524相对的面。抛光垫518在远离抛光表面524的第一表面511的侧上包括下部530。例如，下部530可为背托层。
[0044]窗540具有位于孔545的第一区段547中的第一部分571及延伸至孔545的第二区段549中的第二部分572。窗540具有大体上平行于抛光表面524的第二表面573。第二部分572具有比第一部分571更大的横向尺寸。凹槽575可形成于窗的底表面中，以便第二部分572形成从第一部分向外突出的L形凸缘。第二表面573可为第二部分572的顶表面，例如，凸缘的顶表面。
[0045]第一黏合剂130将突出部的第一表面511黏合至窗540的第二表面573，以将窗540固定至突出部510。第二黏合剂140 (在图5C中详细图示)具有与第一黏合剂130不同的材料成分，第二黏合剂585横向地位于窗的第二部分572与抛光垫518的下部530之间。第二黏合剂140可与抛光层的底表面直接接触。第二黏合剂140可填充第一黏合剂130与窗540的下部530之间的横向间隙。
[0046]图5A至图中所示的抛光垫能以类似于图3至图4B中的衬垫的方式而制造，但是窗540被从垫518的下侧插入孔540中。
[0047]通常，背托层110、覆盖层120及黏合层130可由用于CMP工艺的任何适合材料形成。例如，层110、层120及层130可由在市售抛光垫中的相应层中使用的材料形成，所述市售抛光垫比如IC-1000抛光垫或IC-1010抛光垫(来自Rodel，Phoenix, Ariz.)。在某些实施方式中，制成窗40的材料对于所述材料在CMP工艺期间所暴露的状况具有相对抗性。作为一实例，制成窗40的材料可对于浆料及基板材料具有相对化学惰性。作为另一实例，窗可对由在CMP工艺中使用的浆料(例如，含有一或更多种化学试剂及选择性地含有磨粒)引起的划痕和/或磨损具有相对抗性。作为进一步实例，制成窗40的材料可对由基板引起的划痕和/或磨损具有相对抗性。作为另一实例，制成窗40的材料可对由垫调节器引起的划痕和/或磨损具有相对抗性。在实施方式中，窗40可由一材料形成，所述材料具有从约40至约95的肖氏D硬度。
[0048]通常，窗40由一或更多种聚合物材料形成，这些聚合物材料比如例如聚氨基甲酸酯或卤化聚合物(例如聚三氟氯乙烯(PCTFE)、全氟烷氧基(PFA)、氟化乙丙烯(FEP)或聚四氟乙烯(PTFE))。能制成窗40的市售聚合物材料的实例包括聚氨酯材料，所述聚氨酯材料可从Rodel (Phoenix, Ariz.)、Calthane ND3200 聚氨基甲酸酉旨(来自 Cal Polymers, LongBeach, Calif.)、Conoptic DM-2070 聚氨基甲酸酯(Cytec Industries Inc., WestPaterson, N.J.) ^ FEP X 6301、FEP X 6303 及 FEP X 6307 (所述 FEP X 6301、FEP X 6303及 FEP X 6307 全部来自 Dyneon LLC, Oakdale, Minn.)、PCTFE 聚合物的 Neoflon.RTM.族(来自 Daikin America, Inc., Orangeburg, N.J.)及 PTFE 聚合物的 Teflon.RTM.族(来自E.1.du Pont de Nemours and Company, Wilmington, Del.)获得。
[0049]在权利要求书中有其他实施方式。
【主权项】
1.一种用于化学机械抛光设备的抛光垫，包含: 抛光制件，所述抛光制件具有抛光表面及穿过所述抛光制件形成的孔，所述孔包括与所述抛光表面相邻的第一区段及与所述第一区段相邻的第二区段，其中所述抛光制件包括向内延伸至所述孔中的突出部，以使得所述第一区段具有与所述第二区段不同的横向尺寸，所述突出部具有大体上平行于所述抛光表面的第一表面，所述抛光制件在远离所述抛光表面的所述第一表面的侧上包括下部； 窗，所述窗具有位于所述孔的所述第一区段中的第一部分及延伸至所述孔的所述第二区段中的第二部分，所述窗具有大体上平行于所述抛光表面的第二表面； 第一黏合剂，所述第一黏合剂将所述突出部的所述第一表面黏合至所述窗的所述第二表面，以将所述窗固定至所述突出部；及 第二黏合剂，所述第二黏合剂具有与所述第一黏合剂不同的材料成分，所述第二黏合剂横向地位于所述窗的所述第二部分与所述抛光制件的所述下部之间。