一种al刻蚀机台热量再利用的装置及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法。
【背景技术】
[0002]参见图1所示结构示意图，目前的AL刻蚀机台由两种腔体组成，一种为主蚀刻腔体，另一种为附属腔体，其中，主蚀刻腔体的温度设置为80度，附属腔体的温度设置为250度。主蚀刻腔体的废气主要为氯化物，通过管路排到净气腔。在排除的过程中由于氯化物在低温容易凝结为固态，所以在排气的干燥舱室出口端到净气腔进口端的管路用加热带进行加热。而附属腔体主要为碳氧化合物，低温不会凝固，管路也不需要加热。
[0003]但是，主蚀刻腔体的温度低，需要加热，而附属腔体的高温废气排出的废气为250度左右的高温气体，因此，如何能将附属腔体排出的高温废弃的热能来加热主蚀刻腔体排出的气体成为本领域技术人员面临的一大难题。
【发明内容】
[0004]鉴于上述问题，本发明提供AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法，通过在原有AL刻蚀机台上添加一在第一干燥腔体的输出端口添加一分流阀，使经过第一干燥腔体干燥后的第一气体中的一部分流入第二干燥气体的输出端口，使该部分第一气体完成对第二气体的加热，该技术方案具体为:
[0005]—种AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述装置包括:
[0006]附属腔体以及主蚀刻腔体；
[0007]第一干燥腔室，与所述附属腔体贯通连接，以干燥所述附属腔体流出的第一气体；
[0008]第二干燥腔室，与所述主蚀刻腔体贯通连接，以干燥所述主蚀刻腔体流出的第二气体；
[0009]分流阀，包括一输入端口和至少两个输出端口，所述输入端口与所述第一干燥腔室连接，所述第一输出端口将所述输入端口输入的部分气体流入净气腔，所述第二输出端口通过一温度计流入净气腔。
[0010]其中，所述第二干燥腔室与所述第二输出端口连接，所述第二干燥腔室流出的气体经过所述温度计流入所述净气腔。
[0011]上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述分流阀的第二输出端口通过一压力计与所述第二干燥腔室的输出端口连接。
[0012]上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述第二气体为氯化物气体。
[0013]上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述氯化物气体的温度为70-90摄氏度Ο
[0014]上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述第一气体为碳氧化合物。
[0015]上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述碳氧化合物气体的温度为240-260摄氏度。
[0016]一种AL刻蚀机台热量再利用的方法，其中，该方法基于上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，所述方法包括:
[0017]带状腔室流出第一气体及主蚀刻腔体流出第二气体；
[0018]所述第一气体经过第一干燥腔室干燥后流出及所述第二气体经过第二干燥腔室干燥后流出；
[0019]部分第一气体经过分流阀的第二输出端口流出，根据所述经所述第二输出端口流出的第一气体的压力值调节分流阀的开度；
[0020]经过第二干燥腔室干燥后的第二气体经过所述第一气体加热后，经过一温度计测量所述混合气体的温度后流入干燥室。
[0021]上述的AL刻蚀机台热量再利用的方法，其中，所述温度计中设定一预设值，当所述混合气体达到所述预设值后，调节所述分流阀的开度。
[0022]上述技术方案具有如下优点或有益效果:
[0023]采用本技术方案，可以实现AL刻蚀机台中的附属腔体中的高温气体的热量再利用，实现了对主蚀刻腔体的管路的加热，同时，无需外围的加热设备，在节约了相应的加热设备的购置和耗能成本的同时，达到了给主蚀刻腔体中排出的气体的加热效果。
【附图说明】
[0024]参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
[0025]图1为本现有技术中AL刻蚀机台的结构示意图；
[0026]图2为本发明一实例中AL刻蚀机台的结构示意图；
[0027]图3为本发明一实例中AL刻蚀机台热量再利用的方法的流程图。
【具体实施方式】
[0028]为了让具备本项发明所属领域常规知识的人员轻松实施本项发明，参照下面所示的附图，对本项发明的实例进行详细说明。但，本项发明可按照不同的形态实施，不仅仅局限于在此说明的实例。为了更加明确地说明本项发明，省略了图纸中与说明无关的部分；而且，在整个说明书中，向类似部分赋予类似的图纸符号。
[0029]在本项发明的整个说明书中，某一个部分与另一个部分的“连接”，不仅包括“直接连接”，还包括通过其他元器件相连的“电气性连接”。
[0030]在本项发明的整个说明书中，某一个部件位于另一个部件的“上方”，不仅包括某一个部件与另一个部件相接处的状态，还包括两个部件之间还设有另一个部件的状态。
[0031]在本项发明的整个说明书中，某个部分“包括”某个构成要素是指，在没有特别禁止器材的前提下，并不是排除其他构成要素，而是还能包括其他构成要素。
[0032]在本项发明的整个说明书中采用的程度用语“约”、“实质上”等，如果提示有制造及物质容许误差，就表示相应数值或接近该数值；其目的是，防止不良人员将涉及准确数值或绝对数值的公开内容用于不当用途。在本项发明的整个说明书中使用的程度用语“?(中的)阶段”或“?的阶段”，并不是“为了?的阶段”。
[0033]本说明书中的‘部件’是指，由硬件构成的单元(unit)、由软件构成的单元、由软件和硬件构成的单元。
[0034]另外，一个单元可由两个以上的硬件构成或者两个以上的单元由一个硬件构成。本说明书中，通过终端、装置或设备实施的操作或功能，其中的一部分可利用与相应终端、装置或设备相连的服务器代替实施。同样，通过服务器实施的操作或功能，其中的一部分也可以利用与该服务器相连的终端、装置或设备代替实施。接下来，参照附图，对本项发明的实例进行详细说明。
[0035]参见图2所示结构，本发明一实施例中具有热量再利用功能的AL刻蚀机台可包括附属腔体(附属腔体Strip chamber为带有剥离光刻胶功能的腔体，而且主要用来去除光胶，属于附属的chamber，通常简称附属腔体)、主蚀刻腔体、第一干燥腔室、第二干燥腔室、分流阀、压力计和温度计，其中:
[0036]第一干燥腔室与附属腔体贯通连接，用以干燥附属腔体流出的第一气体；
[0037]第二干燥腔室与主蚀刻腔体贯通连接，以干燥主蚀刻腔体流出的第二气体；
[0038]