一种电磁屏蔽八角盒的制作方法

1.本技术涉及晶圆测试的领域，尤其是涉及一种电磁屏蔽八角盒。


背景技术：

2.晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以铍铜/钨制成细如毛发的探针，并让探针与晶粒上的pad点接触，以此来测试晶圆的电学特性。
3.相关技术中，晶圆测试设备包括机架、载晶盘、探针以及显微镜平台，机架包括有箱体，箱体具有屏蔽腔，屏蔽腔的上侧内壁设置有观测孔；载晶盘水平活动设置在屏蔽腔内；探针设置在机架上，并且探针的其中一端从观测孔处伸入屏蔽腔内，以和晶圆上的pad点接触；显微镜平台设置在机架上，并且显微镜平台位于箱体的上方，而且显微镜平台能从观测孔处观察探针是否与晶圆上的pad点接触，从而便能够进行晶圆测试的工作。
4.针对上述中的相关技术，存在有即使观测孔处有显微镜平台以及探针，但屏蔽腔在观测孔处直接与外部环境接触的区域仍然较大，从而导致晶圆测试的准确性会降低的缺陷。


技术实现要素：

5.为了提升晶圆测试的准确性，本技术提供一种电磁屏蔽八角盒。
6.本技术提供的一种电磁屏蔽八角盒采用如下的技术方案：
7.一种电磁屏蔽八角盒，设置在基板上，所述基板设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔；包括侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件，所述侧板与所述基板连接，所述侧板呈环状，所述侧板的内侧与所述观测孔相连通；所述侧板设置有供探针穿入的第一穿孔，在探针穿入所述第一穿孔时，所述第一密封件用于封闭所述第一穿孔；所述盖板连接在所述侧板远离所述基板的一端上，所述盖板设置有供镜头穿入的第二穿孔，在镜头穿入所述第二穿孔时，所述第二密封件用于封闭所述第二穿孔。
8.通过采用上述技术方案，因第一穿孔、第二穿孔、第一密封件以及第二密封件的设置，则探针能穿入第一穿孔中来与晶圆上的pad点相接触，镜头能穿入第二穿孔来观测探针与晶圆上的pad点是否接触，同时第一密封件能封闭第一穿孔，第二密封件能封闭第二穿孔，所以使晶圆所在的空间与外部环境被分隔开，从而使外部环境中的干扰不易从观测孔处传递至晶圆所在的空间，进而能提升晶圆测试的准确性。
9.优选的，所述第一密封件包括两个能发生弹性形变的密封片，两个所述密封片分别设置在所述第一穿孔相对的两个竖向内壁上，所述密封片的一端与所述第一穿孔的内壁连接，另一端与另一个所述密封片抵接。
10.通过采用上述技术方案，因探针的体积较小，所以第一密封件包括两个能弹性形变的密封片的设置方式，则在探针穿入第一穿孔中时，两个密封片相互靠近的一端既能抵紧探针，也能相互抵接，从而在探针穿入第一穿孔内的同时达到封闭第一穿孔的目的。
11.优选的，两个所述密封片相互靠近的一端之间部分一体连接，两个所述密封片之
间的一体连接处位于所述密封片靠近所述基板的一端上。
12.通过采用上述技术方案，因探针穿入两个密封片之后会向下延伸，所以两个密封片之间部分一体连接，以及一体连接处位于密封片靠近基板的一端的方式，则使两个密封片与探针相抵接的一端之间的错位幅度会更小，从而两个密封片与探针之间的接触更加紧密，有助于进一步保持晶圆所在空间的密闭性。
13.优选的，所述第二密封件包括密封板以及滑杆，所述密封板通过所述滑杆用于与显微镜平台滑动连接，在显微镜平台向靠近或远离所述盖板的方向运动预定范围内时，所述密封板与所述盖板远离所述侧板的一侧表面抵接以封住所述第二穿孔。
14.通过采用上述技术方案，因镜头的体积较大，所以第二密封件包括密封板以及滑杆的方式，则在显微镜平台向靠近或远离盖板的方向运动预定距离时，密封板会一直与盖板远离侧板的一侧表面抵接，同时密封板会封住第二穿孔，从而在镜头穿入第二穿孔中的同时达到封闭第二穿孔的目的。
