用于处理衬底的设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于处理衬底的设备，并且更具体地说，涉及一种用于处理衬底从而防止颗粒污染物附着到经热处理的衬底以及加热灯上的设备。
【背景技术】
[0002]热处理是用于制造半导体、显示器等的各种过程中的必需过程。使用TiN、TiSi2W及硅化钴(CoSi2)的欧姆接触合金化、离子植入损坏退火、掺杂剂活化和薄膜形成需要热处理。
[0003]存在用于执行热处理的熔炉以及快速热处理(RTP)装置。在RTP装置中，难以在衬底的整个区域上方均匀地维持温度、当替换衬底时相对于其它衬底同等地维持温度时间特性，或准确地测量以及控制衬底的温度。因此，RTP装置已经不使用石灰光灯。然而，随着温度测量和控制技术的发展，RTP装置被熔炉替代。
[0004]图1是对衬底进行热处理的衬底处理设备的截面视图。
[0005]执行热处理的衬底处理设备通过使用卤钨灯的辐射线将热量传输到衬底S。因此，执行热处理的衬底处理设备包含加热块10。此处，多个加热灯11安置在加热块10的面对衬底S的表面上。并且，热处理腔室20包含衬底支架50以及用于升高衬底S的提升销51。衬底S通过门60装载到热处理腔室20中或从所述热处理腔室卸载。用于喷射气体的进气口单元40以及用于排放气体的排放孔70安置在热处理腔室20内部。
[0006]由透明的石英材料形成的窗户30安置在热处理腔室20与加热块10之间。因此，加热块10中的加热灯11以及热处理腔室20中的进气口单元40通过窗户30彼此隔开。窗户30可以防止作为污染物的颗粒被引入到安置在加热块10之下的热处理腔室20中。并且，窗户30可以允许在安置在加热块10的上部部分上的加热块10中的加热灯11的热能向下传输，由此将热能传输到衬底。如此，窗户可以保护衬底不受污染物的影响并且透射具有近似I μπι到近似4 μπι的波长的光的90%或90%以上，所述波长是加热灯600的主波长带。
[0007]窗户30由石英材料形成。此处，石英的尺寸可以根据待热处理的衬底的尺寸来确定。用于平板显示器(FPD)或有源矩阵有机发光二极管(Active Matrix/OrganicLight Emitting D1de, AMOLED)的衬底是第8.5代大尺寸衬底。此衬底具有近似5.5m2(2, 200cmX2, 500cm)的尺寸。因此，当意图对第8.5代大尺寸衬底进行热处理时，必须将具有近似5.5m2的尺寸的石英盘用作窗户。
[0008]然而，实际上不可能制造大尺寸的石英盘，并且难以储存、传送以及安装所述大尺寸石英盘。因此，热处理在不应用窗户的场所处执行。然而，存在在衬底上发生污染的局限性，因为未应用窗户。
[0009][现有技术文件]
[0010]专利文件1:韩国专利注册号1031226
【发明内容】
[0011]本发明提供一种用于处理衬底从而防止在经热处理的衬底上发生污染的设备。
[0012]本发明还提供一种用于处理衬底的设备，所述设备能够对大尺寸衬底进行热处理。
[0013]本发明提供一种用于处理衬底的设备，所述设备有效地透射从加热灯发射的光。
[0014]根据示例性实施例，用于处理衬底的设备包含:具有热处理空间的热处理腔室，在所述热处理空间中执行关于衬底的热处理；衬底支架，所述衬底支架经配置以在热处理空间中支撑衬底；加热块，在所述加热块中，加热灯安装在界定在面对衬底的灯安装表面中的多个灯安装槽中的每一个中；以及单独的透光板，所述单独的透光板安置在灯安装槽中以透射从加热灯发射且经过所述透光板的光。
[0015]所述设备可以进一步包含在灯安装槽的内表面上形成的内螺纹。
