薄膜电容器的制造方法_2

文档序号:9728615阅读:来源:国知局
πι至数十μ m的厚度形成。将多对金属化薄膜5a,5b沿厚度方向彼此层叠(置于彼此之上)。由此形成堆叠体5。这些成对金属化薄膜5a,5b中之一构成正电极,而其另一个构成负电极。构成正电极的金属化薄膜和构成负电极的金属化薄膜交替堆叠,由此形成堆叠体5。
[0034]应指出的是,用于形成电介质薄膜la,lb的材料实例包括纸、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚苯硫醚、聚偏氟乙烯、聚醚酰亚胺、聚酰亚胺和聚酰亚胺酰胺。此外,分别在电介质薄膜la,lb表面上形成的金属电极2a,2b可通过在电介质薄膜la,lb表面上配置金属箔或通过将沉积金属沉积在电介质薄膜la,lb表面上而形成。用于形成金属箔和沉积金属的材料实例包括金属,如铝(A1)、锌(Zn)、锡(Sn)、铜(Cu)、铁(Fe)、镍(Ni)、铬(Cr)及其合金。此外,沉积金属可通过真空成膜法形成,包括例如真空沉积法、溅射法和激光烧蚀法。
[0035]此外,堆叠体5的电介质薄膜la,lb分别包括:高热导区域3a,3b,其中高热导填料的含量相对高(即,高热导区域3a,3b具有高热导率);和低热导区域4a,4b,其中高热导填料的含量相对低,或者不含高热导填料(即,低热导区域4a,4b具有低热导率)。换言之,高热导区域3a,3b中的高热导填料的含量高于低热导区域4a,4b中的高热导填料的含量。
[0036]在所示实例中,分别提供高热导区域3a,3b以在通过将电介质薄膜la,lb沿左右方向基本上相等地分成三个部分而形成的中央部中沿前后方向(图中的Y方向)延伸。分别在中央部所提供的高热导区域3a,3b侧部上的侧部中提供低热导区域4a,4b (通过将电介质薄膜la,lb沿由左右方向基本上相等地分成三个部分而形成的右侧部和左侧部)。换言之,当从电介质薄膜la,lb的厚度方向观察时,提供高热导区域3a,3b以从电介质薄膜la, lb内部(特别是其中央部)连续延伸至对应于除分别提供有外部电极9a,9b的侧部6a,6b之外的侧部(在所示实例中,前侧部和后侧部)的端部(在所示实例中,前端部和后端部)。在对应于分别提供有外部电极9a,9b的两个侧部6a,6b的端部(在所示实例中,右端部和左端部)处提供低热导区域4a,4b。
[0037]在金属化薄膜5a,5b中,分别在电介质薄膜la,lb表面上形成金属电极2a,2b,所述电介质薄膜la,lb分别具有上文所述的高热导区域3a,3b和低热导区域4a,4b。金属化薄膜5a,5b以使得高热导区域3a,3b彼此叠层(置于彼此之上)的方式堆叠(参见图2)。因此,在通过将堆叠体5沿左右方向基本上相等地分成三部分而形成的中央部中提供(沿前后方向和沿上下方向)由电介质薄膜la,lb的高热导区域3a,3b和在其上表面上形成的金属电极的构成的高热导部分8a。在高热导部分8a侧面上的侧部(通过将堆叠体5沿左右方向基本上相等地分成三个部分而形成右侧部和左侧部)中提供各自由低热导区域4a,4b和在其上表面上形成的金属电极构成的低热导部分8b。然后,将熔融金属如锌喷至低热导部分8b (的端部)上,所述熔融金属粘附于低热导部分8b (的端部)的表面。以此方式,形成了外部电极(也称为金属喷涂电极)9a,9b。
[0038]应指出的是,电介质薄膜la,lb中所含的高热导填料是热导率高于至少一种用于形成电介质薄膜la,lb的材料的填料。用于形成填料的材料实例包括二氧化娃(Si02)、氟化钙(CaF2)、氧化铝(A1203)、氧化镁(MgO)、氮化硼(BN)、氮化铝(A1N)、碳纳米管(CNT)、氧化铍、碳化硅和金刚石。
[0039]此外,在如上文所述构造的薄膜电容器10中,通过例如焊接将汇流条连接至各外部电极9a,9b。用由环氧树脂等制成的模塑材料覆盖该状态下的薄膜电容器10。
[0040]如上所述,在第一实施方案的薄膜电容器10中,通过将金属化薄膜5a,5b沿厚度方向堆叠而形成的堆叠体5包括:高热导部分8a,其中电介质薄膜la,lb中的高热导填料的含量相对高(即,高热导部分8a具有高热导率);和低热导部分8b,其中电介质薄膜la,lb中的高热导填料的含量相对低,或者不含高热导填料(即,低热导部分8b具有低热导率)。提供高热导部分8a以从堆叠体5的内部(特别地,温度可为高温的中央部)连续延伸至除分别提供有外部电极9a,9b的两个侧部(电极形成端部)6a,6b之外的侧部(所述实例中的前侧部和后侧部以及上侧部和下侧部)。以此方式,在堆叠体5中产生的热量经由高热导部分8a传递给除分别提供有外部电极9a,9b的两个侧部6a,6b之外的侧部,并耗散至外部。同时,分别提供有外部电极9a,9b的两个侧部6a,6b和侧部6a,6b中的部分由低热导部分8b构成,其中高热导填料的含量相对低或者不含高热导填料。因此,可可靠地确保薄膜电容器10制造中的加工性(例如,在将蒸发金属沉积至电介质薄膜la,lb表面以形成金属电极2a,2b的加工中的加工性),同时保持其耐热性和散热性。此外,可有效降低其制造成本。
