技术特征：
1.一种双级制冷红外探测器，其特征在于：包括双级制冷组件和封装杜瓦，所述双级制冷组件包括外壳以及真空封装于外壳内的mems节流制冷器和半导体制冷器，所述mems节流制冷器贴装于半导体制冷器的冷端，所述封装杜瓦包括窗框以及真空封装于窗框内的冷屏和芯片，所述窗框固设于外壳上，所述芯片贴装于t型导热块上，所述t型导热块和冷屏的底部均固设于mems节流制冷器上。2.如权利要求1所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述外壳和窗框内壁均镀金。3.如权利要求1所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述半导体制冷器的冷端表面设有凹槽，所述mems节流制冷器两端置于凹槽侧壁上。4.如权利要求1所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述冷屏布置于mems节流制冷器的中间温区冷却，所述t型导热块及t型导热块上的芯片布置于mems节流制冷器的最低制冷温度区。5.如权利要求1所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述mems节流制冷器包括制冷器换热通道，所述制冷器换热通道包括节流元件、冷流体通道和热流体通道，所述热流体通道的一端为接高压气体源的进气口，另一端经过节流元件后与所述冷流体通道一端接通，所述冷流体通道的另一端为出气口，通过排气管流向大气。6.如权利要求5所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述节流元件的出口与冷流体通道之间通过膨胀腔连通。7.如权利要求5所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述mems节流制冷器包括玻璃载体，所述玻璃载体上通过刻蚀工艺刻出所述制冷器换热通道，所述制冷器换热通道为螺旋槽道。8.如权利要求7所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述mems节流制冷器还包括玻璃盖板，所述玻璃盖板与玻璃载体贴合密封。9.如权利要求7所述的一种双级制冷红外探测器，其特征在于：所述冷流体通道和热流体通道紧贴形成流体组，相邻两个流体组之间设有间距，且所述冷流体通道内的流体与所述热流体通道内的流体流动方向相反。
技术总结
本发明提供了一种双级制冷红外探测器，包括双级制冷组件和封装杜瓦，所述双级制冷组件包括外壳以及真空封装于外壳内的MEMS节流制冷器和半导体制冷器，MEMS节流制冷器贴装于半导体制冷器的冷端，所述封装杜瓦包括窗框以及真空封装于窗框内的冷屏和芯片，窗框固设于外壳上，芯片贴装于T型导热块上，T型导热块和冷屏的底部均固设于MEMS节流制冷器上。该发明采用MEMS节流制冷器对光学结构器件进行制冷，相比传统的机械式节流探测器，大大减小了本身热质量，同时还采用半导体制冷器对MEMS节流制冷器进行一级预冷，有效解决了MEMS节流制冷器制冷量不足以及冷量分布不均匀带来的问题；并且通过半导体制冷器的设置还解决了制冷结构及光学结构器件的支撑和漏热问题。光学结构器件的支撑和漏热问题。光学结构器件的支撑和漏热问题。
技术研发人员：黄立 张杨文 沈星 洪晓麦 程海玲 刘道进 许思佳 江程鹏 张丽芳 王玲
受保护的技术使用者：武汉高芯科技有限公司
技术研发日：2021.11.18
技术公布日：2021/12/13