技术特征：
1.一种用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，包括工作台(1)和连接于所述工作台(1)的升降组件(4)，所述升降组件(4)设有三组且包括一号组件(41)、二号组件(42)和三号组件(43)，所述一号组件(41)、二号组件(42)和三号组件(43)阵列式连接于所述工作台(1)；所述工作台(1)上连接有配合所述一号组件(41)、二号组件(42)或三号组件(43)使用且用于存放晶圆(3)的花篮(2)；所述花篮(2)的一侧设有连接于所述工作台(1)的倒片装置(5)，所述倒片装置(5)包括壳体(51)和连接于所述壳体(51)的两三棱柱(52)，两所述三棱柱(52)转动连接于所述壳体(51)；所述一号组件(41)包括升降台(412)和驱动件(411)，所述升降台(412)连接有底座(413)，所述底座(413)连接于所述花篮(2)；所述驱动件(411)通过升降台(412)带动所述底座(413)运动以伸出花篮(2)外，并带动花篮(2)内的晶圆(3)竖直向上运动；通过转动两所述三棱柱(52)以将位于底座(413)上的晶圆(3)进行分离。2.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，所述一号组件(41)、二号组件(42)和三号组件(43)的结构相同。3.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，所述工作台(1)连接有限位块(6)，所述限位块(6)位于所述底座(413)的两侧，两所述限位块(6)相互配合使用并与所述花篮(2)卡接连接。4.根据权利要求3所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，所述花篮(2)内设有多个晶圆槽(21)，所述底座(413)的表面设有多个卡槽(414)，所述卡槽(414)与所述晶圆槽(21)一一对应，以对位于花篮(2)内的晶圆(3)进行支撑。5.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，所述倒片装置(5)还包括直线模组(53)，所述直线模组(53)与所述壳体(51)相连接，并能够驱动所述壳体(51)沿着所述工作台(1)的长度方向水平移动，以将位于两三棱柱(52)之间的晶圆(3)进行搬运。6.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，所述三棱柱(52)的棱边均设有一号齿(521)和二号齿(522)，所述一号齿(521)和二号齿(522)沿着所述三棱柱(52)的长度方向交错设置，并能够与所述花篮(2)内的晶圆(3)一一对应。7.根据权利要求6所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，所述一号齿(521)的宽度等于所述二号齿(522)的宽度；所述一号齿(521)的长度小于所述二号齿(522)的长度。8.根据权利要求7所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，所述一号齿(521)的宽度等于所述晶圆(3)的厚度，所述二号齿(522)的宽度等于所述晶圆(3)的厚度。9.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，两所述三棱柱(52)的平面之间的距离大于所述晶圆(3)的直径。10.根据权利要求9所述的用于晶圆搬运的自动倒片机，其特征在于，两所述三棱柱(52)的棱边之间的距离小于所述晶圆(3)的直径。
技术总结
本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的自动倒片机，包括工作台和连接于工作台的升降组件，升降组件设有三组且包括一号组件、二号组件和三号组件，一号组件、二号组件和三号组件阵列式连接于工作台；工作台上连接有配合一号组件、二号组件或三号组件使用且用于存放晶圆的花篮；花篮的一侧设有连接于工作台的倒片装置，倒片装置包括壳体和连接于壳体的两三棱柱，两三棱柱转动连接于壳体；一号组件包括升降台和驱动件，升降台连接有底座，底座连接于花篮；驱动件通过升降台带动底座运动以伸出花篮外，并带动花篮内的晶圆竖直向上运动；通过转动两三棱柱以将位于底座上的晶圆进行分离，从而有效的调节了晶圆之间的距离。从而有效的调节了晶圆之间的距离。从而有效的调节了晶圆之间的距离。
技术研发人员：陈铁龙 程龙祥 张振 林智颖 欧赵旺
受保护的技术使用者：苏州睿智源自动化科技有限公司
技术研发日：2022.06.06
技术公布日：2022/9/5