技术特征：
1.一种分批型衬底处理设备，包括：反应管，配置成提供其中容纳多个衬底的处理空间；以及等离子体形成部件，具有排放空间，所述排放空间通过在所述反应管的纵向方向上延伸的分隔壁与所述处理空间区分开，且配置成通过在所述反应管的所述纵向方向上延伸的多个电极在所述排放空间中产生等离子体，其中所述多个电极包括：彼此间隔开的多个电源电极；以及设置于所述多个电源电极之间的多个接地电极。2.根据权利要求1所述的分批型衬底处理设备，其中所述多个接地电极设置成与所述多个电源电极间隔开，以及所述多个电极配置成在彼此间隔开的所述电源电极与所述接地电极之间的每一空间中产生电容耦合等离子体。3.根据权利要求2所述的分批型衬底处理设备，其中所述多个接地电极彼此间隔开。4.根据权利要求3所述的分批型衬底处理设备，其中所述多个接地电极之间的间隔距离小于或等于所述电源电极与所述接地电极之间的间隔距离。5.根据权利要求1所述的分批型衬底处理设备，还包括配置成保护所述多个电源电极及所述多个接地电极的电极保护部件，其中所述电极保护部件包括：多个第一电极保护管，配置成分别包围所述多个电源电极；多个第二电极保护管，配置成分别包围所述多个接地电极；以及桥部件，配置成将彼此面对的所述第一电极保护管及所述第二电极保护管彼此连接。6.根据权利要求5所述的分批型衬底处理设备，其中所述桥部件配置成允许所述第一电极保护管及所述第二电极保护管彼此连通，以及所述分批型衬底处理设备还包括：保护气体供应部件，连接到通过所述桥部件彼此连通的所述第一电极保护管及所述第二电极保护管中的一个电极保护管以供应保护气体；以及保护气体排放部件，连接到所述第一电极保护管及所述第二电极保护管中的另一电极保护管以排放供应到所述一个电极保护管中的所述保护气体。7.根据权利要求6所述的分批型衬底处理设备，其中所述保护气体包括惰性气体。8.根据权利要求1所述的分批型衬底处理设备，还包括：高频电源部件，配置成供应高频功率；以及功率分配部件，设置于所述高频电源部件与所述多个电源电极之间，且配置成分配从所述高频电源部件供应的所述高频功率，以便将所分配的高频功率提供到所述多个电源电极中的每一个。9.根据权利要求8所述的分批型衬底处理设备，其中所述功率分配部件包括设置于分配点与所述多个电源电极中的至少一个之间的可变电容器，在所述分配点处将所述高频功率分配给所述多个电源电极中的每一个。10.根据权利要求1所述的分批型衬底处理设备，还包括控制部件，其配置成根据所述等离子体的状态选择性地调整施加到所述多个电源电极中的每一个的高频功率。
11.根据权利要求2所述的分批型衬底处理设备，还包括多个气体供应管，其配置成通过排放孔朝向所述电源电极与所述接地电极之间的所述空间中的每一个供应由所述等离子体分解的处理气体。12.根据权利要求11所述的分批型衬底处理设备，其中所述等离子体形成部件包括多个注入孔，所述多个注入孔设置成相对于所述排放孔的排放方向错位，且布置在所述反应管的所述纵向方向上以将由所述等离子体分解的所述处理气体的自由基供应到所述处理空间。13.根据权利要求1所述的分批型衬底处理设备，还包括多个气体供应管，其沿所述反应管的圆周方向设置在所述多个电极的两侧外部，以通过排放孔将由所述等离子体分解的处理气体供应到所述排放空间中。14.根据权利要求11或13所述的分批型衬底处理设备，其中所述多个气体供应管对称地安置于从所述反应管的中心轴延伸到所述排放空间的中心的径向方向的两侧处。
技术总结
本发明提供一种将在排放空间中分解的处理气体供应到处理空间中的分批型衬底处理设备，所述排放空间不同于处理空间。分批型衬底处理设备包含：反应管，配置成提供处理空间；等离子体形成部件，具有排放空间，所述排放空间通过分隔壁与处理空间区分开，且通过沿反应管的纵向方向延伸的多个电极在排放空间中产生等离子体。多个电极包含彼此间隔开的多个电源电极及设置于多个电源电极之间的多个接地电极。极。极。
技术研发人员：赵政熙 金苍乭
受保护的技术使用者：株式会社尤金科技
技术研发日：2021.10.25
技术公布日：2022/5/17