[0016]所述设备可以进一步包含围绕灯安装槽的内表面以反射从加热灯发射的光的反射器，其中可以在所述反射器的表面上形成内螺纹。
[0017]所述设备可以进一步包含在单独的透光板的圆周表面上形成的外螺纹，其中单独的透光板的外螺纹可以耦合到内螺纹上，使得单独的透光板耦合到灯安装槽上。
[0018]所述设备可以进一步包含在灯安装槽的内表面上形成的阶梯式突起。
[0019]所述设备可以进一步包含具有其上形成有外螺纹的圆周表面的固定环，其中单独的透光板可以安置在阶梯式突起上，并且固定环的外螺纹可以耦合到内螺纹上，使得单独的透光板耦合到灯安装槽上。
[0020]单独的透光板可以具有选择性地涂覆有用于每个波长带的透光薄膜的表面，所述透光薄膜根据波长带选择性地透射光。
[0021]选择性地涂覆有用于每个波长带的透光薄膜的单独的透光板可以耦合到界定在加热块的灯安装表面中的灯安装槽的一部分上。
[0022]根据另一示例性实施例，用于处理衬底的设备包含:具有热处理空间的热处理腔室，在所述热处理空间中执行关于衬底的热处理；衬底支架，所述衬底支架经配置以在热处理空间中支撑衬底；加热块，在所述加热块中，加热灯安装在界定在面对衬底的灯安装表面中的多个灯安装槽中的每一个中；以及单独的透光板，所述单独的透光板安置在灯安装槽中以透射从加热灯发射且经过所述透光板的光，所述单独的透光板包含以下两种透光板中的至少一个:具有凸透镜形状的凸透镜状单独透光板以及具有凹透镜形状的凹透镜状单独透光板。
[0023]凸透镜状单独透光板可以耦合到界定在加热块的灯安装表面中的灯安装槽的一部分上，并且凹透镜状单独透光板可以耦合到灯安装槽的另一部分上。
[0024]凸透镜状单独透光板可以仅耦合到界定在加热块的灯安装表面的最外侧处的灯安装槽上，并且凹透镜状单独透光板可以耦合到灯安装槽的其余部分中的每一个上。
【附图说明】
[0025]通过结合附图进行的以下描述可以更详细地理解示例性实施例，在所述附图中:
[0026]图1是对衬底进行热处理的衬底处理设备的截面视图。
[0027]图2是根据示例性实施例的执行热处理的衬底处理设备的截面图。
[0028]图3是根据示例性实施例的加热块的灯安装表面的视图。
[0029]图4是根据示例性实施例的安置在加热块的灯安装槽中的加热灯的透视图。
[0030]图5是图示了根据示例性实施例的状态的视图，在所述状态中，单独的透光板螺接到灯安装槽上。
[0031]图6是图示了根据示例性实施例的状态的视图，在所述状态中，单独的透光板螺接到灯安装槽的反射器上。
[0032]图7是图示了根据示例性实施例的状态的视图，在所述状态中，单独的透光板通过使用固定环而耦合到其上形成有阶梯式突起的灯安装槽上。
[0033]图8是根据示例性实施例的固定环的视图。
[0034]图9是图示了根据示例性实施例的状态的视图，在所述状态中，单独的透光板通过使用固定环而耦合到其上形成有阶梯式突起的反射器上。
[0035]图10是图示了其中光通过凸透镜以及凹透镜透射的状态的视图。
[0036]图11是图示了根据示例性实施例的状态的视图，在所述状态中，凸透镜状单独透光板以及凹透镜状单独透光板耦合到灯安装表面上。
[0037]图12是图示了根据示例性实施例的当凸透镜状单独透光板耦合到灯安装表面的边缘上时的光量分布的视图。
[0038]图13是图示了当具有非透镜形状的透光板耦合到灯安装表面上时的光量分布的视图。
【具体实施方式】
[0039]下文中将参照附图详细描述具体实施例。然而，本发明可以用不同形式实施，并且不应被解释为限于本文中所阐述的实施例。实际上，提供这些实施例以使得本发明将为透彻且完整的，并且将向所属领域的技术人员充分传达本发明的范围。相同参考标号在全文中指代相同元件