一种晶圆位置的检测校对装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种检测校对装置，尤其涉及一种晶圆位置的检测校对装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在目前的半导体领域中，对于晶圆相关的加工工序中，会需要对晶圆进行检测，在检测过程中通常都会需要对晶圆进行位置校对。
3.现有的大部分对晶圆的检测装置在对晶圆检测时，一般是定点检测，使人们取放时也需要定点的取放，若晶圆在检测时发生偏移，难以及时调节晶圆的位置，从而会影响人们对晶圆进行检测。
4.因此，针对上述不足之处，提供了一种便于固定晶圆位置的晶圆进行检测的晶圆位置的检测校对装置。


技术实现要素：

5.为了克服人们在使用大部分现有的晶圆检测装置时，晶圆在检测时可能会发生偏移的缺点，本实用新型的目的是提供一种便于固定晶圆位置的晶圆进行检测的晶圆位置的检测校对装置。
6.本实用新型通过以下技术途径实现：
7.一种晶圆位置的检测校对装置，包括有底板、支撑架、导向杆、移动架、固定板、抵挡块、推动架、螺杆块、固定架和显微镜，底板顶部中间连接有支撑架，支撑架上部前后两侧均连接有导向杆，导向杆之间滑动式设有移动架，移动架顶部连接有固定板，固定板左部开有滑槽道，固定板顶部右侧连接有抵挡块，滑槽道上滑动式设有用于固定晶圆的推动架，推动架左侧下部螺纹式设有螺杆块，螺杆块与固定板接触，底板顶部后侧连接有固定架，固定架前侧上部连接有显微镜。
8.此外，特别优选的是，还包括有螺旋杆，支撑架上部中间转动式设有用于移动作用的螺旋杆，螺旋杆与移动架螺纹式连接。
9.此外，特别优选的是，还包括有底座和小马达，底板顶部右侧连接有底座，底座上连接有用于转动螺旋杆的小马达，小马达的输出轴与螺旋杆连接。
10.此外，特别优选的是，还包括有防滑块，底板底部间隔连接有用于防滑的防滑块。
11.此外，特别优选的是，还包括有把手，推动架左侧连接有用于拉动推动架移动的把手。
12.此外，特别优选的是，还包括有第一橡胶块和第二橡胶块，抵挡块左侧连接有第一橡胶块，推动架右侧连接有用于防护晶圆的第二橡胶块。
13.本实用新型提供了一种晶圆位置的检测校对装置，具备的优点是：
14.1、本实用新型通过晶圆与抵挡块和推动架接触，能够对晶圆进行固定，从而防止晶圆发生偏移。
15.2、本实用新型通过拉动固定板进行移动，能够带动晶圆进行移动，从而对晶圆的位置进行调节，进而方便人们对晶圆的位置进行调节。
16.3、本实用新型通过开启小马达，使小马达的输出轴通过螺旋杆带动固定板进行移动，从而方便人们移动固定板。
附图说明
17.图1为本实用新型的立体结构示意图。
18.图2为本实用新型的第一种部分立体结构示意图。
19.图3为本实用新型的第二种部分立体结构示意图。
20.图4为本实用新型的部分剖视图。
21.其中，上述附图包括以下附图标记：1、底板，2、支撑架，3、底座，4、小马达，5、导向杆，6、螺旋杆，7、移动架，8、固定板，9、防滑块，10、滑槽道，11、抵挡块，12、推动架，13、螺杆块，14、把手，15、第一橡胶块，16、第二橡胶块，17、固定架，18、显微镜。
具体实施方式
22.以下结合说明书附图进一步阐述本实用新型，并结合说明书附图给出本实用新型的实施例。
23.实施例1
24.一种晶圆位置的检测校对装置，包括有底板1、支撑架2、导向杆5、移动架7、固定板8、抵挡块11、推动架12、螺杆块13、固定架17和显微镜18，参看图1-图4所示，底板1顶部中间焊接有支撑架2，支撑架2上部前后两侧均连接有导向杆5，两个导向杆5之间滑动式设有移动架7，移动架7顶部连接有固定板8，固定板8左部开有滑槽道10，固定板8顶部右侧连接有抵挡块11，滑槽道10上滑动式设有推动架12，通过推动架12与晶圆接触，能够对晶圆进行固定，推动架12左侧下部螺纹式设有螺杆块13，螺杆块13与固定板8接触，底板1顶部后侧连接有固定架17，固定架17前侧上部连接有显微镜18。
