有机场致发光装置及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种有机场致发光装置(OLED:OrganiC Light Emitting Device)及其制造方法。
【背景技术】
[0002]在有机场致发光显示器等有机场致发光装置的制作上，由于耐湿性等耐环境性低，保护其与外界气体等周边环境隔绝就变得很重要。与周边环境隔绝的保护方法有，中空封装、填充封装、固体封装等被覆有机场致发光装置的有机层，更进一步，或为了保护有机层免受干燥剂、粘结剂的化学成分等，或极长时间的水分浸入影响，在封装前在有机层上形成钝化膜。
[0003]例如，专利文献I涉及一种具有在阴极隔板的悬挂部上形成钝化膜的构造的有机场致发光装置，通过CVD(Chemical Vapor Deposit1n)、派射这样的换位性好的成膜方法形成钝化膜。但是，专利文献I中的方法，在悬挂部的下部锐角部等部位形成致密的钝化膜实际上是很困难的。如专利文献2中所述，悬挂部下部的钝化膜容易发生裂纹等缺陷。
[0004]作为改善钝化膜的被覆性的方法，专利文献2中，公开了一种有机层成膜后通过树脂使悬挂部平滑化的方法。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:JP特开平8-315981号公报
[0008]专利文献2:JP特开2012-97917号公报
【发明内容】
[0009]发明所解决的问题
[0010]然而，专利文献2中的方法，由于有机层成膜后通过树脂使悬挂部平滑化，考虑到对有机层的影响，受到使用材料、制造工艺、制造温度等的制约，存在通用性不足的问题。另夕卜，由于使用的材料等的制约，很难提供可靠性高的有机场致发光装置。
[0011]鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种可靠性高的有机场致发光装置及其制造方法。
[0012]另外，本发明的目的是提供一种通用性高的有机场致发光装置及其制造方法。
[0013]解决技术问题的手段
[0014]为了达成上述目的，本发明的第I个方面涉及一种有机场致发光装置，其特征在于，具有，
[0015]基板，在所述基板上至少有一个含有阳极、有机层和阴极的有机场致发光元件，所述有机层含有有机发光层，
[0016]设置在所述基板上，厚度比所述有机场致发光元件膜的厚度厚的结构体，
[0017]设置在所述结构体的台阶底部的被覆部，该被覆部在该台阶底部上的剖面形状的曲率半径至少为0.3 μ m，
[0018]被覆所述有机场致发光元件、所述结构体，以及所述被覆部的钝化膜。
[0019]优选进一步具有封装所述有机场致发光元件的封装板或封装薄膜；具有在所述有机场致发光元件和所述封装板或所述封装薄膜之间填充并粘结干燥剂的填充封装构造，或，优选具有通过粘结剂粘结所述封装板或所述封装薄膜的全部表面的固体封装构造。
[0020]所述被覆部是，例如，构成所述有机场致发光元件的材料。
[0021]所述被覆部是，例如，构成所述有机场致发光元件的空穴输送层或空穴注入层的材料。
[0022]优选所述有机场致发光装置是被动矩阵型显示器，
[0023]所述结构体是阴极隔板，具有悬挂部，
[0024]所述被覆部，构成所述有机场致发光元件的空穴输送层或空穴注入层的材料。
[0025]或者，优选所述结构体是阴极隔板，具有悬挂部，
[0026]所述被覆部是正片型光阻材料。
[0027]本发明的第2个方面涉及一种有机场致发光装置的制造方法，所述有机场致发光装置在基板上至少有一个含有阳极、有机层和阴极的有机场致发光元件，所述有机层含有有机发光层，其特征在于，包括，
[0028]在所述基板上的特定位置上形成阳极的阳极形成工序，
[0029]在所述基板的特定位置上形成厚度比所述有机场致发光元件膜厚大的结构体的结构体形成工序，
[0030]在所述结构体的台阶底部形成在该台阶底部上的剖面形状的曲率半径至少为
0.3 ym的被覆部的被覆部形成工序，
[0031]通过在所述阳极上成膜有机层及阴极，形成有机场致发光元件的有机场致发光元件形成工序，
