一种场发射电子枪高压电缆的引入装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种场发射电子枪高压电缆的引入装置，属于高压电源引入设备技术领域。
【背景技术】
[0002]扫描电镜是一种电子光学仪器，是利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，使得电子束轰击样品表面产生二次电子，利用上述二次电子呈现样品表面形貌的装置。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域有广泛应用。
[0003]上述的聚焦电子束由扫描电镜上的场发射电子枪提供，而场发射电子枪需要通过一个引入装置引入电压源，上述电压源需要满足相对于大地电压为30kV、极间电压最高达到6000V，这样才能保证聚焦电子束比较稳定，然而，由于引入装置的空间较小，在电子枪室内引入了多股高压电缆时，相邻高压电缆之间的距离势必缩小，从而导致相邻高压电缆之间的耐压值不足，使得极间电压容易超越上述耐压值，造成设备不能稳定的运行。
[0004]同时，高压电缆的引入容易破坏电子枪室的真空度，因而造成电子束不稳定，影响扫描电镜的成像质量。
【发明内容】
[0005]因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有的场发射电子枪高压电缆的引入装置容易造成相对于大地耐压值不足、高压电缆极间耐压值不足进而造成设备不能稳定运行且高压电缆的引入容易破坏电子枪室的真空度进行影响扫描电镜成像质量的技术缺陷；从而提供一种能够满足相对于大地耐压值、高压电缆极间耐压值，使得设备稳定运行且高压电缆的引入不会破坏电子枪室的真空度进行提高扫描电镜成像质量的引入装置。
[0006]为了实现上述目的，本发明提供一种场发射电子枪高压电缆的引入装置，包括:一种场发射电子枪高压电缆的引入装置，包括:
[0007]绝缘密封件，安装在电子枪室的内部，具有安装腔和引入口 ；
[0008]高压电缆，为若干股，通过所述引入口伸入到所述绝缘密封件的安装腔内，用于将电子枪室外部的高压电源引入到电子枪室内部；
[0009]高压电源接收端，两端分别耦接所述高压电缆和场发射电子枪；以及
[0010]绝缘填充物，填充于各股高压电缆之间、高压电缆与绝缘密封件的内壁之间，以及所述引入口处。
[0011 ] 上述场发射电子枪高压电缆的引入装置中，所述高压电源接收端和所述高压电缆之间采用银铜焊接相连。
[0012]上述场发射电子枪高压电缆的引入装置中，所述绝缘密封件为高压瓷瓶。
[0013]上述场发射电子枪高压电缆的引入装置中，所述绝缘密封件穿过设置在电子枪室外部的法兰而伸入到电子枪室内部。
[0014]上述场发射电子枪高压电缆的弓I入装置中，所述高压电缆为五股。
[0015]上述场发射电子枪高压电缆的引入装置中，所述高压电源接收端为分别与每股高压电缆一一对应耦接的五个高压封接电极，所述高压封接电极设置在所述安装腔的外部上。
[0016]上述场发射电子枪高压电缆的弓I入装置中，所述绝缘填充物为绝缘环氧胶。
[0017]上述场发射电子枪高压电缆的引入装置中，所述连接孔设置在电子枪室中的法兰上。
[0018]本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点:
[0019]1、本发明的场发射电子枪高压电缆的引入装置中，为了提升相对于大地、各股高压电缆之间的耐压值，在绝缘密封件和各股高压电缆之间填充有绝缘填充物，绝缘填充物两方面作用:1、在引入装置设置多股高压电缆的情况下，虽然相邻高压电缆之间的间距变小，但是，通过在相邻高压电缆之间填充绝缘填充物，可以保证各股导线之间耐压达到6000V以上，从而在不增大引入装置体积的情况下，使设备安全、可靠运行；2、密封了绝缘密封件的引入口，以及绝缘密封件与高压电缆之间的间隙，从而防止气体从引入装置进入到电子枪室中，不会破坏电子枪室的真空度，进行提高扫描电镜成像质量。
[0020]2、本发明的场发射电子枪高压电缆的引入装置中，绝缘密封件穿过设置电子枪室外部的法兰伸入到电子枪室内部，高压电缆穿过绝缘密封件和高压封接电极耦接，该绝缘密封件的设置使向电子枪室内引入高压电缆时，电子枪室内的超高真空度不受到破坏，从而保证了扫描电镜成像的质量稳定。
[0021]3、本发明的场发射电子枪高压电缆的引入装置中，高压瓷瓶和高压封接电极之间采用银铜材料焊接，银铜焊和其他材料焊接相比具有以下优点:1、银铜焊的强度更高，能够保证高压电缆和高压封接电极之间稳定连接；2、银铜焊的导电性能强；3、银铜焊的密封效果好，能够有效防止气体从焊接位置进入到电子枪室中，从而保证电子枪室的真空度不被破坏。
【附图说明】
[0022]为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中，
[0023]图1是本发明场发射电子枪高压电缆的引入装置的剖视示意图；
[0024]图2是图1的左视图。
[0025]附图标记说明
[0026]10-法兰；11_连接孔；20_高压瓷瓶；30_高压封接电极。
【具体实施方式】
[0027]以下将结合附图对本发明的场发射电子枪高压电缆的引入装置进行进一步介绍，在此需要说明的是，对于以下实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0028]实施例1
[0029]本实施例提供一种场发射电子枪高压电缆的引入装置，用于为场发射电子枪提供工作电源，其中，场发射