分篮倒片器的制作方法

1.本实用新型属于单晶硅片生产领域，尤其是涉及一种分篮倒片器。


背景技术：

2.目前单晶硅片生产加工过程中，因为生产订单和产品种类的问题，需要经常将一篮硅片分配到两个硅片篮中。目前的硅片倒片器大多是根据片篮结构设计，只能实现片篮之间的硅片全部的转移，无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作，且其与硅片的接触面多为平面结构，在倒片的过程中会对硅片侧面造成损伤。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型旨在提出一种分篮倒片器，以解决目前倒片器无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题，避免倒片过程对硅片造成损伤。
4.为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
5.分篮倒片器，包括推板、把手，所述推板后端设置有把手；所述推板前端为弧形面，且在端面上设有凹台。
6.进一步的，所述推板型号为多种，不同型号的推板前端的弧形面直径不同，适用于不同直径的硅片；
7.进一步的，所述推板为pfa塑料构件。
8.进一步的，所述把手包括手柄、连接件，所述手柄通过连接件与推板连接，所述推板的尾端为燕尾榫，所述连接件的前端设有对应的燕尾槽，所述推板通过燕尾榫与连接件可拆卸连接；所述连接件内部还设有用于对燕尾榫限位的限位组件。
9.进一步的，所述限位组件包括顶珠、弹簧，所述连接件内部设有安装孔，所述顶珠和弹簧均安装于安装孔内侧，其中，顶珠设置于弹簧前端，所述顶珠直径大于弹簧直径；所述燕尾槽后端设有与安装孔连通的锥形孔，所述锥形孔的直径小于顶珠的直径，所述燕尾榫的尾端开有与顶珠对应的限位槽。
10.进一步的，所述限位组件的数量为一个以上。
11.进一步的，所述连接件包括安装块、顶紧板，所述安装孔设置于安装块的后端，通过所述顶紧板将安装孔封闭；所述安装块后端中间设有螺纹孔，所述顶紧板中间设有与螺纹孔对应的通孔，所述手柄前端设有与螺纹孔对应的螺杆，所述螺杆直径小于手柄直径，所述通孔直径大于螺杆直径且小于手柄直径，所述手柄通过螺杆与安装块螺纹连接。
12.进一步的，所述顶紧板前端设有侧板，所述安装块后端侧面设有与侧板对应的凹台。
13.进一步的，所述手柄、连接件为pom塑料构件。
14.进一步的，所述把手外表面设有环形凹槽。
15.相对于现有技术，本实用新型所述的分篮倒片器具有以下有益效果：
16.(1)本实用新型所述的分篮倒片器，通过推板和把手的组合解决目前倒片器无法
实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题。倒片器与硅片的接触面为弧形面能够有效避免对硅片的损伤。凹台结构可以在倒片过程中对硅片起到固定作用，可以防止倒片过程中倒片器从硅片上脱落而对硅片造成划伤。
17.(2)本实用新型所述的分篮倒片器，推板为pfa塑料构件，具有良好的耐腐蚀性，可以适用于化学药液较多的工作环境；摩擦系数较低，与硅片表面接触也不会对硅片造成损伤；具有良好的电性能，不会因接触或摩擦产生静电，避免了硅片表面吸附灰尘颗粒。
18.(3)本实用新型所述的分篮倒片器，手柄、安装块和顶紧板为pom塑料构件，能够很好地防止使用过程中变形，保证了倒片器结构的稳定性。
19.(4)本实用新型所述的分篮倒片器，通过连接件和限位组件的组合，使更换推板变得十分便捷，提高了倒片的工作效率。
附图说明
20.构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
21.图1为本实用新型实施例所述的分篮倒片器结构示意图；
22.图2为本实用新型实施例所述的推板结构示意图；
23.图3为本实用新型实施例所述的分篮倒片器剖面结构示意图；
24.图4为本实用新型实施例所述的把手结构示意图。
25.附图标记说明：
26.1-推板；2-把手；3-限位槽；4-安装块；5-顶紧板；6-手柄；7-顶珠；8-弹簧；9-螺纹孔；10-通孔；11-螺杆；12-凹槽；13-燕尾槽；14-锥形孔； 15-安装孔。
具体实施方式
27.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