[0041](第二实施方案)图3为透视图,其显示了本发明第二实施方案的薄膜电容器基本构造,图4为剖开的透视图,其中将图3所示的薄膜电容器的堆叠体剖开。图3所示的第二实施方案的薄膜电容器10A与上述第一实施方案薄膜电容器10就堆叠体的内部结构而言不同。薄膜电容器10A的其余构造基本上与第一实施方案的薄膜电容器10相同。因此,并未详细描述与第一实施方案薄膜电容器10相同的构造。
[0042]在第二实施方案中,薄膜电容器10A的堆叠体5A的电介质薄膜laA,lbA分别包括:高热导薄膜laaA,IbaA,其中高热导填料的含量相对高且高热导填料以分散方式配置;和低热导薄膜labA,lbbA,其中高热导填料的含量相对低且高热导填料以分散方式配置,或者不含高热导填料。
[0043]金属电极2aA,2bA分别在金属化薄膜5aaA,5baA中的高热导薄膜laaA,IbaA表面上形成。金属化薄膜5aaA,5baA在中央部沿堆叠方向(厚度方向)堆叠。金属电极2aA,2bA也分别在金属化薄膜5abA,5bbA中的低热导薄膜labA,lbbA表面上形成。金属化薄膜5abA,5bbA在金属化薄膜5aaA,5baA的上侧部和下侧部上沿堆叠方向(厚度方向)堆叠(参见图4)。以此方式,高热导部分8aA由金属化薄膜5aaA,5baA构成,其中金属电极2aA,2bA分别在高热导薄膜laaA,IbaA上表面上形成。在堆叠体5A中央部中沿堆叠方向提供高热导部分8aA(沿前后方向和左右方向延伸)。低热导部分8bA由金属化薄膜5abA,5bbA构成,其中金属电极2aA,2bA分别在低热导薄膜labA,lbbA的上表面上形成。在高热导部分8aA外部(在高热导部分8aA上侧和下侧)沿堆叠方向提供低热导部分8bA(沿前后方向和左右方向延伸)。
[0044]正如在上述第一实施方案的薄膜电容器10中那样,在第二实施方案的薄膜电容器10A中,通过将金属化薄膜5aA,5bA沿厚度方向堆叠而形成的堆叠体5A包括:高热导部分8aA (金属化薄膜5aaA,5baA),其中电介质薄膜laA,IbA中的高热导填料的含量相对高(即,高热导部分8aA具有高热导率);和低热导部分8bA (金属化薄膜5abA,5bbA),在各低热导部分8bA中,电介质薄膜laA,IbA中的高热导填料的含量相对低,或者不含高热导填料(即,低热导部分8bA具有低热导率)。提供高热导部分8aA以从堆叠体5A的内部(特别地,温度可变为高温的中央部)延伸至除分别提供有外部电极9aA,9bA的两个侧部(电极形成端部)6aA,6bA之外的侧部(所示实例中的前侧部和后侧部)。以此方式,在堆叠体5A中产生的热量经由高热导部分8aA传递给除分别提供有外部电极9aA,9bA的两个侧部6aA,6bA之外的侧部,且耗散至外部。同时,分别提供有外部电极9aA,9bA的两个侧部6aA,6bA的部分(所示实例中的上部和下部)以及侧部6aA,6bA上部和下部中的部分由低热导部分8bA构成,其中高热导填料的含量相对低或者不含高热导填料。因此,可可靠地确保制造薄膜电容器10A中的加工性,同时保持其耐热性和散热性。此外,可有效降低其制造成本。
[0045]此外,堆叠体5A的电介质薄膜laA,IbA分别包括:高热导薄膜laaA,IbaA,其中高热导填料的含量相对高且高热导填料以分散方式配置;和低热导薄膜labA,lbbA,其中高热导填料的含量相对低且高热导填料以分散方式配置,或者不含高热导填料。因此,第二实施方案的薄膜电容器10A还具有该可简化堆叠体5A内部构造的优点。
[0046](第三实施方案)图5为透视图,其显示了本发明第三实施方案的薄膜电容器的基本构造。图5所示第三实施方案的薄膜电容器10B与上述第一和第二实施方案薄膜电容器10,10A就堆叠体的内部结构而言不同。薄膜电容器10B的其余构造基本上与第一和第二实施方案薄膜电容器10,10A相同。因此,并未详细描述与第一和第二实施方案薄膜电容器10,10A相同的构造。
[0047]在第三实施方案中,薄膜电容器10B的堆叠体5B的电介质薄膜laB,lbB分别包括高热导薄膜laaB,IbaB和低热导薄膜labB,lbbB。高热导薄膜laaB,IbaB分别包括:高热导区域3aB,3bB,其中高热导填料的含量相对高;和低热导区域4aB,4bB,其中高热导填料的含量相对低,或者不含高热导填料。在低热导薄膜labB,lbbB中,高热导填料的含量相对低且高热导填料以分散方式配置,或者不含高热
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