一种等离子除胶装置的制作方法

文档序号:29398904发布日期:2022-03-23 16:52阅读:147来源:国知局
一种等离子除胶装置的制作方法

1.本实用新型涉及除胶装置技术领域,尤其涉及一种等离子除胶装置。


背景技术:

2.等离子去胶法,去胶气体为氧气。其工作原理是将硅片置于真空反应系统中,通入少量氧气,加1500 v高压,由高频信号发生器产生高频信号,使石英管内形成强的电磁场,使氧气电离,形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧(活泼的原子态氧)可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体,被机械泵抽走,这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。等离子去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保。
3.现有技术中的等离子除胶装置使用不便,在使用时需要先打开装置的门板,再将装置内的框架取出才可往框架内放置待除胶的物品,因此,我们提出一种等离子除胶装置,用于解决上述问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在等离子除胶装置使用不便,在使用时需要先打开装置的门板,再将装置内的框架取出才可往框架内放置待除胶的物品的缺点,而提出的一种等离子除胶装置。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种等离子除胶装置,包括除胶装置,所述除胶装置为中空结构,所述除胶装置的内壁上滑动连接有框架,所述框架的顶部固定安装有齿条,所述除胶装置内设有两个链轮,两个链轮上套设有同一个链条,位于右侧位置的链轮的底部固定安装有带动齿轮,所述带动齿轮与齿条相啮合,所述除胶装置的顶部固定安装有定位盘,所述除胶装置的左侧转动连接有门板,所述门板为中空结构,所述门板的内壁上设有定位机构,所述定位机构与定位盘相配合,所述除胶装置内设有传动机构,所述传动机构与链轮相配合。
7.优选的,所述定位机构包括按动杆、控制杆、弹簧、托块、中心杆和定位杆,所述按动杆滑动连接在门板的内壁上,所述控制杆与滑动连接在门板的内壁上,所述弹簧和托块的数量均为两个,所述托块与弹簧固定连接,所述弹簧与控制杆固定连接,所述中心杆与控制杆固定连接,所述中心杆与按动杆相配合,定位机构用于对门板进行定位,门板在打开后可自动对门板进行定位,使得门板不会妨碍对框架填充物品,门板与框架连接,也实现了对框架的定位,增加框架的稳定性。
8.优选的,所述传动机构包括连接齿轮、配合齿轮和半齿轮,所述连接齿轮、配合齿轮和半齿轮均与除胶装置转动连接,所述半齿轮与门板固定连接,所述半齿轮与配合齿轮相啮合,所述配合齿轮与连接齿轮相啮合,传动机构用于将门板和框架连接起来,使得门板在打开时可将框架带出,在带出后再自动对框架进行定位,同时门板关闭也可自动将框架带入。
9.优选的,所述按动杆的右侧为锥形结构,所述中心杆的左侧固定安装有配合块,所述按动杆的右侧与配合块的右侧滑动接触,使得按动杆在向右侧移动时可按动中心杆下降,按动杆在门板内只能向左侧或者向右侧移动,而中心杆则只能向下或者向上移动,在按动杆向右侧移动时,按动杆的右侧与配合块的左侧接触,按动杆就会向下按动配合块,配合块再带动中心杆下降。
10.优选的,所述定位盘的底部开设有等间距排列的多个定位槽,所述定位杆的顶端与定位槽的内壁滑动接触,在定位杆与定位盘啮合时,定位盘不可转动,因此定位杆也就不可转动,定位杆就可将门板定位住,来阻挡门板转动,实现对门板的定位。
11.优选的,所述连接齿轮的底部固定安装有连接轴,所述连接轴的底端与左侧位置的链轮固定连接,连接轴用于连接连接齿轮和左侧位置的链轮,使得连接齿轮在转动时可带动左侧位置的链轮转动,实现对左侧位置链轮的传动。
12.有益效果:
13.1、通过定位机构,定位机构用于对门板进行定位,门板在打开后可自动对门板进行定位,使得门板不会妨碍对框架填充物品,门板与框架连接,也实现了对框架的定位,增加框架的稳定性;
14.2、通过传动机构,传动机构用于将门板和框架连接起来,使得门板在打开时可将框架带出,在带出后再自动对框架进行定位,同时门板关闭也可自动将框架带入;
15.本实用新型在门板上按动按动杆,按动杆可对门板进行解锁,然后再打开门板,门板就可将框架带出,方便对框架填充物品,松开按动杆后,按动杆还可以自锁,将框架的位置定位住,方便使用框架。
附图说明
16.图1为本实用新型提出的一种等离子除胶装置的三维示意图;
17.图2为本实用新型提出的一种等离子除胶装置的主视示意图;
