置进行粗调，如图5所
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[0034]在实际应用中，也可以使得通孔211或凹部205偏离每个磁体的中心轴206设置，如图6所示，凹部205偏离磁体20的中心轴206，在这种情况下，由于磁体20与第一挡板21采用上述螺纹连接方式固定，因此，可以实现二者能够相对转动，从而可以实现对该磁体的位置进行微调。在这种情况下，第一挡板21的结构示意图如图7所示，通孔211相对于第一背板21所在平面采用矩形阵列的方式均匀地间隔分布，在第一背板21所在平面上建立一个以第一背板21的中心为原点的二维坐标系,其中,X轴为横坐标；Y轴为纵坐标，第一背板21自原点向其的边缘采用矩形阵列的方式均匀地间隔分布，优选地，相邻两个背板通孔421之间的中心距的范围在3?5_，因此，还可以对磁体20的位置进行粗调。
[0035]在本实施例中，每个磁体20由套筒201、与套筒201形成封闭空间的上盖板202和下盖板203、在封闭空间内设置的磁性材料204组成；其中，套筒201采用不导磁的材料制成，上盖板202和下盖板203采用导磁材料制成，不导磁材料包括SUS403不锈钢，导磁材料包括SUS410B不锈钢。每个磁体20的上盖板202或下盖板203与第一背板21固定。并且，套筒201、上盖板202和下盖板203采用焊接的方式固定在一起。
[0036]由于多个磁体20固定在第一背板21上,且一部分磁体20的N极与第一背板21固定，且另一部分磁体20的S极与第一背板21固定，因此，第一背板21采用导磁材料可以在将如图3所示的磁控管倒置在靶材的上方时，避免磁体20产生的磁场对其上方的装置等产生干扰。
[0037]在本实施例中，对应每个磁体20，还包括采用导磁材料制成的第二背板24，在磁体20的未与第一背板21固定的上盖板202或下盖板203上形成有凸部207，在第二背板24上设置有与凸部207对应的通孔，凸部207的顶端端面穿过通孔，且与第二背板24的表面相互平齐，这可以使得磁体20的具有该凸部207的一端的磁场强度均匀。
[0038]需要说明的是，在本实施例中，磁体20和第一挡板21直接采用的可拆卸连接方式包括螺纹连接方式。但是，本发明并不局限于此，在实际应用中，可拆卸连接方式还可以采用其他方式，例如，销连接，
[0039]由上可知，本实施例提供的磁控管，在组装该磁控管时仅需要依次将每个磁体20直接固定在第一背板21上即可，因此，本发明提供的磁控管与现有技术相比，不仅便于组装，而且还可以减小组装时间；另外，本实施例提供的磁控管的磁体不会脱落，且可以重复利用，从而可以避免磁体的浪费，进而可以提高经济效益。
[0040]图8为本发明第二实施例提供的一种磁控管的结构示意图。请参阅图8，本实施例提供的磁控管与上述实施例提供的磁控管相类似，同样包括磁体20、第一挡板21和第二挡板24,由于磁体20、第一挡板21和第二挡板24的结构和其之间的关系在上述第一实施例中已有详细地描述，在此不再赘述。
[0041]下面仅对二者的不同点进行描述。具体地，如图6所示，在第一背板21和每个磁体20相接触的表面上分别对应设置有相互匹配的凹部30和凸部40 ;其中，在凸部40的外侧壁和凹部30的内侧壁上均设置有螺纹，以实现凸部40与凹部30螺纹连接。
[0042]在本实施例中，凸部40和凹部30对应每个磁体20的中心轴206设置。但是，在实际应用中中，也可以偏离每个磁体20的中心轴206设置，在这种情况下，由于磁体20与第一挡板21通过凸部40和凹部30采用螺纹连接方式固定，因此，可以实现二者能够相对转动，从而可以实现对该磁体的位置进行微调。
[0043]需要说明的是，在实际应用中，如图9所示，也可以在第一背板21和磁体20相接触的表面上分别对应设置有相互匹配的凸部40和凹部30，同理，在凸部40的外侧壁和凹部30的内侧壁上均设置有螺纹，以实现第一背板21和磁体20通过凸部40与凹部30螺纹连接固定。
