图30所示，例如，通过CVD法沉积二氧化硅膜来形成层间绝缘膜106。对该层间绝缘膜106和栅极绝缘膜104进行各向异性蚀刻，从而打开用于与多晶硅层(i 一多晶硅层103a、p —多晶硅层103b、以及p+多晶硅层103c)连接的接触孔(由图29的粗虚线表示的部分)。接下来，通过溅射法沉积Ti/Al/Ti等铝合金形成第二金属层107，并图案化以形成源电极/漏电极、数据线107a、电力供给线107b以及第一接触部107c。在图29中，R子像素用数据线107a、G子像素用数据线107a、B子像素用数据线107a从左到右按顺序设置；并且R子像素用电力供给线107b、G子像素用电力供给线107b、以及B子像素用电力供给线107b从左到右按顺序设置。通过该过程，数据线107a与开关TFT 108a的源极连接，开关TFT 108a的漏极与存储电容电极105b和驱动TFT 108b的栅极连接，驱动TFT 108b的源极与电力供给线107b连接。
[0100]接下来，如图31和图32所示，感光性有机材料涂覆在图30的结构上以形成平坦化膜110。然后，在曝光条件最优化以调整各接触孔的锥角的情况下，在平坦化膜110上使接触孔(分别由带X标记的粗实线表示的部分)开口，从而与驱动TFT 108b的漏极连接。在该过程中，平坦化膜110的形成有接触孔的部分可以不平坦，如果在平坦化膜110上形成发光元件116，则这种结构可能使发光元件116的发光不均匀。因此，在本实施例中，使接触孔尽可能设置在子像素的其去除的位置(例如，图31的右上接触孔)。在这种结构上，沉积诸如Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr的金属以及它们的化合物。在得到的结构上，连续地沉积ITO、IZO、ZnO, In2O3等材料以形成透明膜，同时将透明膜图案化以形成各子像素的阳电极111。阳电极111在第二接触部Illa与驱动TFT108b的漏极连接。在发光元件116具有顶部发射结构的情况下，阳电极111需要反射膜，以便阳电极111也用作反射膜。在发光元件116具有底部发射结构的情况下，可省略反射膜，并且阳电极111仅由ITO制成的透明膜形成。接下来，通过旋转涂布法涂覆感光性有机树脂来形成元件分离层112，并对元件分离层112进行图案化以使各子像素的阳电极111在元件分离层112的底部露出。通过该元件分离层，各子像素的发光区域与其他的发光区域分离。
[0101]接下来，将形成有元件分离膜112的玻璃基板101设置于气相沉积装置，根据需要，将仅在子像素的同色部上形成有开口的FMM或者仅在显示画面区域及其周边部形成有开口的开口掩膜被定位并固定在玻璃基板101上，并沉积有机材料，从而在阳电极111上形成有机EL层113。有机EL层113从下侧由例如空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层构成。可替选地，有机EL层113可具有下列任一结构:由电子输送层、发光层、以及空穴输送层构成的结构；由电子输送层、发光层、空穴输送层、以及空穴注入层构成的结构；由电子注入层、电子输送层、发光层、以及空穴输送层构成的结构；以及仅发光层，其中这些结构可另外包括电子阻挡层。对不同颜色子像素的发光层使用不同的材质，并根据需要，对各子像素分别控制空穴注入层、空穴输送层各自的膜厚。
[0102]在该有机EL层113上，通过气相沉积来沉积功函数小的金属、即L1、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Mg以及它们的化合物，从而形成阴电极114。为了提高光提取效率并确保良好的视角依赖性，将阴电极的膜厚最优化。在阴电极的电阻高并且发光亮度的均匀性受损的情况下，在其上利用ITO、IZO、ZnO和In2O3等的透明电极形成用的物质，追加辅助电极层。另外，为了提高光提取效率，沉积折射率比玻璃高的绝缘膜以形成覆盖层115。覆盖层也用作有机EL元件的保护层。
[0103]通过上述过程，形成与R、G、B的各子像素相对应的发光元件116，阳电极111与有机EL层113相互进行接触的部分(元件分离膜112的开口)成为R发光区域117、G发光区域118、以及B发光区域119。
[0104]在发光元件116具有底部发射结构的情况下，可在平坦化膜110上形成阴电极114 (ΙΤ0等透明电极)，并且可在有机EL层113上形成阳电极111 (反射电极)。在底部发射结构中，不需要从上表面射出光，由此使由Al等金属制成的膜变厚，并使阴电极的电阻值大幅减小。因此，底部发射结构适于像素阵列的大型化。但是，光不能通过TFT元件和配线部分，并且发光区域变得极小。因此，底部发射结构不适合提供高分辨率。
[0105]接下来，在TFT基板100的外周上涂覆玻璃料，并在其上载置密封玻璃基板200。然后，通过激光加热玻璃料部并使其熔融，由此密封TFT基板100和密封玻璃基板200。之后，在密封玻璃基板200的光射出侧形成λ /4相位差板201和偏光板202，由此有机EL显示装置完成。
[0106]图25至图32表示本实施例中的有机EL显示装置的制造方法的一例，只要能够实现实施方式中所示的像素阵列结构，则制造方法不特别限定。
[0107]实施例2
[0108]接下来，参照图33至图36对实施例2的光电装置和电气设备进行说明。在本实施例中，作为有机EL显示装置的应用例，对采用有机EL显示装置作为显示单元的各种电气设备进行说明。