18.图3为本实用新型提出的一种等离子除胶装置的局部俯视示意图;
19.图4为本实用新型提出的一种等离子除胶装置的a放大示意图。
20.图中:1除胶装置、2门板、3定位盘、4按动杆、5带动齿轮、6齿条、7框架、8链轮、9链条、10控制杆、11弹簧、12托块、13中心杆、14配合块、15连接齿轮、16配合齿轮、17定位杆、18半齿轮。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
22.参照图1-4,一种等离子除胶装置,包括除胶装置1,除胶装置1为中空结构,除胶装置1的内壁上滑动连接有框架7,框架7的顶部固定安装有齿条6,除胶装置1内设有两个链轮8,两个链轮8上套设有同一个链条9,位于右侧位置的链轮8的底部固定安装有带动齿轮5,带动齿轮5与齿条6相啮合,除胶装置1的顶部固定安装有定位盘3,除胶装置1的左侧转动连接有门板2,门板2为中空结构,门板2的内壁上设有定位机构,定位机构与定位盘3相配合,
除胶装置1内设有传动机构,传动机构与链轮8相配合。
23.定位机构包括按动杆4、控制杆10、弹簧11、托块12、中心杆13和定位杆17,按动杆4滑动连接在门板2的内壁上,控制杆10与滑动连接在门板2的内壁上,弹簧11和托块12的数量均为两个,托块12与弹簧11固定连接,弹簧11与控制杆10固定连接,中心杆13与控制杆10固定连接,中心杆13与按动杆4相配合,定位机构用于对门板2进行定位,门板2在打开后可自动对门板2进行定位,使得门板2不会妨碍对框架7填充物品,门板2与框架7连接,也实现了对框架7的定位,增加框架7的稳定性,按动杆4的右侧为锥形结构,中心杆13的左侧固定安装有配合块14,按动杆4的右侧与配合块14的右侧滑动接触,使得按动杆4在向右侧移动时可按动中心杆13下降,按动杆4在门板2内只能向左侧或者向右侧移动,而中心杆13则只能向下或者向上移动,在按动杆4向右侧移动时,按动杆4的右侧与配合块14的左侧接触,按动杆4就会向下按动配合块14,配合块14再带动中心杆13下降,定位盘3的底部开设有等间距排列的多个定位槽,定位杆17的顶端与定位槽的内壁滑动接触,在定位杆17与定位盘3啮合时,定位盘3不可转动,因此定位杆17也就不可转动,定位杆17就可将门板2定位住,来阻挡门板2转动,实现对门板2的定位。
24.传动机构包括连接齿轮15、配合齿轮16和半齿轮18,连接齿轮15、配合齿轮16和半齿轮18均与除胶装置1转动连接,半齿轮18与门板2固定连接,半齿轮18与配合齿轮16相啮合,配合齿轮16与连接齿轮15相啮合,传动机构用于将门板2和框架7连接起来,使得门板2在打开时可将框架7带出,在带出后再自动对框架7进行定位,同时门板2关闭也可自动将框架7带入,连接齿轮15的底部固定安装有连接轴,连接轴的底端与左侧位置的链轮8固定连接,连接轴用于连接连接齿轮15和左侧位置的链轮8,使得连接齿轮15在转动时可带动左侧位置的链轮8转动,实现对左侧位置链轮8的传动。
25.工作原理:在使用该装置时,先在门板2上按动按动杆4,使得按动杆4向右侧移动,按动杆4在门板2内只能向左侧或者向右侧移动,而中心杆13则只能向下或者向上移动,在按动杆4向右侧移动时,按动杆4的右侧与配合块14的左侧接触,按动杆4就会向下按动配合块14,配合块14再带动中心杆13下降,中心杆13再拉动控制杆10下降,控制杆10同时压缩两个弹簧11并带动定位杆17下降,此时定位杆17与定位盘3脱离,定位杆17和门板2就可自由转动,然后再打开门板2,门板2转动带动半齿轮18转动,半齿轮18带动配合齿轮16转动,配合齿轮16带动连接齿轮15转动,连接齿轮15再带动左侧位置的链轮8转动,左侧位置的链轮8通过链条9带动右侧位置的链轮8转动,右侧位置的链轮8再带动带动齿轮5转动,带动齿轮5再带动齿条6移动,齿条6就会带动框架7在除胶装置1的内壁上滑动,就实现了在门板2打开时可将框架7带出,方便对框架7填充物品,框架7被带出后松开按动杆4,按动杆4放开中心杆13和控制杆10,控制杆10再通过弹簧11的回弹复位向上移动,带动定位杆17重新与定位盘3啮合,在定位杆17与定位盘3啮合时,定位盘3不可转动,因此定位杆17也就不可转动,定位杆17就可将门板2定位住,来阻挡门板2转动,实现对门板2的定位,使得门板2不会妨碍对框架7填充物品,门板2与框架7连接,也实现了对框架7的定位,增加框架7的稳定性,再次按动按动杆4即可对门板2解锁,又可旋转门板2,门板2反转可将框架7带入。
26.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范
围之内。
当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1