧摆动时，带动气流变化，而有向两侧流通的气流力，利于尘质随气流向两侧活动，继而进入集口b3中。
37.实施例2：
38.如附图7至附图8所示：
39.其中，所述集口b3设有排腔径b31、侧限板b32、集尘腔b33，所述侧限板b32与排腔径b31为一体化结构且设在其上下端，所述集尘腔b33连接在排腔径b31后端且相贯通，所述排腔径b31口径由大到小，所述集尘腔b33呈圆球状，所述排腔径b31的通透口径，利于被气流带动的尘质进入集尘腔b33内。
40.其中，所述集尘腔b33设有球腔槽c1、导向门c2、粘带c3，所述球腔槽c1与集尘腔
b33为一体化结构，所述导向门c2铰接连接在球腔槽c1前侧两端，所述粘带c3活动于球腔槽c1后侧，所述导向门c2进行单向摆动，所述粘带c3随气流力的作用而有所甩动，所述导向门c2放置进入球腔槽c1的尘质反向逸出，粘带c3自身带有的粘性，能在甩动中将尘质粘带。
41.本实施例的具体使用方式与作用：通过排腔径b31的通透结构，且其外端口径大，便于尘质向集尘腔b33排入，由导向门c2的单向摆开方式，其受气压和尘质的压力，向集尘腔b33内侧摆开，令球腔槽c1前端呈通口状态，方便尘质进入而被收集，再随侧摆架a25复位时，不受气压力，导向门c2及时摆向而令球腔槽c1端口闭合，避免尘质反逸，由粘带c3具有粘性的特点，在不受气压力时，其向球腔槽c1内部甩，可将尘质粘带，从而更好的收集尘质。
42.利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。