半导体器件、半导体器件封装体、照明设备和背光单元的制作方法

文档序号:31029418发布日期:2022-08-06 01:38阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种半导体器件,包括:发光结构,其包括n型层、p型层以及位于所述n型层与所述p型层之间的有源层;以及互连凸块,其包括:焊盘电极,其位于n型层和p型层中的至少一个电极上,焊料凸块,其键合至所述焊盘电极;其特征在于:所述互连凸块的孔隙率≤5%。2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于:所述焊盘电极包括多层金属层,其最上层金属层为au层,所述焊料凸块与所述au层直接接触,所述au层厚度为3.根据权利要求2所述的半导体器件,其特征在于:所述互连凸块的孔隙率≤3%,所述4.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于:所述焊盘电极包括凸块下冶金层,以及位于所述凸块下冶金层与所述焊料凸块之间的金属间化合物层,所述金属间化合物层与所述焊料凸块之间的孔隙率≤5%。5.根据权利要求4所述的半导体器件,其特征在于:所述金属间化合物顺次包括ti层、ni层、au层,所述ti层厚度为所述ni层厚度为所述au层厚度为6.根据权利要求5所述的半导体器件,其特征在于:所述金属间化合物层与所述焊料凸块之间的孔隙率≤3%,所述7.根据权利要求4所述的半导体器件,其特征在于:所述凸块下冶金层包括粘结层、金属反射层以及包覆层,所述焊料凸块为sn。8.一种半导体器件,包括:发光结构,具有多个电极;以及与所述多个电极电性连接的互连凸块,其中,所述互连凸块包括位于所述电极上的焊盘电极,键合至所述焊盘电极上的焊料凸块,所述互连凸块的孔隙率≤5%。9.根据权利要求8所述的一种半导体器件,其特征在于:所述发光结构包括n型层、p型层,以及位于所述n型层和所述p型层之间的有源层;所述多个电极在所述发光结构的同一侧,包括分别与所述n型层和所述p型层电性连接的多个第一n电极和多个第一p电极;焊盘电极包括分别电性连接多个第一n电极和多个第一p电极的n电极焊盘和p电极焊盘。10.一种半导体器件封装件,包括:封装件主体;封装件主体上的半导体器件;以及对所述半导体器件进行包封的包封部分,其中所述半导体器件如权利要求1~9任意一项所示。11.根据权利要求10所述的封装件,其特征在于,所述包封部分至少包括一磷光体。12.一种照明设备,包括:壳体;以及如权利要求10所述的半导体器件封装件。13.一种背光元件,包括背光板,以及如权利要求10所述的半导体器件封装件。

技术总结
本发明提供了一种半导体器件、半导体器件封装体、照明设备和背光单元,包括:发光结构,其包括N型层、P型层以及位于所述N型层与所述P型层之间的有源层;以及互连凸块,其包括:焊盘电极,其位于N型层和P型层中的至少一个电极上,焊料凸块,其键合至所述焊盘电极;所述互连凸块的孔隙率≤5%。可以降低锡球电极内的孔隙率。隙率。隙率。


技术研发人员:王思博 李冬梅 蒋从康 廖汉忠 芦玲
受保护的技术使用者:淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
技术研发日:2022.06.07
技术公布日:2022/8/5
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