，厚度为10nm ；最后得到所需要的电致发光器件。
[0077]磁控溅射制备的工作压强为5X 10_5Pa，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s,有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s，金属的蒸镀速率为lnm/s。磁控溅射的加速电压:800V，磁场约:200G，功率密度:lW/cm2。
[0078]热阻蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为5X10_5Pa，工作电流为1A，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s。
[0079]电子束蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为5X 10_5Pa，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s。
[0080]实施例4
[0081 ]本实施例制备结构为玻璃基底 /BCzVB1: Zn/Zn/BCzVB1: FeCl3/IT0/V205/TCTA/BCzVBi/Bphen/LiF/Pt的有机电致发光器件。
[0082]玻璃基底为N-LASF41A，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上在玻璃基底上制备散射层，散射层由锌的掺杂层、锌粉层和铁盐掺杂层组成，在玻璃基板表面采用电子束蒸镀制备锌的掺杂层，材料为BCzVB1: Zn，BCzVBi与Zn的质量比为18:1，厚度为lOOnm，电子束蒸镀的能量密度为50W/cm2，锌粉粒径为30nm，在锌的掺杂层表面采用电子束蒸镀制备锌粉层，锌粉粒径为25nm，厚度为18nm，电子束蒸镀的能量密度为30W/cm2，在锌粉层表面采用热阻蒸镀制备铁盐掺杂层，材料为BCzVB1:FeCl3，BCzVBi与FeCl3的质量比为7.5:1，厚度35nm。然后在散射层上制备ITO，厚度为180nm，采用磁控溅射的方法制备；蒸镀空穴注入层，材料为V2O5，厚度为SOnm ;蒸镀空穴传输层:材料为TCTA，厚度为60nm ;蒸镀发光层:所选材料为BCzVBi，厚度为40nm ;蒸镀电子传输层，材料为Bphen，厚度为35nm ;蒸镀电子注入层、材料为LiF，厚度为Inm ;蒸镀阴极，材料为Pt，厚度为250nm ;最后得到所需要的电致发光器件。
[0083]磁控溅射制备的工作压强为2X 10_4Pa，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s,金属化合物的蒸镀速率为0.6nm/s,金属的蒸镀速率为6nm/s。磁控派射的加速电压:600V,磁场约:100G，功率密度:30W/cm2。
[0084]热阻蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为2X10_4Pa，工作电流为3A，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为6nm/s。
[0085]电子束蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为2X 10_4Pa，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为6nm/s。
[0086]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括依次层叠的玻璃基底、散射层、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极，所述散射层由锌的掺杂层、锌粉层和铁盐掺杂层组成，所述锌的掺杂层包括发光材料及掺杂在所述发光材料中的锌粉，所述发光材料选自4- (二腈甲基)-2-丁基-6- (1，1，7，7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃、9，10-二-β-亚萘基蒽、4，4'-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1，Γ -联苯及8-羟基喹啉铝中至少一种，所述铁盐掺杂层包括发光材料及掺杂在所述发光材料中的铁盐，所述发光材料同上所述，所述铁盐选自氯化铁、溴化铁及硫化铁中至少一种。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述锌粉粒径为20nm?40nmo
3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述锌的掺杂层的厚度为30nm?150nm,所述锌粉层的厚度为1nm?30nm,所述铁盐掺杂层的厚度为1nm?40nm。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述锌的掺杂层中所述发光材料与所述锌粉的质量比为10:1?25:1，所述铁盐掺杂层中所述发光材料与所述铁盐的质量比为5:1?8:1。
5.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 在玻璃基底表面蒸镀制备散射层，所述散射层由锌的掺杂层、锌粉层和铁盐掺杂层组成，在所述玻璃基底表面采用电子束蒸镀制备锌的掺杂层，所述锌的掺杂层包括发光材料及掺杂在所述发光材料中的锌粉，所述发光材料选自4- (二腈甲基)-2- 丁基-6-(1，1，7，7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃、9，10-二-β -亚萘基蒽、4，4'-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)_1，I'-联苯及8-羟基喹啉铝中至少一种，在所述锌的掺杂层表面通过电子束蒸镀制备所述锌粉层，接着在所述锌粉层表面通过热阻蒸镀制备铁盐掺杂层，所述铁盐掺杂层包括发光材料及掺杂在所述发光材料中的铁盐，所述发光材料同上所述，所述铁盐选自氯化铁、溴化铁及硫化铁中至少一种； 在所述散射层表面磁控溅射制备阳极，所述阳极的材料为铟锡氧化物、铝锌氧化物或铟锌氧化物 '及 在所述阳极的表面依次蒸镀制备穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极。
6.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述锌粉粒径为 20nm ?40nm。
7.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述锌的掺杂层的厚度为30nm?150nm,所述锌粉层的厚度为1nm?30nm,所述铁盐掺杂层的厚度为1nm ?40nmo
8.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述锌的掺杂层中所述发光材料与所述锌粉的质量比为10:1?25:1，所述铁盐掺杂层中所述发光材料与所述铁盐的质量比为5:1?8:1。
9.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述热阻蒸镀方式的工艺具体为:工作压强为2X10_3?5X10_5Pa，工作电流为IA?5A，有机材料的蒸镀速率为0.1?lnm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s?10nm/s。
10.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述电子束蒸镀方式的工艺具体为:工作压强为2X10—3?5X10_5Pa，电子束蒸镀的能量密度为1W/cm2?100W/cm2,有机材料的蒸镀速率为0.1?lnm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s ?10nm/so
【专利摘要】一种有机电致发光器件，包括依次层叠的玻璃基底、散射层、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极，所述散射层由锌的掺杂层、锌粉层和铁盐掺杂层组成，所述锌的掺杂层包括发光材料及掺杂在所述发光材料中的锌粉，所述发光材料选自4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃、9,10-二-β-亚萘基蒽、4,4′-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1′-联苯及8-羟基喹啉铝中至少一种，所述铁盐掺杂层包括发光材料及掺杂在所述发光材料中的铁盐，所述发光材料同上所述，所述铁盐选自氯化铁、溴化铁及硫化铁中至少一种。
【IPC分类】H01L51-56, H01L51-54, H01L51-52
【公开号】CN104659261
【申请号】CN201310603551
【发明人】周明杰, 黄辉, 张振华, 王平
【申请人】海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月25日