集成电路装置及其静电防护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种集成电路的静电防护装置，由静电防护装置提供静电防护功能给集成电路装置。
【背景技术】
[0002]请参考图17所示,现有集成电路(integrated circuit, IC)包含有一电力网81与一核心82，该电力网81包含有多个第一电极811与一接地电极812，该接地电极812呈环状并包含有多个设置区813，该些第一电极811分别设于该些设置区813内。该核心82位于该接地电极812内侧，并电性连接第一电极811与接地电极812。该些第一电极811与接地电极812供连接一电源以接收一工作电压，使该核心82接收该工作电压而作动。
[0003]随着半导体工艺的进步，集成电路的尺寸已越来越小化，因此静电防护更显重要。为了保护集成电路免于静电的威胁，现有集成电路需要额外设置一静电防护电路，以在该第一电极811生静电时，静电防护电路将静电快速导引至接地电极812而不会到达该核心82，避免核心82受到静电破坏。然而，现有静电防护电路占据集成电路一定的空间，使得集成电路的尺寸无法进一步缩小化。
【发明内容】
[0004]因此本发明的主要目的是提供一种集成电路的静电防护装置，该静电防护装置不会增加集成电路整体面积，有助于集成电路尺寸的缩小化。
[0005]本发明集成电路的静电防护装置中，该集成电路包含有一基板、一核心与一电力网，该电力网包含有至少一电源电极、一内接地电极与一外封环，该核心形成在该基板上并位于该内接地电极内侧，该电源电极位于该内接地电极与外封环之间，该静电防护装置包含有:
[0006]多个放电单元，形成在该基板且对应于该电力网所涵盖的区域，并分别电性连接在该电源电极与内接地电极之间，以及连接在该电源电极与外封环之间；
[0007]多个开关触发单元，分别电性连接在该电源电极与内接地电极之间，以及连接在该电源电极与外封环之间，用以检知是否发生静电；
[0008]多个开关单元，分别电性连接在该电源电极与内接地电极之间，以及连接在该电源电极与外封环之间，该些开关单元电性连接该些开关触发单元与放电单元，以在任一开关触发单元检知静电时导通放电单元。
[0009]本发明之另一目的是提供一种集成电路装置，包含有:
[0010]一集成电路，包含:
[0011]—基板；
[0012]一电力网，包含有至少一电源电极、一内接地电极与一外封环,该电源电极位于该内接地电极与外封环之间；
[0013]一核心，形成在该基板上并位于该内接地电极内侧；以及
[0014]一静电防护装置，包含有:
[0015]多个放电单元，形成在该基板上且对应于该电力网所涵盖的区域，并分别电性连接在该电源电极与内接地电极之间，以及连接在该电源电极与外封环之间；
[0016]多个开关触发单元，分别电性连接在该电源电极与内接地电极之间，以及连接在该电源电极与外封环之间，用以检知是否发生静电；
[0017]多个开关单元，分别电性连接在该电源电极与内接地电极之间，以及连接在该电源电极与外封环之间，该些开关单元电性连接该些开关触发单元与放电单元，以在任一开关触发单元检知静电时导通放电单元。
[0018]根据本发明的结构，当该电力网任一处发生静电，位在对应位置的开关触发单元检知静电并驱动该开关单元，使该开关单元导通放电单元。如此一来，静电能量从电源电极通过放电单元而导引到接地，确保集成电路的核心免于静电的破坏。由于该静电防护装置设在对应于电力网的位置，该电力网的边界相当于集成电路(即外封环)的边界，故本发明可有效利用集成电路的空间，相较于现有技术，本发明不需扩大集成电路的整体面积以设置静电防护电路，故本发明可使集成电路的尺寸最小化。
[0019]以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
【附图说明】
[0020]图1:本发明集成电路装置的示意图；
[0021]图2:本发明第一较佳实施例的电力网与静电防护装置的连接示意图；
[0022]图3:对应于图2之局部剖面示意图；
[0023]图4:本发明静电防护装置的等效电路示意图；
[0024]图5:本发明第一较佳实施例中放电单元、开关触发单元与开关单元的分布示意图；
[0025]图6:本发明第二较佳实施例的电力网与静电防护装置的连接示意图；
[0026]图7:对应于图6之局部剖面示意图；
[0027]图8:本发明第二较佳实施例中电源电极与接地电极的平面示意图(一)；
[0028]图9:本发明第二较佳实施例中电源电极与接地电极的平面示意图(二)；
[0029]图10:本发明第二较佳实施例的局部剖面示意图(一)；
[0030]图11:本发明第二较佳实施例的局部剖面示意图(二)；
[0031]图12:本发明第二较佳实施例中放电单元、开关触发单元与开关单元的分布示意图；
[0032]图13:本发明第三较佳实施例的电力网与静电防护装置的连接示意图；
[0033]图14:本发明第三较佳实施例中该开关触发单元的平面示意图；
[0034]图15:本发明第三较佳实施例的局部剖面不意图(一)；
[0035]图16:本发明第三较佳实施例的局部剖面示意图(二)；
[0036]图17:现有集成电路的电力网与核心布局示意图。
[0037]其中，附图标记
[0038]I集成电路装置2集成电路
[0039]3静电防护装置10核心
[0040]20电力网21电源电极
[0041]210延伸部221内接地电极
[0042]222外封环223延伸部
[0043]224延伸部23内辅助导电层
[0044]24外辅助导电层30基板
[0045]300 P型阱区301第一 P型电极区
[0046]302第一 N型电极区303第二 P型电极区
[0047]304第二 N型电极区305导孔
[0048]306共同N型电极区307导孔
[0049]308绝缘层309 N型阱区
[0050]310金属硅化物层
[0051]311第一 N型阱区312第一 P型电极区
[0052]313第二 P型电极区314第三P型电极区
[0053]315第四P型电极区316共同N型电极区
[0054]321 P型电极区322第一 N型电极区
[0055]323第二 N型电极区324绝缘层
[0056]325第二 N型阱区331 P型电极区
[0057]332第一 N型电极区333第二 N型电极区
[0058]334绝缘层335第三N型阱区
[0059]34电阻层35电容层
[0060]361直导孔362直导孔
[0061]40开关触发单元50开关单元
[0062]51电子开关60放电单元
[0063]70驱动电路单元81电力网
[0064]811第一电极812接地电极
[0065]813设置区82核心
【具体实施方式】
[0066]下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述:
[0067]请参考图1至图3所示，本发明集成电路装置I包含有一集成电路2与一静电防护装置3,该集成电路2为一封装后的兀件并包含有一基板30、一核心10与一电力网20,该电力网20包含有至少一电源电极21、一内接地电极2