一种便于装卸片的石墨舟小车的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于半导体集成电路制造设备领域，更具体的，涉及一种便于装卸片的石墨舟小车。
【背景技术】
[0002]太阳能电池制造过程中，有很多工序中都会涉及到装卸电池片。石墨舟小车是在太阳能电池片制造的等离子体增强化学气相沉积(即PECVD)工序中最常用的工装器具，石墨舟小车用来装载石墨舟进行装卸电池片以及来回运输石墨舟于设备、卸片台和冷却柜之间。
[0003]其中，四管卧式等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposit1n, PECVD)设备的功能是在高真空石英腔体内利用高频电场激发，分解工艺气体SiH4、NH3，在样品表面的沉积形成Si3N4薄膜。四管卧式PECVD中，石墨舟小车是PECVD设备的关键部件，它是设备运载石墨舟的装置，也是装卸电池片的操作台。
[0004]石墨舟用于装载电池片，通常将未镀膜的硅片放置在石墨舟片的卡点上，每个石墨舟上可放置固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺对硅片进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
[0005]业界在石墨舟上装载硅片时，通常是把石墨舟平放在工作平台上装载硅片，由于石墨舟是双面装片，操作工需要围着工作台180度移动位置来进行装片，导致操作工的工作强度大、耗时长、工作效率低下。而在卸载硅片时，通常需要把石墨舟放置在一个相对倾斜的操作平台上，从而便于操作工卸载硅片。
[0006]例如，中国专利申请号CN201439541U的专利，揭示了一种等离子体化学气相沉积法PECVD小车。PECVD小车包括车身，车身上安装有肋板，肋板上通过旋转轴安装有一台面旋转体，一台面安装在台面旋转体上，PECVD小车还包括能带动台面在上下方向上倾倒45°角的缓冲气缸和限位顶柱，该缓冲气缸和限位顶柱安装在车身与台面旋转体之间，上述结构的小车可以实现石墨舟在上下位置上作出45°的倾斜移动，以便于操作人员装卸电池片。
[0007]然而，上述专利中揭示的PECVD小车，由于台面可在上下方向上倾倒45°角，一定程度上为操作工装卸片提供了便捷，但是功能相对单一，在实际装载硅片的过程中，操作工依旧需要围着工作台180度移动位置来进行装片，导致操作工的工作强度大、耗时长、工作效率低下。针对上述问题，业界亟需提供一种便于装卸片的石墨舟小车以解决上述问题。
【发明内容】
[0008]本发明的目的是针对现有技术中存在上述缺陷，提供了一种便于装卸片的石墨舟小车，其操作台面可旋转或倾斜至预设角度，从而提高工作效率。
[0009]为解决上述问题，本发明提供一种便于装卸片的石墨舟小车，包括:车体框架，用于安装旋转倾斜机构以及石墨舟承载板；石墨舟承载板，用于承载并固定石墨舟，所述石墨舟承载板包括至少两根水平安装的轴体以及安装在两根轴体两端、用于固定石墨舟的夹紧装置；旋转倾斜机构，与所述石墨舟承载板铰接，用于控制所述石墨舟承载板旋转或倾斜至预设角度；所述旋转倾斜机构包括旋转机构以及倾斜机构，所述旋转机构用于控制所述石墨舟承载板的水平旋转角度，所述倾斜机构用于控制所述石墨舟承载板的倾斜角度；锁定件，安装于所述旋转倾斜机构上，所述锁定件包括用于固定所述石墨舟承载板的旋转锁定件以及倾斜锁定件；其中，在石墨舟小车装片/卸片前，通过施加外力于所述石墨舟承载板，使其旋转/倾斜至预设角度，并通过所述旋转锁定件/倾斜锁定件将所述石墨舟承载板固定。
[0010]优选的，所述旋转机构包括支撑块、第一轴承、第一轴套以及转动托盘；其中，所述支撑块的通过其左右两侧的支撑板与所述车体框架固接；所述第一轴套固接于所述支撑块的顶部；所述第一轴承可相对水平旋转的安装在所述第一轴套内；所述转动托盘与所述第一轴承固接，所述转动托盘用于承载所述石墨舟承载板。
[0011]优选的，所述旋转锁定件包括:所述转动托盘上设有预设宽度的凸起部，所述支撑块上固接一限位杆，所述限位杆的两端均设有定位螺母以及定位螺钉；其中，通过调整所述定位螺母和/或定位螺钉的位置，使定位螺母与定位螺钉之间的间距与所述凸起部的宽度相适应，以限制所述石墨舟承载板的转动。
[0012]优选的，所述旋转机构还包括气动弹簧以及液压缓冲器，所述气动弹簧通过连接件与所述支撑块固接，所述液压缓冲器用于减小缓冲力。
[0013]优选的，所述倾斜机构包括支撑块、第二轴套以及第二轴承；其中，所述支撑块的通过其左右两侧的支撑板与所述车体框架固接；所述第二轴套安装在所述支撑板上；所述第二轴承水平安装在所述支撑块内，且所述第二轴承可在所述第二轴套内旋转，以带动所述支撑块相对于所述支撑板倾斜预设角度。