[0044]当然，在实际应用中，可以部分磁体20与第一背板21采用图6的方式固定，另一部分磁体20与第一背板21采用图7的方式固定。
[0045]作为另外一个技术方案，本实施例还提供一种磁控溅射设备，包括靶材以及设置于靶材上方的磁控管，磁控管采用本发明上述实施例提供的磁控管。
[0046]本实施例提供的磁控溅射设备，其通过采用本发明上述实施例提供的上述磁控管，不仅可以减小设备的组装时间，而且还可以降低设备的投入成本，从而可以提高经济效.、'.Mo
[0047]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种磁控管，包括多个磁体和第一背板，所述第一背板用于在其上以预设排列方式固定多个磁体，其特征在于，各个所述磁体采用可拆卸连接方式直接固定在所述第一背板上。2.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述可拆卸连接方式包括螺纹连接方式。3.根据权利要求2所述的磁控管，其特征在于，在所述第一背板和所述磁体相接触的表面上分别对应设置有通孔和凹部，所述凹部的内侧壁设置有螺纹，借助螺钉穿过所述通孔与所述凹部螺纹连接，以实现将所述磁体固定在所述第一背板上。4.根据权利要求3所述的磁控管，其特征在于，所述通孔为变径孔，且与所述螺钉相匹配，以使所述螺钉位于所述通孔内。5.根据权利要求2所述的磁控管，其特征在于，在所述第一背板和每个所述磁体相接触的表面上分别对应设置有相互匹配的凸部和凹部；或者，在所述第一背板和所述磁体相接触的表面上分别对应设置有相互匹配的凹部和凸部， 所述凸部的外侧壁和所述凹部的内侧壁上均设置有螺纹，以实现所述凸部与所述凹部螺纹连接。6.根据权利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述凸部和所述凹部对应每个所述磁体的中心轴设置；或者 所述凸部或所述凹部偏离每个所述磁体的中心轴设置。7.根据权利要求3所述的磁控管，其特征在于，所述通孔和所述凹部对应每个所述磁体的中心轴设置；或者 所述通孔或所述凹部偏离每个所述磁体的中心轴设置。8.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，每个所述磁体由套筒、与套筒形成封闭空间的上盖板和下盖板、在封闭空间内设置的磁性材料组成；其中，所述套筒材料不导磁材料制成，所述上盖板和下盖板采用导磁材料制成； 每个所述磁体的上盖板或下盖板与所述第一背板固定。9.根据权利要求8所述的磁控管，其特征在于，对应每个磁体，还包括采用导磁材料制成的第二背板，在所述磁体的未与所述第一背板固定的上盖板或下盖板上形成有凸部，在所述第二背板上设置有与所述凸部对应的通孔，所述凸部的顶端端面穿过所述通孔，且与所述第二背板的上表面相互平齐。10.一种磁控溅射设备，包括靶材以及设置于靶材上方的磁控管，其特征在于，所述磁控管采用权利要求1-9中任意一项所述的磁控管。
【专利摘要】本发明提供了一种磁控管及磁控溅射设备，包括多个磁体和第一背板，所述第一背板用于在其上以预设排列方式固定多个磁体，各个述磁体采用可拆卸连接方式直接固定在所述第一背板上。本发明提供的磁控管，其中的磁柱可以直接组装在第一挡板上，不仅便于组装，而且还可以减小组装时间；另外，该磁控管中的磁柱不会脱落，且可以重复利用，从而可以避免磁体的浪费，进而可以提高经济效益。
【IPC分类】H01J37/34, H01J25/50
【公开号】CN105632855
【申请号】CN201410593234
【发明人】杨玉杰
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2014年10月28日