之前沉积于半导体基底上，其中导电制品通过第一层电 親接至半导体基底。
[0027]在步骤530中，聚硅氮烷涂层沉积于半导体基底的顶面和电耦接的导电制品上方。 在导电制品和半导体基底的顶面上方形成抗反射层，其中抗反射涂层包括多个子层。子层 中的每一个均包含聚硅氮烷，其中子层具有彼此不同的折射率。在一些实施方案中，每个子 层的折射率为如在固化后测量的值。聚硅氮烷膜典型地由液体前体化学物制备，该液体前 体化学物沉积于目标基底上，在高温下干燥且固化以形成稳定聚合物膜。在一些实施方案 中，多-聚硅氮烧ARC沉积于常规银指状物上方。为了允许母线的电连接，遮蔽或去除母线区 域中的聚硅氮烷。在其它实施方案中，可使用具有整体母线的电成型导管，如将关于图9A-9C所述。关于这些电成型导管，可能无需遮蔽或去除母线区中的聚硅氮烷。如本文所公开的 多层聚硅氮烷ARC由于能够以相对低成本方法且在相对低温下施加而提供用于成本敏感性 光伏行业的低成本涂层。例如，在含氧氛围中使无机聚硅氮烷膜(其中R=氢)退火会产生折 射率为1.46的层，而在惰性或含氨环境中使相同膜退火会产生折射率约为2的层。在一个实 施方案中，施加第一聚硅氮烷子层，接着在第一子层上方形成第二聚硅氮烷子层和任何后 续子层(其中一些可或可不包括聚硅氮烷）。聚硅氮烷层可通过包括但不限于喷洒、浸渍涂 布、旋压、微喷分配的方法施加。特定方法可视如所需厚度或所需的厚度控制的程度的因素 而选择。总的多层聚硅氮烷堆叠的厚度可在例如500-1500埃范围内。单独的子层的厚度将 取决于光波长和子层所需的特定折射率。
[0028]在步骤530的一个实施方案中，第一层可施加于光伏基底，从而覆盖电气导管，且 在低温下加热以蒸出溶剂。接着第二子层可施加于第一子层上方，且两个聚硅氮烷子层均 在较高温度下加热以引起最终固化。加热或烘烤步骤可例如在烘箱中，在热板上，或在热灯 下执行。在一些实施方案中，可利用传送器来通过一系列热灯或通过烘箱处理光伏电池。用 于涂布和加热步骤的特定过程参数可优化以平衡各种产物和制造因素，包括:涂层的最终 光学特性、固化产物对酸(例如来自封装剂）的耐化学性、最终涂层的使用寿命(例如关于太 阳能模块为约25年）、所需涂层厚度、涂层控制准确度、制造成本和组合件中的其它材料的 耐温性。在一些实施方案中，聚硅氮烷子层的固化温度可设计为足够低，使得其不会影响光 伏电池的其它组件，如铜导管或附接材料，例如可在数百摄氏度下熔融或分解的焊料或 ECA。低固化温度也是有益的，因为其不需要高温(且因此更高成本)固化设备。
[0029] 因为聚硅氮烷的固化条件影响材料特性，所以在一些实施方案中可选择固化温 度、湿度和/或气体环境以调节聚硅氮烷的最终折射率和其它特性。例如，可选择一种固化 温度用于整个聚硅氮烷堆叠，同时固化所有聚硅氮烷子层。在另一实施例中，不同固化温度 可用于每个子层。即，第一子层可在第一温度下固化，且接着第二子层可沉积于第一子层上 方且在第二温度下固化。在这些各种实施方案中，固化温度可小于300°C，如小于200°C，或 在150-200°C之间。一些聚硅氮烷可设计为在低至接近室温的温度下固化。温度和聚硅氮烷 组合物的组合可基于光伏电池中的其它组件的温度限制来确定。在一些实施方案中，湿度 可介于例如90%_100%之间范围内以实现所需折射率。在一些实施方案中，在覆盖元件的 顶面上形成包含聚硅氮烷的外部抗反射涂层，覆盖元件可为例如玻璃。
