基板处理装置以及基板处理方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种处理半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盘用基板等基板的基板处理装置以及基板处理方法。
【背景技术】
[0002]基板处理装置具有:用于载置运送器(容器)的载置台、对基板进行预先设定的处理的处理部、设于载置台与处理部之间的基板搬运机构，在该运送器(容器)中以多张基板(晶圆)隔开间隔地沿上下方向层叠容置多张基板(晶圆)。基板搬运机构具有保持基板的手部，从运送器取出基板并将基板搬运至处理部，从处理部向运送器搬运基板并将基板容置于运送器。
[0003]载置台具有一组透过型传感器(测绘传感器)，该透过型传感器具有投光器和受光器。投光器以及受光器以从沿基板表面的基板前方夹入圆状的基板的周缘部的一部分的方式相向地配置(例如，参照日本国特开2009-049096号公报)。而且，通过使透过型传感器在运送器内沿基板层叠方向升降，来检测运送器内的基板的张数以及位置，另外，能够检测基板是否被重合容置等。
[0004]另外，通过沿基板出入运送器的前后方向(深度方向)装备多组透过型传感器，检测运送器内的基板的张数以及位置等，并且能够检测基板的掉出(例如，参照日本国特开2009-049096 号公报)。
[0005]此外，在日本国专利第5185417号公报中记载了一种用于排除当搬运时基板振动或者跳跃的问题的运送器。
[0006]另外，在日本国特开平9-148404号公报中记载了，通过检测容置于盒内的基板之间在垂直方向的“间隙(clearance)”，根据该间隙改变基板搬运臂部的动作，来防止基板搬运臂部与基板的碰撞。另外，在日本国特开2012-235058号公报中记载了，通过计算沿铅垂方向以多层容置于盒内的基板间的“间隙”，基于该间隙判断机械手部是否可以进入，安全地取出盒内的基板。
[0007]但是，在以往的装置中存在如下的问题。利用基板搬运机构的手部将基板搬出至运送器的外部，若在运送器内没有将基板保持于正确的位置，则存在在运送器内手部与基板干涉且与基板的表面接触造成损伤或者损坏基板的危险。
【发明内容】
[0008]本发明是鉴于这样的事情而提出的，其目的在于，提供一种能够防止基板破损的基板处理装置以及基板处理方法。
[0009]本发明为了达到这样的目的，采取如下的结构。
[0010]S卩，本发明的基板处理装置，用于处理基板，具有:载置部，载置有用于容置多个基板的运送器，基板检测传感器，朝向水平方向检测各基板的有无，该水平方向是与基板进出所述运送器的前后方向相交的方向，高度传感器，检测所述基板检测传感器的高度，上下机构，使所述基板检测传感器沿上下方向移动，进退机构，使所述基板检测传感器沿所述前后方向移动，控制部，通过所述上下机构使所述基板检测传感器沿上下方向移动，并且通过所述进退机构使所述基板检测传感器沿所述前后方向移动，来通过所述基板检测传感器在所述前后方向上的不同的两个以上的位置检测各基板的高度，基板状态取得部，基于所检测出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相对于水平面的倾斜度。
[0011 ] 根据本发明的基板处理装置，能够在从运送器开始搬运基板之前取得在运送器内的基板的倾斜度。
[0012]另外，本发明的处理基板的基板处理装置具有:载置部，载置有用于容置多个基板的运送器，基板检测传感器，在前后方向上的不同的两个以上的位置检测各基板的有无，该前后方向是基板进出所述运送器的方向，高度传感器，检测所述基板检测传感器的高度，上下机构，使所述基板检测传感器沿上下方向移动，控制部，通过所述上下机构使所述基板检测传感器沿上下方向移动，来通过所述基板检测传感器在所述前后方向上的不同的2个以上的位置检测各基板的高度，基板状态取得部，基于所检测出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相对于水平面的倾斜度。
[0013]根据本发明的基板处理装置，能够在从运送器开始搬运基板之前取得在运送器内的基板的倾斜度。
[0014]另外，优选地，在上述的基板处理装置中，所述基板状态取得部基于各基板在所述前后方向上相对于水平面的倾斜度，取得向所述运送器的里侧偏移的水平方向上的基板位置偏移量。
