开关电路及高频模块的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及开关电路及具备该开关电路的闻频|旲块。
【背景技术】
[0002]高频开关是用于切换高频信号的传输路径的开关。例如，在移动电话或无线LAN (Local Area Network:局域网)等这样的无线通信设备中，高频开关用于切换各频带(Band)、或者用于在发送信号的传输路径和接收信号的传输路径之间进行相互切换。
[0003]例如，日本专利特开平9-107203号公报(专利文献I)中公开了 SPDT (Single PoleDouble Throw:单刀双掷)开关电路。该开关电路的目的在于获得所期望频率下的高隔离性。开关电路对第一传输路径和第二传输路径进行切换，该第一传输路径从输入输出端子向接收端子传输信号，该第二传输路径从发送端子向输入输出端子传输信号。开关电路包括设置于发送端子与接收端子之间的电感器。
现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1:日本专利特开平9-107203号公报
【发明内容】
发明所要解决的问题
[0005]根据上述文献，由FET(场效应晶体管)具有的寄生电容和电感器构成谐振电路。谐振电路的谐振频率设定为使用频率。由此，在该使用频率中，能期待实现较高的隔离性。
[0006]然而，开关电路的隔离性越高，在包含该使用频率的规定频带中，隔离性的偏差变大。因电感值的偏离或者FET寄生电容的偏离这样的原因而导致谐振频率发生变动。因而，可能会发生如下问题:在隔离性的偏差较大的情况下，由于谐振频率发生变动，因此在具有相同结构的多个开关电路之间隔尚特性较大偏尚。
[0007]因而，本发明的目的在于，提供一种不易受谐振频率的影响，且能抑制隔离特性的变动的开关电路以及包括该开关电路的闻频1旲块。
解决技术问题所采用的技术方案
[0008]本发明的一个方面所涉及的开关电路包括:第一输入输出端子；第二输入输出端子；第三输入输出端子；第一 FET,其将源极端以及漏极端中的一方与第一输入输出端子电连接，且将源极端及漏极端中的另一方与第二输入输出端子电连接；第二 FET，其将源极端以及漏极端中的一方与第一输入输出端子电连接，且将源极端及漏极端中的另一方与第三输入输出端子电连接；以及串联电连接在第二输入输出端子与第三输入输出端子之间的电感器及电阻。
[0009]优选为，第一FET及第二 FET中的至少一方包含串联连接在第一输入输出端子、与第二及第三输入输出端子中对应的输入输出端子之间的多个FET元件。多个FET元件中的各FET元件的控制端子构成为接受共用的旁路电压。
[0010]优选为，开关电路的所有结构要素集成于半导体基板。
优选为电感器包含通过将导线卷绕于半导体基板的表面而形成的螺旋电感器。
[0011]优选为，电阻包含螺旋电感器的电阻分量。
优选为，导线的线宽在5μπι以下。
[0012]优选为，导线的厚度在2μπι以下。
本发明的其它方面所涉及的高频模块包括:上述开关电路；以及低噪声放大器，其具备与第二输入输出端子相连接的输入端。
[0013]优选为，高频模块还包括:功率放大器，其具备与第三输入输出端子相连接的输出端。
[0014]优选为，高频模块还包括开关元件。开关元件配置在低噪声放大器的输入端与低噪声放大器的输出端之间，对低噪声放大器的输入端是否与低噪声放大器的输出端短路进行切换。
发明效果
[0015]根据本发明，能提供一种不易受谐振频率的影响，且能抑制隔离特性的变动的开关电路以及包括该开关电路的闻频1旲块。
【附图说明】
[0016]图1是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路的基本结构的电路图。
图2是表示形成第一传输路径时的开关电路10的等效电路图。
图3是表示对本发明的实施方式所涉及的开关电路的隔离特性与使用贴片电感器的现有技术的开关电路的隔离特性进行对比的图。
图4是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电感值为10ηΗ(中央侧)时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图5是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电感值为9ηΗ(-10%)时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图6是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电感值为IlnH(+10% )时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图7是表示使用贴片电感器的现有技术的开关电路中、电感值为5.6ηΗ(中央侧)时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图8是表示使用贴片电感器的现有技术的开关电路中、电感值为5.1ηΗ(-10%)时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图9是表示使用贴片电感器的现有技术的开关电路中、电感值为6.2ηΗ(+10%)时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图10是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电阻值为50Ω时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图11是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电阻值为100 Ω时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图12是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电阻值为150 Ω时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。 图13是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电阻值为200 Ω时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图14是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路中、电阻值为250Ω时的隔离性以及插入损耗的频率特性的图。
图15是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路10的优选结构的第一示例的图。
图16是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路10的更优选结构的第二示例的图。 图17是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路10的更优选结构的第三示例的图。 图18是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路10的一个实现例的图。
图19是用于说明图18所示的电感器14的尺寸的图。
图20是不意性表不电感器14的第一俯视图。
图21是示意性表示电感器14的第二俯视图。
图22是表示具备本发明的实施方式所涉及的开关电路10的高频模块100的一个结构例的图。
图23是用于说明从图22所示的高频模块100发送信号时的动作的图。
图24是用于说明图22所示的高频模块100接收信号时的动作的图。
图25是表不包含图22所不的闻频|旲块100的闻频电路200的结构的不意图。
【具体实施方式】
[0017]下面，基于附图，说明本发明的实施方式。另外，在以下附图中，对于相同或相当的部分标注相同的参照编号，并不重复其说明。
[0018]本说明书中“电连接”包含两个要素直接连接的情况、以及两个要素经由其它要素相连接的情况这两种。“要素”包含无源元件、有源元件、端子以及线路等，但并不限于此。
[0019](开关电路)
图1是表示本发明的实施方式所涉及的开关电路的基本结构的电路图。参照图1，本发明的实施方式所涉及的开关电路10包括:第一输出输入端子Tl、第二输入输出端子Τ2、第三输入输出端子Τ3、第一晶体管11、第二晶体管12、电感器14、电阻16。本说明书中，“输入输出端子”是指可作为输入端子以及输出端子的任一方利用的端子。因而，并不限于能进行从该端子输入信号及输出信号的元件。
[0020]第一晶体管11电连接在第一输入输出端子Tl和第二输入输出端子Τ2之间。第一晶体管11具有第一端la、第二端lb、控制端子lc。第一晶体管11的第一端Ia与第一输入输出端子Tl电连接。第一晶体管11的第二端Ib与第二输入输出端子T2电连接。第一晶体管11根据施加于控制端子Ic的控制电压Vl来控制它的导通状态及截止状态。
[0021]第二晶体管12电连接在第一输入输出端子Tl和第三输入输出端子T3之间。第二晶体管12具有第一端2a、第二端2b、控制端子2c。第二晶体管12的第一端2a与第一输入输出端子Tl电连接。第二晶体管12的第二端2b与第三输入输出端子