[0014]优选的，所述倾斜锁定件为两组，均安装于同一支撑板的内侧壁上，且所述倾斜锁定件均位于所述支撑块的下方；每组倾斜锁定件包括限位块、限位螺母以及限位螺钉；所述限位块可旋转的安装于所述支撑板上，且固接所述限位螺母，所述限位螺母内设有与其配合的限位螺钉；其中，通过分别调节两组限位螺钉的高度及限位块的倾斜角度，使两组限位螺钉的顶部同时抵压所述支撑块的下表面，以限制所述支撑块转动。
[0015]优选的，所述倾斜机构还包括气动弹簧以及液压缓冲器，所述气动弹簧通过连接件与所述支撑块固接，所述液压缓冲器用于减小缓冲力。
[0016]优选的，所述夹紧装置包括连接块、内夹块以及外夹块；其中，所述连接块安装在所述石墨舟承载板轴体的两端；所述内夹块分别安装于所述连接块的两侧，且所述内夹块的间距与所述石墨舟的长度相适应；所述外夹块安装于所述连接块的端部，且所述外夹块的间距与所述石墨舟的宽度相适应。
[0017]优选的，所述石墨舟承载板的水平旋转角度为180°，或所述石墨舟承载板的倾斜角度为20?45°。
[0018]优选的，所述石墨舟承载板的两根轴体的上方设有不锈钢网孔板。
[0019]从上述技术方案可以看出，本发明提供的便于装卸片的石墨舟小车，通过设置旋转倾斜机构，使石墨舟承载板可旋转/倾斜至预设角度，并通过锁定件将所述石墨舟承载板固定，以便操作工装卸电池片，减少了操作工的工作强度，缩短了装卸片的时间，提高了工作效率。此外，本发明在旋转倾斜机构上设置气动弹簧或液压缓冲器，从而在调节石墨舟在水平及竖直方向的位置时，使石墨舟旋转或倾斜过程更加平稳，防止碎片的产生；本发明结构灵活、安全可靠、操作简便、便于使用。
【附图说明】
[0020]结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中:
[0021]图1是本发明便于装卸片的石墨舟小车的整体结构示意图；
[0022]图2是本发明便于装卸片的石墨舟小车的旋转状态结构示意图；
[0023]图3是本发明便于装卸片的石墨舟小车的倾斜状态结构示意图；
[0024]图4是本发明实施例中石墨舟承载板的结构示意图；
[0025]图5是图4中所示夹紧装置的局部放大结构示意图；
[0026]图6是本发明实施例中旋转倾斜机构的结构示意图；
[0027]图7是图6中所示去除转动托盘以及支撑板的旋转倾斜机构的结构示意图。
[0028][图中附图标记]:
[0029]100、车体框架；
[0030]200、石墨舟承载板；210、轴体；220、夹紧装置；221、连接块；222、内夹块；223、夕卜夹块；224、不锈钢网孔板；
[0031]300、旋转倾斜机构；311、支撑块；312、第一轴承；313、第一轴套；314、转动托盘；314a、凸起部；315、支撑板；316、气动弹簧；317、连接件；318、液压缓冲器；321、第二轴套；322、第二轴承；
[0032]400、旋转锁定件；410、限位杆；420、定位螺母；430、定位螺钉。
【具体实施方式】
[0033]为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。其次，本发明利用示意图进行了详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本发明的限定。
[0034]需要说明的是，在下述的实施例中，利用图1?7的结构示意图对按本发明一种便于装卸片的石墨舟小车进行了详细的表述。在详述本发明的实施方式时，为了便于说明，各示意图不依照一般比例绘制并进行了局部放大及省略处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定。
[0035]请参阅图1，图1是本发明实施例一种便于装卸片的石墨舟小车，包括车体框架100、石墨舟承载板200、旋转倾斜机构300以及锁定件；在石墨舟小车装片/卸片前，通过施加外力于石墨舟承载板200，使其旋转/倾斜至预设角度，并通过锁定件将石墨舟承载板200固定，以便操作工装卸电池片，减少了操作工的工作强度。
[0036]请参阅图2、图3，图2是本发明便于装卸片的石墨舟小车的旋转状态结构示意图，图3是本发明便于装卸片的石墨舟小车的倾斜状态结构示意图。石墨舟承载板200的水平旋转角度优选为180°，石墨舟承载板200的倾斜角度优选为20?45°，较佳的，石墨舟承载板200的倾斜角度为22°。
[0037]请参阅图4、图5，图4是本发明实施例中石墨舟承载板的结构不意图，图5是图4中所示夹紧装置的局部放大结构示意图。石墨舟承载板200用于承载并固定石墨舟(图中未示出)，石墨舟承载板200包括至少两根水平安装的轴体210以及安装在两根轴体210两端、用于固定石墨舟的夹紧装置220。其中，夹紧装置220包括连接块221、内夹块22