15.优选的，所述侧板的截面呈正多边形，所述第一穿孔设置有多个，多个所述第一穿孔分别位于所述侧板的多个侧表面上。
16.通过采用上述技术方案，因侧板的截面呈正多边形，以及多个第一穿孔与侧板的多个侧表面一一对应设置的方式，所以既使相邻两个第一穿孔在圆周方向上的偏移是一样的，也使得不同第一穿孔距离侧板中心处的距离也是一样的，则在安装探针时，便可通过探针与侧板外侧之间的距离比较容易地判断出多个探针处于侧板内的大致长度，从而使得便于完成测试工作的前期准备。
17.优选的，还包括有多个立柱，所述立柱位于所述侧板的外侧，所述立柱一端与所述基板固定连接；所述盖板的边缘处超出所述侧板的外侧，所述盖板的边缘处与所述立柱远离所述基板的一端固定连接，所述盖板与所述侧板抵接，所述侧板与所述基板抵接。
18.通过采用上述技术方案，先通过螺栓立柱安装在基板上，接着将侧板放入多个立柱之间，然后将盖板固定在立柱上，从而便完成了八角盒的安装工作，相比于直接通过螺栓在侧板固定在基板上的方式，此种设计方式，因在固定多个立柱时，不同立柱之间不会相互影响，只需要使多个立柱之间能有供侧板放入的空间即可，从而使得八角盒的安装更加方便。
19.优选的，所述立柱设置有四个，四个所述立柱所围图形的中心与所述侧板的中心重合。
20.通过采用上述技术方案，四个立柱各自对盖板的作用力所形成的合力能经过侧板的中心处，所以既使立柱数量不会过多，也使侧板能牢牢地被盖板抵紧在基板上，从而有助于提升八角盒的安装稳定性。
21.优选的，所述第二穿孔的内壁与镜头之间设置有调整区，所述调整区供镜头沿所述第二穿孔的直径方向发生偏移。
22.通过采用上述技术方案，因调整区的设置，则在镜头与侧板的中心处存在偏差时，镜头能在外部驱动源的作用下再进行微调，从而既不会影响第二穿孔处的密封性，也使得测试工作能更加方便。
23.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
24.1.通过侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件的设置，则探针能穿入第一穿孔中
来与晶圆上的pad点相接触，镜头能穿入第二穿孔来观测探针与晶圆上的pad点是否接触，同时第一密封件能封闭第一穿孔，第二密封件能封闭第二穿孔，所以使晶圆所在的空间与外部环境被分隔开，从而使外部环境中的干扰不易从观测孔处传递至晶圆所在的空间，进而能提升晶圆测试的准确性；
25.2.通过第一密封件包括两个能发生弹性形变的密封片的设置，则在探针穿入第一穿孔中时，两个密封片相互靠近的一端既能抵紧探针，也能相互抵接，从而在探针穿入第一穿孔内的同时达到封闭第一穿孔的目的；
26.3.通过两个密封片相互靠近的一端之间部分一体连接的方式，则使两个密封片与探针相抵接的一端之间的错位幅度会更小，从而两个密封片与探针之间的接触更加紧密，有助于进一步保持晶圆所在空间的密闭性。
附图说明
27.图1是本技术实施例中电磁屏蔽八角盒的结构示意图。
28.附图标记说明：1、基板；11、观测孔；2、侧板；21、第一穿孔；3、盖板；31、第二穿孔；4、第一密封件；41、密封片；5、第二密封件；51、密封板；52、滑杆；6、显微镜平台；7、立柱；8、调整区。
具体实施方式
29.以下结合附图1对本技术作进一步详细说明。
30.本技术实施例公开一种电磁屏蔽八角盒。参照图1，电磁屏蔽八角盒设置在基板1上，其中基板1是晶圆所在空间的上侧壁，并且基板1上开设有观测孔11，而且基板1会进行导电处理，所以使八角盒也进行有导电处理，此外因电磁屏蔽八角盒还需要与显微镜平台6相配合，所以电磁屏蔽八角盒位于显微镜平台6的下方，并且显微镜平台6能在外部驱动源的作用下沿xyz三轴方向运动，从而能将显微镜平台6上的镜头从非观测位置运动至观测位置处。
