一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及驱动芯片金凸块封装领域，尤其涉及一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置。


背景技术：

2.蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类，在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。
3.目前，在驱动芯片金凸块制造工艺中，同样需要使用蚀刻机，其主要使用的是钛钨蚀刻机，可以去除溅镀晶圆表面的钛钨膜，而在进行进行蚀刻制程时，需要先将装有晶圆的晶圆盒放置在固定其上的固定装置上，通过固定装置对晶圆盒进行固定并能够带动其移动。
4.在现有技术中，传统的钛钨蚀刻机用固定装置一般是由基板、侧板、基座以及驱动组件构成，且基板与侧板以及基座多是通过螺丝直接固定连接，而在蚀刻制程中，会通过固定装置带动晶圆盒上下震荡，且由于晶圆盒有一定的重量，再加上整个固定装置自身的重量，全部作用在其上的固定螺丝时，当固定装置在长时间使用后，会使得其上的固定螺丝容易出现断裂或是整体变形，此时放置在固定装置上的晶圆盒会处于倾斜状态，最终导致晶圆的加工受到较大侧影响。
5.因此，有必要提供一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置解决上述技术问题。


技术实现要素：

6.本实用新型提供一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置，解决了钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置其上的固定螺丝容易出现断裂或是整体变形的问题。
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供的具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置，包括：
8.基板和放置底座；
9.侧板结构，所述侧板结构设置于所述基板上，所述侧板结构包括两个连接侧板和固定螺丝，所述连接侧板的内侧分别开设有第一连接槽和第二连接槽，所述连接侧板的一侧开设有固定孔，所述固定孔分别与所述第一连接槽以及第二连接槽连通，所述固定螺丝设置于所述固定孔上；
10.螺纹孔，所述螺纹孔分别开设于所述放置底座与所述基板的两侧，所述放置底座的两侧分别卡接于所述第二连接槽内，所述连接侧板与所述放置底座之间通过所述固定螺丝固定，所述基板的两侧分别卡接于所述第一连接槽内，且所述基板与所述连接侧板之间通过所述固定螺丝固定。
11.优选的，所述第一连接槽与所述第二连接槽均位于连接侧板的内侧，且所述第一
连接槽与所述第二连接槽之间的角度为九十度。
12.优选的，所述固定孔在所述连接侧板的外侧呈l形均匀分布，所述固定螺丝的规格采用m6。
13.优选的，所述固定螺丝与所述固定孔的数量相同，且所述固定螺丝的外部螺纹连接于所述螺纹孔内。
14.优选的，所述基板一侧螺纹孔的数量为三个，所述放置底座一侧的螺纹孔的数量为四个。
15.优选的，所述基板的顶部固定连接有顶板，所述顶板上设置有传动件。
16.优选的，所述第一连接槽与所述第二连接槽的两侧均固定有定位条，所述基板与所述放置底座的两侧均开设有弧形定位槽，所述定位条卡接于所述弧形定位槽内。
17.与相关技术相比较，本实用新型提供的具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置具有如下有益效果：
18.本实用新型提供一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置，通过设置侧板结构，主要用于将基板、放置底座连接在一起，并通过设置的第一连接槽与第二连接槽，使得基板与放置底座能够紧密卡接在一起，而基板、放置底座与连接侧板之间改为铆接加螺丝两者结合固定方式，大大增加固定装置整体的稳定性，在正常使用时，大大降低了对固定螺丝产生的压力，进而在长时间使用后，使得固定螺丝不会轻易出现断裂或是变形情况，有效的增加了固定装置整体的稳定性，在放置晶圆盒时始终使其保持水平状态，避免出现倾斜，保证对晶圆进行完成正常的蚀刻操作，更好的满足人们的使用需求。
附图说明
19.图1为本实用新型提供的具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置的结构示意图；
20.图2为图1所示的侧板结构外部的结构示意图；
21.图3为图1所示的连接侧板外部的结构示意图；
22.图4为图1所示的放置底座侧面的结构示意图；
23.图5为图1所示的放置底座侧面的结构示意图；
24.图6为放置底座侧面的结构示意图。
25.图中标号：
26.1、基板，2、放置底座，3、侧板结构；
27.31、连接侧板，32、第一连接槽，33、第二连接槽，34、固定孔，35、固定螺丝；
28.4、螺纹孔，5、顶板，6、传动件；
29.7、定位条，8、弧形定位槽。
具体实施方式