2.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述孔的所述第一区段比所述孔的所述第二区段宽，且所述突出部与所述孔的所述第二区段横向地相邻。3.如权利要求2所述的抛光垫，其中所述第一表面为所述突出部的上表面，且所述第二表面为所述窗的下表面。4.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述孔的所述第一区段比所述孔的所述第二区段窄，且所述突出部与所述孔的所述第一区段横向地相邻。5.如权利要求4所述的抛光垫，其中所述第一表面为所述突出部的下表面，且所述第二表面为所述窗的上表面。6.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述抛光制件包含抛光层及背托层，所述抛光层具有所述抛光表面，所述背托层提供所述下部。7.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述第二黏合剂对所述窗具有比所述第一黏合剂更大的黏合力。8.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述第二黏合剂横向地位于所述第一黏合剂与所述窗的所述第二区段之间。9.如权利要求1所述的抛光垫，包含形成在所述窗的所述第二区段中的凹槽。10.一种在抛光垫中形成窗的方法，包含以下步骤: 在抛光制件中形成孔，以使得所述抛光制件包括向内延伸至所述孔中的突出部，且所述孔的第一区段具有与所述孔的第二区段不同的横向尺寸，所述突出部具有大体上平行于所述抛光制件的抛光表面的第一表面，所述抛光制件在远离所述抛光表面的所述第一表面的侧上包括下部； 使用第一黏合剂将窗固定于所述孔中，所述第一黏合剂将所述抛光制件的所述第一表面黏合于所述窗的第二表面； 将液体前驱物分配至在所述窗与所述抛光制件的所述下部之间的间隙中；及 固化所述液体前驱物以形成与所述第一黏合剂不同成分的第二黏合剂。11.如权利要求10所述的方法，其中所述第一表面为所述突出部的上表面，且所述第二表面为所述窗的下表面。12.如权利要求10所述的方法，其中所述第一表面为所述突出部的下表面，且所述第二表面为所述窗的上表面。13.如权利要求10所述的方法，其中固化所述液体前驱物的步骤包含施加紫外线(UV)光。14.如权利要求10所述的方法，其中固定所述窗的步骤包含施加压敏黏合剂至所述上表面及所述下表面中的至少之一，并且抵靠所述底表面而按压所述上表面。15.如权利要求10所述的方法，其中形成所述孔的步骤包含在抛光层中形成所述孔的第一区段且在背托层中形成所述孔的第二区段。16.如权利要求10所述的方法，其中固化所述液体前驱物的步骤形成所述第二黏合剂，所述第二黏合剂对所述窗具有比所述第一黏合剂更大的黏合力。
【专利摘要】一种抛光制件，所述抛光制件具有抛光表面及孔，所述孔包括第一区段及第二区段。抛光制件包括向内延伸至孔中的突出部。抛光制件在远离抛光表面的第一表面的侧上包括下部。窗具有位于孔的第一区段中的第一部分及延伸至孔的第二区段中的第二部分。窗具有大体上平行于抛光表面的第二表面。第一黏合剂将突出部的第一表面黏合至窗的第二表面以将窗固定至突出部，且第二黏合剂具有与第一黏合剂不同的材料成分。第二黏合剂横向地位于窗的第二部分与抛光制件的下部之间。
【IPC分类】H01L21/304
【公开号】CN105144349
【申请号】CN201480015298
【发明人】拉杰库马尔·阿拉加萨米, 永琪·胡, 西蒙·亚沃伯格, 佩里亚·戈帕兰, 克里斯托弗·R·马洪
【申请人】应用材料公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2014年3月13日
【公告号】US8961266, US20140273762, US20150126100, WO2014151791A1