[0109]图33至图36分别表示能够应用作为本发明的实施方式的光电装置(有机EL显示装置)的电气设备的例子。图33表示作为应用例的个人计算机，图34表示作为应用例的PDA(个人数字助理)、电子记事本、电子书、以及平板电脑终端等移动终端装置，图35表示作为应用例的智能电话，图36表示作为应用例的移动电话。可对这些电气设备各自的显示单元利用本发明的有机EL显示装置。作为应用例的电气设备不限于上面的设备。只要电子设备设有显示单元，则可以是任意的电子设备。例如，上面的例子的有机EL显示装置可应用于数码相机、摄像机、头戴式显示器、投影仪、传真机、移动电视、DSP(需求方平台)
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[0110]实施例3
[0111]接下来，参照图37至图40对实施例3的光电装置和电气设备进行说明。在上述的实施例2中，对作为光电装置的有机EL显示装置应用于设有平面显示单元的电气设备的情况进行说明。然而，有机EL显示装置可具有可变形的结构，并可应用于需要具有曲面的显示单元的电气设备。
[0112]图37是表示可变形的有机EL显示装置的结构的剖视图。实施例3的结构与实施例I的结构的不同之处在于，(I) TFT部108 (开关TFT 108a和驱动TFT108b)以及存储电容部109形成在柔性基板上；(2)密封玻璃基板200未设置在发光元件116上。
[0113]首先，关于(I)，在玻璃基板101上形成能够用剥离液除去的有机树脂等材料制成的可剥离膜120，并在可剥离膜120上形成由聚酰亚胺等具有柔性的材料制成的柔性基板121。接下来，二氧化硅膜和氮化硅膜等无机薄膜122和有机树脂膜等有机膜123交替层叠。然后，按照实施例1中所示的制造方法，在最上层膜(在该实施例中，无机薄膜124)上依次形成基底绝缘膜102、多晶硅层(i 一多晶硅层103a、P 一多晶硅层103b、p+多晶硅层103c)、栅极绝缘膜104、第一金属层105、层间绝缘膜106、第二金属层107、以及平坦化膜110，由此形成TFT部108 (开关TFT 108a和驱动TFT 108b)及存储电容部109。
[0114]另外，关于(2)，在平坦化膜110上形成阳电极111和元件分离膜112，并在除去元件分离膜112的堤层上依次形成有机EL层113、阴电极114、覆盖层115，由此形成发光元件116。之后，在覆盖层115上，交替层叠二氧化娃膜和氮化娃膜等无机薄膜124、以及有机树脂层等有机膜125，然后在最上层膜(在该实施例中，有机膜125)上形成λ/4相位差板126和偏光板127。
[0115]之后，用剥离液除去玻璃基板101上的可剥离膜120，并移除玻璃基板101。在该结构中，既没有玻璃基板101也没有密封玻璃基板200，并且整个有机EL显示装置可变形。这种有机EL显示装置可用于需要具有曲面的显示单元的各种用途的电气设备、特别是耐磨的电气设备。
[0116]例如，可对如图38所示安装于手腕的腕带型电气设备(例如，与智能电话连动的终端、设有GPS(全球定位系统)功能的终端、用于测量脉搏和体温等人体信息的终端等)的显示单元使用本实施例的有机EL显示装置。在与智能电话连动的终端的情况下，能够使有机EL显示装置显示通过使用预先设置在终端中的通信单元(例如，设置为按照蓝牙(注册商标)和NFC(近场通信)等标准进行动作的近距离无线通信单元)接收到的图像数据和图片图像数据。另外，在设有GPS功能的终端的情况下，能够使有机EL显示装置显示根据GPS信号确定的位置信息、移动距离信息、移动速度信息。另外，在设置为测量人体信息的终端的情况下，使有机EL显示装置能够显示测量到的信息。
[0117]另外，可对图39所示的电子纸利用本实施例的有机EL显示装置。例如，使有机EL显示装置能够显示存储在设于电子纸的端部的存储单元中的图像数据和图片图像数据。而且，能够使有机EL显示装置显示通过使用设于电子纸的端部的接口单元(例如，USB (通用串行总线)等线缆通信单元、或者设置为按照以太网(注册商标)、FDDI (光纤分布式数据接口)、令牌环等标准进行动作的无线通信单元)接收到的图像数据和图片图像数据。
[0118]另外，能够对如图40所示设置为安装于面部的玻璃型电子设备的显示单元利用本实施例的有机EL显示装置。例如，能够使有机EL显示装置显示存储在设置于眼镜、太阳镜、护目镜的太阳穴上的存储单元中的图像数据和图片图像数据。而且，能够使有机EL显示装置显示通过使用设于太阳穴上的接口单元(例如，USB(通用串行总线)等线缆通信单元、或者设置为按照蓝牙(注册商标)、NFC等标准进行动作的近距离无线通信单元、以及利用LTE (长期演进)/3G等移动体通信网进行通信的移动体通信单元)接收到的图像数据和图片图像数据。
[0119]本发明应该不限于上述实施方式和实施例，在不脱离本发明的主旨的情况下，可对光电装置的种类和结构、各构成部件的材料、制造方法等适当进行变更。
[0120]例如，在上述实施方式和实施例中，对由R子像素、G子像素、B子像素构成的像素以格子形式配置的结构进行说明。然而，像素的排列方式不应当限于格子形式。例如，本发明可应用于像素排列成竖直或水平方向上相邻线上的像素偏移半个像素所对应的距离的结构。
[0121]另外，在上述实施方式和实施例中，使用R、G、B三种颜色的子像素。可替选地，作为本发明的一个实施方式的像素阵列结构可使用相对发光度不同的任意三种颜色的子像素。
[0122]另外，作为本发明的一个实施