30.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
31.请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型提供的具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置的结构示意图；图2为图1所示的侧板结构外部的结构示意图；图3为图1所示的连接侧板外部的结构示意图；
32.图4为图1所示的放置底座侧面的结构示意图。具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置，包括：
33.基板1和放置底座2；
34.侧板结构3，所述侧板结构3设置于所述基板1上，所述侧板结构3包括两个连接侧板31和固定螺丝35，所述连接侧板31的内侧分别开设有第一连接槽32和第二连接槽33，所述连接侧板31的一侧开设有固定孔34，所述固定孔34分别与所述第一连接槽32以及第二连接槽33连通，所述固定螺丝35 设置于所述固定孔34上；
35.螺纹孔4，所述螺纹孔4分别开设于所述放置底座2与所述基板1的两侧，所述放置底座2的两侧分别卡接于所述第二连接槽33内，所述连接侧板31 与所述放置底座2之间通过所述固定螺丝35固定，所述基板1的两侧分别卡接于所述第一连接槽32内，且所述基板1与所述连接侧板31之间通过所述固定螺丝35固定。
36.侧板结构3用于将基板1与放置底座2连接在一起，使得两者为相互垂直状态，放置底座2用于放置晶圆盒，两个连接侧板31分别位于基板1的左右两侧，整体为梯形设置，第一连接槽32与第二连接槽33分别与基板1以及放置底座2适配设置，使得基板1与放置底座2能够正好紧密卡接在连接侧板31上，固定孔34与固定螺丝35适配设置，使得固定螺丝35的螺帽部分能够正好处于固定孔34中，通过设置该侧板结构3，主要用于将基板1、放置底座2连接在一起，并通过设置的第一连接槽32与第二连接槽33，使得基板1与放置底座2能够紧密卡接在一起，再配合固定螺丝35与螺纹孔4螺纹连接，进一步增加三者之间的连接关系，增加铆接连接方式，大大增加固定装置整体的稳定性，在正常使用时，大大降低了对固定螺丝35产生的压力，进而在长时间使用后，使得固定螺丝35不会轻易出现断裂或是变形情况，有效的增加了固定装置整体的稳定性，在放置晶圆盒时始终使其保持水平状态，避免出现倾斜，保证对晶圆进行完成正常的时刻操作，更好的满足人们的使用需求。
37.所述第一连接槽32与所述第二连接槽33均位于连接侧板31的内侧，且所述第一连接槽32与所述第二连接槽33之间的角度为九十度。
38.所述固定孔34在所述连接侧板31的外侧呈l形均匀分布，所述固定螺丝35的规格采用m6。
39.所述固定螺丝35与所述固定孔34的数量相同，且所述固定螺丝35的外部螺纹连接于所述螺纹孔4内。
40.所述基板1一侧螺纹孔4的数量为三个，所述放置底座2一侧的螺纹孔4 的数量为四个。
41.所述基板1的顶部固定连接有顶板5，所述顶板5上设置有传动件6。
42.传动件6通过与驱动装置连接，使得整个固定装置能够运动。
43.本实用新型提供的具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置的工作原理如下：
44.在使用时，将晶圆盒直接放置在放置底座上，在固定装置带动晶圆盒移动时，此时晶圆盒的重量、以及固定装置自身的重量，分散在第一连接槽32、第二连接槽33、固定螺丝35以及整个连接侧板31上，改变了传统仅有固定螺丝固定方式，增加铆接的连接方式，进一步增加各部件之间的稳定性，进而大大降低了固定螺丝35承受大压力，对固定螺丝35起到很好的防护作用，有效的避免其出现断裂或是变形，大大延长了固定螺丝35的使用寿命，防
止在固定装置在放置晶圆盒时使其出现倾斜。
45.第二实施例
46.请结合参阅图5和图6，基于本实用新型的第一实施例一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置，本实用新型的第二实施例提供另一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置，其中，第二实施例并不会妨碍第一实施例的技术方案的独立实施。
47.具体的，本实用新型的提供另一种具有防倾斜功能的钛钨蚀刻机用晶圆盒固定装置不同之处在于：
48.所述第一连接槽32与所述第二连接槽33的两侧均固定有定位条7，所述基板1与所述放置底座2的两侧均开设有弧形定位槽8，所述定位条7卡接于所述弧形定位槽8内。
49.定位条7与弧形定位槽8适配设置，其外部一侧为弧形设置，在将基板1 以及放置底座2分别与连接侧板31组装时，使得第一连接槽32与第二连接槽33上的定位条7分别与基板1以及放置底座2上的弧形定位槽8卡接，在定位条7与弧形定位槽8直接配合作用下，使得连接侧板31能够分别与基板 1以及放置底座2保持更加有效的连接，使得连接关系更加牢固稳定，在使用时不会轻易出现松动。
50.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。