31.参照图1，电磁屏蔽八角盒包括侧板2、盖板3以及立柱7，侧板2呈环状，侧板2的截面呈正八边形，具体的，侧板2抵接在基板1的上表面上，并且侧板2与观测孔11同轴设置；盖板3的截面呈正八边形，盖板3同轴抵接在侧板2远离基板1的一侧表面上，并且盖板3的周侧边缘超出侧板2的外侧；立柱7位于侧板2的外侧，立柱7的一端与基板1固定连接，另一端与盖板3的边缘处固定连接，其中立柱7共有四个，四个立柱7所围图形的中心与侧板2的中心重合，所以四个立柱7各自对盖板3的作用力所形成的合力能经过盖板3的中心处，从而使得盖板3能牢牢地将侧板2抵紧在基板1上，进而使八角盒的安装更加稳定。
32.参照图1，因八角盒需要让探针以及显微镜平台6的镜头穿入，所以八角盒上对应有进行特殊的密封处理，其一，侧板2上开设有供探针穿入的第一穿孔21，并且第一穿孔21设置有多个，多个第一穿孔21分别位于侧板2的多个侧表面上，而且第一穿孔21处设置有第一密封件4，具体的，第一密封件4包括两个由泡棉材质制成的密封片41，密封片41还为导电棉材质，其中两个密封片41分别设置第一穿孔21相对的两个竖向内壁上，对于一个密封片41来说，密封片41一端与第一穿孔21的内壁相连接，另一端与另一个密封片41抵接，则在探针穿入第一穿孔21中时，两个密封片41相互靠近的一端既能抵紧探针，也能相互抵接，从而
在探针穿入第一穿孔21内的同时达到封闭第一穿孔21的目的。
33.参照图1，两个密封片41相互靠近的一端之间部分一体连接，并且一体连接处位于密封片41靠近基板1的一端上，在本实施例中，两个密封片41是通过一块泡棉切割而成的，所以两个密封片41相互靠近的一端部分一体连接，并且一体连接处位于密封片41靠近基板1的一端上，则为了能安装密封片41，侧板2是通过内外两层板固定连接而成的，并且密封片41位于内外两层板之间，从而在探针伸入第一穿孔21中时，两个密封片41与探针相抵接的一端之间不会有大幅度偏差，从而在探针穿入第一穿孔21中时能保持第一穿孔21的密闭性。
34.参照图1，其二，盖板3同轴开设有供显微镜平台6的镜头穿入的第二穿孔31，并且第二穿孔31处设置有第二密封件5，具体的，第二密封件5包括密封板51以及滑杆52，密封板51通过滑杆滑动连接显微镜平台6上，并且在显微镜平台6向靠近或远离盖板3的方向运动预定范围内时，密封板51会通过自身重力一直与盖板3远离侧板2的一侧表面抵接，同时密封板51会封住第二穿孔31，从而在镜头穿入第二穿孔31中时达到封闭第二穿孔31的目的，综上在第一密封件4以及第二密封件5的共同作用下，晶圆所在的空间与外部环境会被分隔开，从而使外部环境中的干扰不易从观测孔11处传递至晶圆所在的空间，进而能提升晶圆测试的准确性。
35.此外在本实施例中，因镜头处于第二穿孔31中时还需要进行水平方向的位移调节，以让镜头更好地观测到探针以及晶圆，所以第二穿孔31的内壁与镜头之间形成有调整区8。
36.本技术实施例一种电磁屏蔽八角盒的实施原理为：因第一穿孔21、第二穿孔31、第一密封件4以及第二密封件5的设置，则探针能穿入第一穿孔21中来与晶圆上的pad点相接触，镜头能穿入第二穿孔31来观测探针与晶圆上的pad点是否接触，同时第一密封件4能封闭第一穿孔21，第二密封件5能封闭第二穿孔31，所以使晶圆所在的空间与外部环境被分隔开，从而使外部环境中的干扰不易从观测孔11处传递至晶圆所在的空间，进而能提升晶圆测试的准确性。
37.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。