一种芯片生产用具备内部空气循环净化功能的刻蚀机的制作方法

1.本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体为一种芯片生产用具备内部空气循环净化功能的刻蚀机。


背景技术：

2.芯片在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备和被动组件等）小型化的方式，并时常制造在半导体的表面上，在芯片加工的过程中，通常需要对芯片的表面进行刻蚀，而芯片的刻蚀是按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术，且刻蚀液只需对芯片的裸露部位进行刻蚀即可，刻蚀机工作过程中刻蚀液刻蚀芯片会产生一定的不良气体，但是现有的刻蚀机大多不具备空气净化功能，所以这种气体会对刻蚀工作以及工作人员造成影响，为此，这里推出一种具备内部空气循环净化功能的刻蚀机。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种芯片生产用具备内部空气循环净化功能的刻蚀机，具备空气循环净化功能的优点，解决了刻蚀机不具备空气净化功能的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片生产用具备内部空气循环净化功能的刻蚀机，包括箱体，所述箱体内腔的底部固定连接有承载板，所述承载板的顶部活动连接有芯片本体，所述芯片本体的顶部活动连接有掩模，所述箱体内腔的两侧均开设有凹槽，所述凹槽内腔的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底部固定连接有移动块，所述移动块相对的一侧均固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有压板，所述箱体内腔的顶部通过连接柱固定连接有输液板，所述输液板顶部的两侧均连通有进液管，所述进液管远离输液板的一端连通有通液盒，所述通液盒的右侧连通有连接管，所述箱体内腔左侧的顶部固定连接有吸气板，所述吸气板的左侧连通有吸气管，所述箱体顶部的左侧固定连接有净化箱，所述净化箱内腔的左侧固定连接有第一过滤板，所述净化箱内腔的中心处固定连接有光催化剂板，所述净化箱内腔顶部的右侧固定连接有紫外线灯，所述净化箱内腔的右侧固定连接有第二过滤板，所述箱体的顶部固定连接有风机，所述风机的左侧通过通风管与净化箱的右侧连通，所述风机的右侧连通有排气管，所述排气管远离风机的一端贯穿至箱体的内腔并连通有排气板，所述箱体的底部固定连接有集液盒，所述集液盒的顶部与箱体的底部连通。
5.优选的，所述箱体底部的四角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接有支撑板。
6.优选的，所述箱体底部的左侧固定连接有接线盒，所述箱体正面左侧的顶部固定连接有操作按钮。
7.优选的，所述箱体的正面设置有防护门，所述防护门正面的右侧固定连接有把手。
8.优选的，所述防护门的正面设置有观察窗，所述观察窗的内壁固定连接有透明玻
璃。
9.优选的，所述承载板底部的两侧均固定连接有导流板，所述导流板的底部与箱体内腔的底部固定连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.1、本实用新型通过箱体、承载板、芯片本体、掩模、凹槽、电动推杆、移动块、连接板、压板、输液板、进液管、通液盒、连接管、吸气板、吸气管、净化箱、第一过滤板、光催化剂板、紫外线灯、第二过滤板、风机、排气管和集液盒的配合，使芯片刻蚀机可以通过气体净化机构对工作腔内部的空气进行循环净化，以此实现了芯片刻蚀机具备空气循环净化功能的优点。
12.2、本实用新型通过设置支撑柱和支撑板，使芯片刻蚀机可以固定放置在指定位置，通过设置接线盒和操作按钮，使工作人员可以通过输入信号指令的方式对芯片刻蚀机进行操作，通过设置防护门，可以对箱体的内腔进行防护，通过设置观察窗，使工作人员可以实时观察到箱体内部的工作状态。
附图说明
13.图1为本实用新型结构示意图；