28.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
29.本实用新型分篮倒片器如图1所示，包括推板1、把手2，所述推板1 后端设置有把手2；所述推板1前端为弧形面，且在端面上设有凹台。通过推板1和把手2的组合解决目前倒片器无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题。倒片器与硅片的接触面为圆弧结构能够有效避免对硅片的损伤。凹台可以在倒片过程中对硅片起到固定作用，可以防止倒片过程中倒片器从硅片上脱落而对硅片造成划伤。凹台更加贴合硅片的边缘结构，且能够适用于不同厚度硅片的倒片作业。实际使用过程中，操作人员用手握紧把手 2使推板1凹台圆弧面水平对齐硅片边缘，推动倒蓝分片装置，将硅片转移至目标硅片篮中。
30.推板1型号为多种，不同型号的推板1前端的弧形面直径不同，适用于不同直径的硅片，推板1与把手2可拆卸连接。一个把手2安装有一种型号的推板1，当需要对不同直径的硅片进行分篮倒片时，可以在把手2上更换与硅片匹配的推板1，针对目前生产过程中常用规格的硅片，不同推板1弧形面的圆弧直径为155mm和205mm等。
31.推板1为pfa塑料构件，pfa塑料为少量全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共
聚物，在实际使用过程中，由pfa塑料加工而来的推板1具有良好的耐腐蚀性，可以适用于化学药液较多的工作环境；摩擦系数较低，与硅片表面接触也不会对硅片造成损伤；具有良好的电性能，不会因接触或摩擦产生静电，避免了硅片表面吸附灰尘颗粒。
32.本实用新型分篮倒片器如图2、图3所示，把手2包括手柄6、连接件，手柄6通过连接件与推板1连接，推板1的尾端为燕尾榫，连接件的前端设有对应的燕尾槽13，推板1通过燕尾榫与连接件可拆卸连接，连接件内部还设有用于对燕尾榫限位的限位组件，限位组件可以为定位销和定位珠等。本实用新型实施例的分篮倒片器剖面结构示意图如图3所示，限位组件包括顶珠7、弹簧8，所述连接件内部设有安装孔15，所述顶珠7和弹簧8均安装于安装孔15内侧，其中，顶珠7设置于弹簧8前端，所述顶珠7直径大于弹簧8直径；所述燕尾槽13后端设有与安装孔15连通的锥形孔14，所述锥形孔14的直径小于顶珠7的直径，所述燕尾榫的尾端开有与顶珠7对应的限位槽3，限位组件的数量为两个。本实用新型实施例的把手结构示意图如图4所示，连接件包括安装块4、顶紧板5，所述安装孔15设置于安装块4 的后端，通过所述顶紧板5将安装孔15封闭；安装块4后端中间设有螺纹孔9，顶紧板5中间设有与螺纹孔9对应的通孔10，手柄6前端设有与螺纹孔9对应的螺杆11，所述螺杆11直径小于把手6直径，所述通孔10直径大于螺杆11直径且小于手柄6直径，所述手柄6通过螺杆11与安装块4螺纹连接。顶紧板5前端设有两个侧板，所述安装块4后端侧面设有与侧板对应的凹台。组装时将顶珠7和弹簧8依次放到锥形孔14和安装孔15内，然后将顶紧板5的侧板对齐安装块4的凹槽压紧弹簧8，然后将把手2螺杆11 贯穿通孔10与安装块4螺纹连接，该结构安装过程简单，更换弹簧8和顶珠7方便。当需要安装推板1时，将推板1燕尾榫插入安装板4的燕尾槽13 内，当燕尾榫接触顶珠时顶珠7受力压缩弹簧8，推板1可以继续插入，当推板1到达指定位置后，在弹簧8的作用下顶珠7复位进入限位槽3内，同理可以实现推板1的拔出过程。通过连接件和限位组件的配合，不仅实现了推板1与把手2的可拆卸连接，而且对推板1起到了限位作用，推板1与把手2之间连接牢固，更换推板1的过程十分便捷，提高了硅片倒片的工作效率。
33.手柄6、连接件为pom塑料构件，pom塑料具有较低的摩擦系数和很好的几何稳定性，由pom塑料加工的手柄6、连接件能够防止在使用过程中变形，在保护硅片的同时，也保证了倒片器结构的稳定性。
34.把手2外表面设有环形凹槽12，具体的手柄6外表面设有凹槽12，凹槽12增加了操作人员手掌与把手2之间的摩擦力，有效地防止在倒片过程倒片器与手掌发生滑动，避免了因此造成的硅片划痕和破损，保证了生产过程的安全性和稳定性。
35.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。
36.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。