[0032]形成被覆所述有机场致发光元件、所述结构体，以及所述被覆部的钝化膜的钝化膜形成工序。
[0033]优选所述有机层，至少含有空穴注入层和空穴输送层中一个，
[0034]在所述被覆部形成工序中，优选的，通过成膜、加热、流动形成空穴注入材料和空穴输送材料中至少一个，在所述结构体的台阶底部上形成所述被覆部的同时，形成空穴注入层和空穴输送层中至少一个。
[0035]或者，在所述被覆部形成工序中，优选的，通过涂布正阻剂并曝光全部表面，在所述结构体的台阶底部形成被覆部。
[0036]发明效果
[0037]本发明提供一种可靠性高的有机场致发光装置及其制造方法。
【附图说明】
[0038]【图1】是本发明的有机场致发光装置的阴极隔板附近部的一个例子。
[0039]【图2】用于说明未形成被覆部的台阶底部。
[0040]【图3】用于说明形成有被覆部的台阶底部。
[0041]【图4】是实施例1中的未形成被覆部的台阶底部的剖面SEM照片。
[0042]【图5】是实施例1中的形成有被覆部的台阶底部的剖面SEM照片。
[0043]【图6】是实施例3中的未形成被覆部的台阶底部的剖面SEM照片。
[0044]【图7】是实施例3中的形成有被覆部的台阶底部的剖面SEM照片。
[0045]【图8】是实施例3中的形成有被覆部的台阶底部的剖面SEM照片。
[0046]【图9】是实施例3中的形成有被覆部的台阶底部的剖面SEM照片。
【具体实施方式】
[0047]以下对本发明的有机场致发光(有机EL装置)以及其制造方法，参照附图进行说明。另外，本实施例以作为有机EL装置I的被动矩阵型有机EL显示器(PMOLED)的制作情况为例进行了说明。如图1所示为本发明的有机EL装置的一个例子。
[0048]如图1所示，有机EL装置I具有基板2、至少一个有机EL元件3、绝缘膜4、结构体5、被覆部6以及钝化膜7。
[0049]基板2优选由透明或半透明材料制成，例如玻璃板、透明塑料薄板、半透明塑料薄板、石英以及透明陶瓷或由这些组合而成的复合薄板形成。
[0050]有机EL元件3使用在普通的有机EL元件制造过程中形成的所需的结构和形状的有机EL元件，其包含阳极31、至少一个有机层32和阴极33。
[0051]阳极(下部电极)31与图中未示出的外部电源连接，具有向有机层32提供空穴的功能。阳极31由透明的材料制成，优选使用功函数相对较大的金属、合金或电子导电性化合物作为电极物质。作为阳极31上所使用的电极物质，举出金、白金、银、铜、钴、镍、钯、钒、钨、氧化锡、氧化锌、ITO(氧化铟锡)及IZO(氧化铟锌)等。
[0052]有机层32包含有机发光层。有机发光层是含有具有空穴(hole)和电子注入功能、及其的运输功能、空穴和电子的再结合引起的激子生成功能(发光功能)的化合物的层。作为有机发光层所使用的材料，可以举出，香豆素衍生物、喹吖啶酮、红荧烯、苯乙烯基系色素、具有三(8-羟基喹啉)铝等有羟基喹啉环的有机材料、或者与具有羟基喹啉环的有机材料配位的有机金属络化物等的喹啉衍生物、四苯基丁二烯、蒽衍生物、萘并萘衍生物、二萘嵌苯、六苯并苯、12-二苯代酚酞衍生物、苯基蒽衍生物、四芳基乙烯衍生物、荧蒽衍生物、苊并荧蒽衍生物、四苯基二氨基联苯衍生物(TPD)、三芳基胺衍生物等的芳香族胺化合物等。
[0053]有机层32可含有空穴输送层、空穴注入层、电子输送层以及电子注入层。空穴注入层是含有具有使从阳极31的空穴(hole)注入变得容易的功能的化合物的层。空穴注入层，所使用的例如芳香族胺化合物等。空穴输入层是含有具有输送被注入的空穴功能的化合物的层。空穴输送层所使用的可举出四苯基二氨基联苯衍生物(TPD)等。另外，电子输送层含有具有使电子注入变得容易的功能的化合物，电子输送层含有具有输送被注入的电子的功能的化合物。
[0054]阴极(上部电极)33与图中未示出的外部电源连接，向有机层32提供电子。阴极33优选使用功函数相对小的金属、合金或电子导电性化合物作为电极物质。作为阴极33所使用的电极物质，可举出锂、锂铟合金、钠、钙、镁、镁银合金、镁铟合金、铟、钌、钛、锰、钇、铝、铝锂合金、铝钙合金、铝镁合金、石墨