一种压电片组装式压电管的制作方法

文档序号:8458332阅读:373来源:国知局
一种压电片组装式压电管的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于压电元器件技术领域,具体涉及一种压电片组装式压电管。
【背景技术】
[0002]伴随着纳米级的高精度定位、扫描、操纵及DNA分子手术等微纳科技的飞速发展,压电管以可以同时实现三维纳米精度的移动和控制、功能丰富和集成度高的优点得到了广泛的应用。但是,目前在国内外,压电管的制作工艺导致了压电管的成本极高,一个电极四等分的压电管的市场价格高达500美元,而一个尺寸相近的压电片不足15美元,而且所生产的压电管的内径、外径和壁厚等均有较大的局限性,如内径不能小于0.1英寸,外径不能大于6英寸且壁厚不能小于0.25毫米。
[0003]而片状压电原件的长度、宽度与壁厚相对于管状压电元件具有极大的自由度。有时为了达到特殊的使用效果,在科学仪器评论(REVIEV OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS84,056106 (2013))文章中记载了特意将完整的压电管切割成两个半管,然后用作压电马达,这进一步说明了目前的压电管存在局限性和压电片组装式压电管的必要性。另外,现有的压电管仅有横截面为圆形结构的,缺乏横截面为三角形、正方形、五边形和六边形等特殊需要的压电管,以满足空间受限、驱动角度受限等需求。

【发明内容】

[0004]本发明为解决现有一体成型式压电管存在的诸多不足而提供了一种压电片组装式压电管。
[0005]本发明为解决上述技术问题采用如下技术方案,一种压电片组装式压电管,其特征在于是由压电片相互拼接并固定而成的管状压电体。
[0006]进一步限定,相邻的压电片之间的缝隙通过连接体固定。
[0007]进一步限定,相邻的压电片之间的整个缝隙或者部分缝隙通过连接体粘接固定。
[0008]进一步限定,所述的管状压电体的两端分别通过连接体固定于底板上。
[0009]进一步限定,所述连接体为环氧树脂胶。
[0010]进一步限定,所述的压电片为厚度方向极化的压电片。
[0011]进一步限定,所述的压电片的材质为单晶材质或多晶材质。
[0012]本发明所述的压电片组装式压电管的制备过程为:首先选用尺寸相同、均为厚度方向极化且两最宽面已经镀好电极的压电片拼接成一个横截面为多边形的压电管,并在相邻压电片之间的狭缝内涂上环氧树脂胶,然后平稳地移至烘箱中烘干得到压电片组装式压电管。
[0013]本发明成本极低、功能多样、内径尺寸更自由、外径尺寸更自由、厚度更自由、选材更自由、构型更自由且制作方便快捷。
【附图说明】
[0014]图1是本发明实施例1得到的压电管的结构示意图,图2是本发明实施例2得到的压电管的结构示意图,图3是图2的侧视图,图4是本发明实施例3得到的压电管的结构示意图,图5是图4的俯视图,图6是图4的剖面图,图7-11是本发明实施例5得到的压电管的结构示意图。
[0015]图面说明:1、压电片,2、连接体,3、底板。
【具体实施方式】
[0016]以目前市场上用量最大的外壁电极四等分压电管为例,分析现有一体成型式压电管实现三维扫描的原理。
[0017]首先,分析压电管在轴向上的形变,它只需要在内壁电极上施加一电压、在外壁电极上施加另一电压,该压差即可导致压电管在轴向上的伸长或缩短。
[0018]压电管在径向与横向上的形变,即压电管在径向或横向上的弯曲。由于现有的一体成型式压电管均为圆形,在结构上具有对称性,因此径向与横向上发生形变的原理相同,下面以径向为例进行分析。
[0019]假定压电管仅在径向的电极上施加有电压,在横向上的电极没有施加电压。由于压电管横向与径向形变的独立性,该假定是合理的。然后,压电管径向上被一对电极覆盖下的压电体分别在极性相反的电压的作用下,一部分将伸长,另一部分将缩短,而在与径向方向垂直的横向方向上的压电体,由于没有施加电压,因此将无法形变;另外,各个电极间的没有被电极覆盖的一小部分压电体,由于无法施加电压,因此也无法产生形变。
[0020]由于横向与径向的压电体之间虽然所镀电极是被分割的,但在压电材料上仍然是一个完整的整体。所以会导致径向上伸长的压电体会被与之相邻的本无形变的横向压电体和交界处无电极覆盖的压电体阻碍、而无法产生与被施加电压相同的伸长量,而横向压电体和交界处无电极覆盖的压电体会被与之相邻的径向上的待伸长的压电体拉动、而无法继续保持原长。总之,待伸长的径向压电体被拉短、与待伸长的径向压电体邻近的无形变的压电体被拉长。
[0021]同理,在待缩短的径向压电体和与之相邻的本无电压和形变的横向压电体上会发生待缩短的径向压电体被拉长,与待伸长的径向压电体邻近的无形变的压电体被缩短一部分的效果。
[0022]由于压电材料具有很大的硬度,无法像一个低倔强系数的弹簧一样被任意拉伸,而是趋向于维持原长度或是相当于一个倔强系数很高的硬弹簧在被拉伸,其可形变量很小。因此,将使压电管在径向上发生弯曲。
[0023]结合上述工作原理发现,没有施加电压或场强的压电体,其功能只与硬度与之相当的绝缘体相同。因此,压电管径向与横向之间没有被电极覆盖的压电体,可被硬度与之相当的绝缘材料替代,即本专利的物理学原理依据。
[0024]但是,可以导致压电管形成径向或横向弯曲的途径不止一种。如果我们用较硬的材料将压电管的两端足够牢地固定,那么当径向的两部分压电体分别伸长和缩短时,同样会受到两端较硬材料的制约,使其不能发生自由的伸长与收缩,从而导致发生径向的弯曲形变,达到想要的效果,这是本专利另一种方式的物理学依据。
[0025]根据上述两种不同工作原理,压电片组装式压电管有两类制作方法: 1)最容易理解和常用的压电片侧边固定型,即将围成压电管结构的各压电片的最邻近边固定在一起,组装成压电管,其工作原理与现在市场上最常见的压电管一样;
2)新型的压电片底边固定型,即将各压电片围成管状结构,并把该管的两端固定在一起,组装成新工作原理的压电管。
[0026]截止目前,连接压电片的较好的方法是利用硬度较大的胶结剂来实现,特别是环氧树脂胶结剂。
[0027]根据上述两种不同的工作原理,本专利技术可制作的压电管优势有:
I)一根压电管的成本仅为数片压电片的成本,带上微量的胶的成本,总成本不足百元,比市场上动辄数千元的压电管有极大的成本优势。
[0028]2)由于可以选取任意尺寸的压电片来组装压电管,因此可以实现现有压电管工艺无法实现或极难实现的长度、厚度、内外径、选材等参数。比如,压电片组装式压电管的内径可以做到0.5mm以下,可以创造内径最小的压电管。而且可以利用类似微积分中微元的思想,用无数片压电管来围成一个压电管,进而可以制造外径最大的压电管。内径、外径、壁厚、构型几乎可以任意定
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