14.图2为本实用新型结构剖视示意图；
15.图3为本实用新型图2中a处的局部放大示意图。
16.图中：1、箱体；2、承载板；3、芯片本体；4、掩模；5、凹槽；6、电动推杆；7、移动块；8、连接板；9、压板；10、输液板；11、进液管；12、通液盒；13、连接管；14、吸气板；15、吸气管；16、净化箱；17、第一过滤板；18、光催化剂板；19、紫外线灯；20、第二过滤板；21、风机；22、排气管；23、集液盒；24、支撑柱；25、接线盒；26、操作按钮；27、防护门；28、把手；29、观察窗；30、导流板。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.本实用新型的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
19.请参阅图1-3，一种芯片生产用具备内部空气循环净化功能的刻蚀机，包括箱体1，箱体1内腔的底部固定连接有承载板2，承载板2的顶部活动连接有芯片本体3，芯片本体3的顶部活动连接有掩模4，箱体1内腔的两侧均开设有凹槽5，凹槽5内腔的顶部固定连接有电动推杆6，电动推杆6的底部固定连接有移动块7，移动块7相对的一侧均固定连接有连接板8，连接板8的底部固定连接有压板9，箱体1内腔的顶部通过连接柱固定连接有输液板10，输液板10顶部的两侧均连通有进液管11，进液管11远离输液板10的一端连通有通液盒12，通液盒12的右侧连通有连接管13，箱体1内腔左侧的顶部固定连接有吸气板14，吸气板14的左侧连通有吸气管15，箱体1顶部的左侧固定连接有净化箱16，净化箱16内腔的左侧固定连接
有第一过滤板17，净化箱16内腔的中心处固定连接有光催化剂板18，净化箱16内腔顶部的右侧固定连接有紫外线灯19，净化箱16内腔的右侧固定连接有第二过滤板20，箱体1的顶部固定连接有风机21，风机21的左侧通过通风管与净化箱16的右侧连通，风机21的右侧连通有排气管22，排气管22远离风机21的一端贯穿至箱体1的内腔并连通有排气板，箱体1的底部固定连接有集液盒23，集液盒23的顶部与箱体1的底部连通，箱体1底部的四角均固定连接有支撑柱24，支撑柱24的底部固定连接有支撑板，箱体1底部的左侧固定连接有接线盒25，箱体1正面左侧的顶部固定连接有操作按钮26，箱体1的正面设置有防护门27，防护门27正面的右侧固定连接有把手28，防护门27的正面设置有观察窗29，观察窗29的内壁固定连接有透明玻璃，承载板2底部的两侧均固定连接有导流板30，导流板30的底部与箱体1内腔的底部固定连接，通过设置支撑柱24和支撑板，使芯片刻蚀机可以固定放置在指定位置，通过设置接线盒25和操作按钮26，使工作人员可以通过输入信号指令的方式对芯片刻蚀机进行操作，通过设置防护门27，可以对箱体1的内腔进行防护，通过设置观察窗29，使工作人员可以实时观察到箱体1内部的工作状态，通过箱体1、承载板2、芯片本体3、掩模4、凹槽5、电动推杆6、移动块7、连接板8、压板9、输液板10、进液管11、通液盒12、连接管13、吸气板14、吸气管15、净化箱16、第一过滤板17、光催化剂板18、紫外线灯19、第二过滤板20、风机21、排气管22和集液盒23的配合，使芯片刻蚀机可以通过气体净化机构对工作腔内部的空气进行循环净化，以此实现了芯片刻蚀机具备空气循环净化功能的优点。
20.使用时，工作人员将芯片本体3放置在承载板2的顶部，将掩模4放置在芯片本体3的顶部，然后启动电动推杆6，电动推杆6带动移动块7向下移动，移动块7带动连接板8和压板9向下移动至接触掩模4的顶部，随后通过连接管13、通液盒12、进液管11和输液板10向掩模4的顶部喷洒刻蚀液，与此同时启动风机21，风机21通过吸气板14和吸气管15将箱体1内腔的空气抽至净化箱16的内腔，经第一过滤板17过滤后，再经过紫外线灯19照射的光催化剂板18，有害气体被再次催化氧化，最后经第二过滤板20过滤完全后经排气管22和排气板重新排入箱体1的内腔。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。