[0015]另外，优选地，在上述的基板处理装置中，所述运送器具有:容器主体，盖部，堵塞所述容器主体的开口部，能够安装于所述容器主体以及从所述容器主体上拆下，边侧保持部，设于所述容器主体内的两个侧面，用于载置基板，后侧保持部，设于所述容器主体内的里侧面，形成有槽，前侧保持部，设于所述盖部的朝向所述容器主体内的表面，形成有槽，当所述盖部安装于所述容器主体的开口部时，所述后侧保持部以及所述前侧保持部一边使基板离开所述边侧保持部，一边夹持基板。当将堵塞容器主体的开口部的盖部拆下时，基板有时没有从后侧保持部的槽准确地滑下，而是停止在前倾状态。即使在这样的情况下，也能够事先取得基板在运送器内在前后方向上的倾斜度。
[0016]另外，优选地，在上述的基板处理装置中，所述基板处理装置具有将载置于所述边侧保持部的基板抬起并搬出至所述运送器的外部的手部，以使当所述手部抬起所述基板时，所述基板的里侧的周缘不与所述后侧保持部的槽接触的方式，设定向所述运送器的里侧偏移的水平方向上的基板位置偏移量的阈值。
[0017]另外，优选地，所述控制部禁止所述手部将特定基板从所述运送器搬出，所述特定基板是，向所述运送器的里侧偏移的水平方向上的基板位置偏移量超过所述阈值的基板。能够可靠地防止被手部抬起的基板的运送器里侧的周缘与后侧保持部的槽接触。
[0018]另外，优选地，在上述的基板处理装置中，具有:倾斜度不良判断部，判断所述基板的倾斜度是否大于预先设定的阈值，存储部，在由所述倾斜度不良判断部判断为大于的情况下，针对每个所述运送器或针对每个基板容置位置分别存储判断为大于的倾斜度不良信息，次数判断部，判断在所述存储部中存储的所述倾斜度不良信息是否达到预先设定的次数，通知部，在所述次数判断部判断为达到的情况下，通知该所述倾斜度不良信息达到预先设定的次数这一信息。由此，能够判断运送器的老化，通知操作者更换运送器的时机。另外，能够修正前一工序中的基板处理装置的基板搬运机构的教学错误，具有校正功能。
[0019]另外，本发明的处理基板的基板处理方法包括:将用于容置多个基板的运送器载置于载置部的工序，使基板检测传感器进入所述运送器的内部的工序，该基板检测传感器能够朝向水平方向来检测各基板的有无，该水平方向是与基板进出所述运送器的前后方向相交的方向，在所述基板检测传感器进入所述运送器的内部的状态下，通过使所述基板检测传感器沿上下方向移动，并且使所述基板检测传感器沿所述前后方向移动，来通过所述基板检测传感器在所述前后方向上的不同的两个以上的位置检测各基板的高度的工序，基于所检测出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相对于水平面的倾斜度的工序。
[0020]另外，本发明的处理基板的基板处理方法包括:将用于容置多个基板的运送器载置于载置部的工序，使基板检测传感器进入所述运送器的内部的工序，该基板检测传感器能够在基板进出所述运送器的前后方向上的不同的两个以上的位置检测各基板的有无，在所述基板检测传感器进入所述运送器的内部的状态下，通过使所述基板检测传感器沿上下方向移动，通过所述基板检测传感器在所述前后方向上的不同的两个以上的位置检测各基板的高度的工序，基于所检测出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相对于水平面的倾斜度的工序。
[0021]根据本发明的基板处理方法，能够在从运送器开始搬运基板之前取得在运送器内的基板的倾斜度。
[0022]根据本发明的基板处理装置以及基板处理方法，基板状态取得部基于基板进出运送器的前后方向上的不同的两个以上的位置的基板高度，来取得各基板在前后方向上相对于水平面的倾斜度。由于事先取得在运送器内的各基板的倾斜度，所以能够防止因基板搬运机构的手部与基板接触而导致的基板破损。
【附图说明】
[0023]为了说明发明，图示出现在认为是优选的若干实施方式，应该理解为发明并不限定于图示这样的结构以及方法措施。
[0024]图1A是示出实施例1的基板处理装置的概略结构的侧视图，图1B是盖装卸部的侧视图，图1C是测绘部的侧视图。
[0025]图2A?图2C是示出运送器的一个例子的图，图2B是示出从图2A中的附图标记A的方向观察到的运送器的一部分的主视图。
[0026]图3是示出两组测绘传感器的俯视图。
[0027]图4是示出基板处理装置的控制系统的框图。
[0028]图5是用于说明实施例1的基板处理装置的动作的图。
[0029]图6是用于说明因容器主体内的基板的姿势异常导致的故障的一个例子图。
[0030]图7A、图7B是用于说明因容器主体内的基板的姿势异常导致的故障的其他的例子的图。
[0031]图8是用于说明基板向里侧的位置偏移量的计算方法的图。
[0032]图9是用于说明变形例的基板处理装置的动作的图。
[0033]图10是示出变形例的基板搬运机构的手部的图。
[0034]图11是示出变形例的盖装卸部的图。
【具体实施方式】
[0035]以下，参照【附图说明】本发明的实施例1。图1A是示出实施例1的基板处理装置的概略结构的侧视图，图1B是