[0030] 在图8的步骤540中，由组合件完成光伏电池。光伏电池由半导体基底、导电制品和 抗反射涂层形成。这个步骤可包括将封装剂施加于电池上方，将覆盖元件放置于组合件上 方，和制备互连元件以连接电池至模块中的其它电池。在一些实施方案中，步骤540可包括 用产酸封装剂封装光伏电池。因为聚硅氮烷完全地覆盖导电制品用于腐蚀和电迀移保护， 所以与制品的任何电连接均应在涂布之前完成，或在其中暴露的金属组件将不会引起潜在 电池污染的区域中进行。
[0031] 图9A-9C说明如Babayan等人的美国专利申请号13/798,123所公开在电成型芯棒 中制造且可用于本公开内容的太阳能电池中的电成型电气导管的实施方案。图9A-9B为可 包含例如铜或镍涂布的铜的示例性金属导管600a和600b的俯视图。金属层600a和600b包括 此处具体化为实质上平行指状物610的电成型元件，该元件已经通过导电芯棒中的实质上 平行凹槽成型。金属层600b还包括此处具体化为与垂直指状物610交叉的水平指状物620的 电成型元件，其中指状物610和620以约直角交叉。在其它实施方案中，指状物610和620可以 其它角交叉，同时仍形成连续栅格或网格模式。导管600a和600b还包括可用作母线以收集 来自指状物610和620的电流的框架元件630。使母线作为金属制品的一部分整体成型可提 供制造改进。在本发明的太阳能模块制造的高容量方法中，电池连接通常通过将金属条带 手动焊接至电池来实现。由于手动处置和由焊料条带赋予电池的应力，这通常产生破裂或 损坏的电池。另外，手动焊接过程引起尚的人工相关制造成本。因此，如在电成型金属制品 的情况下可能出现的母线或条带已经成型且连接至金属化层使得低成本、自动化制造方法 成为可能。因为元件610、620和630均为整体成型的，所以有可能将聚硅氮烷涂层沉积于制 品600a或600b上方而无需在指状物610、620或母线630之间产生后续电连接。聚硅氮烷的相 对低固化温度还使得涂层能够与焊接的组件相容，以致涂层可在焊接之前或之后施加且固 化。
[0032] 框架元件630还可提供机械稳定性，以致金属导管600a和600b在从芯棒取出时为 整体、独立式制品。即，金属导管600a和600b为整体的，因为其为单一组件，其中指状物610 和620在离开光伏电池或其它半导体组合件时保持连接。框架元件630可另外有助于在指状 物元件610和620将要附接至光伏电池时维持指状物元件之间的间隔和排列。框架元件630 在图9A-9B中示出为通过金属导管600a和600b的一个边缘延伸。然而，在其它实施方案中， 框架元件可仅部分地通过一个边缘延伸，或可毗连超过一个边缘，或可配置为边缘上的一 个或多个调整片，或可存在于栅格本身内。此外，框架元件可与指状物610和620同时电成 型，或在其它实施方案中可在指状物610和620已经成型之后在独立步骤中电成型。
[0033]图9C示出沿图9B的截面B-B取得的金属导管600b的横截面。指状物610和620具有 高度"H"和宽度"W"，其中高宽比定义纵横比。通过使用电成型芯棒使金属导管600a和600b 成型，电成型金属区段可针对光伏应用加以调适，如以便减少遮蔽。这个实施方案中的指状 物610示出为具有大于1，如约1至约5,且如本图中大致为2的纵横比。使横截面高度大于宽 度会降低光伏电池上金属导管600b的遮蔽影响。在各种实施方案中，指状物610和620中仅 一部分可具有大于1的纵横比，或指状物610和620中大部分可具有大于1的纵横比，或指状 物610和620均可具有大于1的纵横比。指状物610的高度"H"可介于例如约5微米至约200微 米，或约10微米至约300微米范围内。指状物610的宽度"W"可介于例如约10微米至约5_，如 约10微米至约150微米范围内。平