25.当人们需要使用该晶圆位置的检测校对装置时，首先拧动螺杆块13进行转动，使螺杆块13与固定板8分离，从而使固定板8松开螺杆块13，再拉动推动架12向左侧进行移动，进而对晶圆的放置位置进行扩大，然后将晶圆放置在固定板8上，使晶圆与抵挡块11接触，再拉动推动架12向右侧进行移动，使推动架12与晶圆接触，从而使推动架12固定晶圆，然后拧动螺杆块13反转复位，使螺杆块13与固定板8接触，从而使固定板8固定螺杆块13，进而防止推动架12发生移动，再松开推动架12和螺杆块13，然后拉动固定板8进行移动，从而带动晶圆进行移动，进而对晶圆的位置进行调节，当对晶圆的位置调节完成后，再松开固定板8，然后人们即可通过显微镜18对晶圆进行检测，当人们对晶圆的检测完成后，拧动螺杆块13进行转动，使螺杆块13与固定板8分离，从而使固定板8松开螺杆块13，再拉动推动架12向左侧进行移动，使推动架12松开晶圆，然后人们即可将晶圆取出，使晶圆与抵挡块11分离，再拧动螺杆块13反转复位，使螺杆块13与固定板8接触，从而使固定板8固定螺杆块13即可。
26.实施例2
27.在实施例1的基础之上，还包括有螺旋杆6，参看图2所示，支撑架2上部中间转动式设有螺旋杆6，通过拧动螺旋杆6进行正反转动，能够带动固定板8进行左右移动，螺旋杆6与
移动架7螺纹式连接。
28.当人们需要对晶圆的位置进行调节时，可以拧动螺旋杆6进行正反转动，螺旋杆6带动固定板8进行左右移动，从而方便人们对晶圆的位置进行调节，当人们对晶圆的位置调节完成后，松开螺旋杆6即可。
29.还包括有底座3和小马达4，参看图1和图2所示，底板1顶部右侧连接有底座3，底座3上栓接有小马达4，通过开启小马达4，能够带动螺旋杆6进行正转或者反转，小马达4的输出轴与螺旋杆6连接。
30.当人们需要拧动螺旋杆6进行转动时，可以先开启小马达4，控制小马达4的输出轴正转或者反转，从而带动螺旋杆6进行正转或者反转，进而不需要人们人工拧动螺旋杆6进行转动，当对晶圆的位置调节完成后，关闭小马达4即可。
31.还包括有防滑块9，参看图2所示，底板1底部间隔连接有防滑块9，在防滑块9的作用下，能够防止该晶圆位置的检测校对装置移动打滑。
32.当该晶圆位置的检测校对装置运行时，防滑块9能够防止该晶圆位置的检测校对装置在运行的过程中移动打滑。
33.还包括有把手14，参看图4所示，推动架12左侧连接有把手14，通过拉动把手14进行移动，能够方便人们拉动推动架12进行移动。
34.当人们需要拉动推动架12进行移动时，可以拉动把手14进行移动，把手14带动推动架12进行移动，从而方便人们拉动推动架12进行移动。
35.还包括有第一橡胶块15和第二橡胶块16，参看图3和图4所示，抵挡块11左侧连接有第一橡胶块15，推动架12右侧连接有第二橡胶块16，在第一橡胶块15和第二橡胶块16的作用下，能够防止晶圆发生损坏。
36.当人们将晶圆放置在固定板8上时，晶圆与第一橡胶块15接触，从而防止抵挡块11损坏晶圆，当推动架12向右侧移动时，推动架12带动第二橡胶块16进行移动，从而使第二橡胶块16卡住晶圆，进而防止推动架12损坏晶圆，当推动架12向左侧移动时，推动架12带动晶圆向左侧移动，使第二橡胶块16与晶圆分离，当人们将晶圆取出时，晶圆与第一橡胶块15分离。
37.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。