一种多通道低电容瞬态电压抑制器件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体微电子技术领域，具体地说，本实用新型涉及半导体器件和集成电路以及半导体器件和电路的制造方法。
【背景技术】
[0002]瞬态电压抑制器即TVS--Transient Voltage Suppressor，是目前普遍使用的一种高效能电路保护器件，其外形与普通二极管无异，但因特殊的结构和工艺设计，使其能够吸收高达数千瓦的浪涌功率。TVS的工作机理是在反向应用条件下，当承受一个高能量的大脉冲时，其工作阻抗会快速降至极低的导通值，从而允许大电流通过，同时把电压嵌制在预定水平，一般的响应时间仅为10_12秒，因此可以有效地保护电子线路中的精密元器件免受各种浪涌脉冲的损坏。
[0003]传统的TVS 二极管基本都是稳压管类型的，制造工艺也比较简单，一般是在P+衬底/N+衬底上通过异型掺杂直接形成PN结。这种传统的TVS 二极管主要应用在消费类电子产品中的数据端口，如键盘、侧键和电源线等，这是由于此类端口速度较慢，对TVS 二极管的电容要求不高，一般在20pF以上。但对于视频线路的保护，传统的TVS 二极管就不能满足使用要求了。这是因为视频数据线具有极高的数据传输率，(其数据传输率高达480M工业自动化网，有的视频数据传输率达到IG以上)，要求TVS管具有极低的电容，一般情况下小于1.0pF,同时对ESD能力要求极高，不能低于12kV，因此，必须要开发一种新型的单通道低电容TVS器件，在保证低电容的同时具有较高的ESD能力，一方面满足静电防护的要求，另一方面满足对数据传输完整性的要求。
[0004]如图1所示，目前市场上的多通道低电容的TVS器件通常是由将多组串联的两个低电容二极管9，10与一个传统稳压型TVS 二极管11并联组合形成，TVS 二极管的一端作为电源电极，另一端作为地电极。分别将每组两个低电容二极管的连接处引出作为输入输出电极1/01，，I/On。本文中与电源电极连接的二极管9也称为上整流二极管，与地电极连接的低电容二极管10称为下整流二极管。图1所示的TVS器件的正、反向特性仍然相当于一个普通二极管，但组合线路的电容值却大大低于相同电压下的单个TVS管的电容值。对于一组串联的两个低电容二极管，用(:9和C 1(|分别表示上整流二极管9和下整流二极管10的电容值，其值较小，Ctvs表示TVS 二极管11的电容值，其值要比前两者电容值C 9和C 1(|大一个数量级，所以上整流二极管9和TVS管11串联后，总的串联电容值基本等同于上整流二极管9的电容值，等效总电容约等于(:9与C 1(|之和。这样，组合而成的多通道低电容TVS器件中每一通道的正、反向特性基本相当于一个普通二极管；只要降低每一通道中二极管9和10的电容值(:9和C 1(|即可实现该TVS器件低电容。
[0005]由于硅集成工艺及成品率的原因，目前上述组合而成的多通道低电容TVS器件都是采用分立器件组合封装的形式，即每组上、下整流二极管9、10和TVS管11分别通过不同版图和工艺来实现，然后再通过封装组合在一起。采用这种技术路线不仅制作成本较高，而且器件的性能和质量还会因为连接导线材料等因素的引入而受到影响。因此需要一种能将多组上、下整流二极管9、10和TVS管11集成在同一芯片上的方法，能够以低成本得到高性能的低电容瞬态电压抑制器件。
[0006]在半导体器件和集成电路加工工艺中，普遍采用通过形成特定浓度的P型掺杂区域和N型掺杂区域，并用高温退火来改变P型掺杂区域和N型掺杂区域的结深从而制作出各种满足不同功能和性能指标要求的器件。例如，在一些功率型MOS晶体管的制造过程中，通常需要提供重掺杂衬底并在重掺杂衬底上外延生长外延层来形成具有所需参数的器件。对于这样的半导体器件制备工艺，重掺杂衬底中杂质原子在外延生长时会向外延层固态扩散以及外延生长时出现的气相自掺杂，会影响掺杂离子在外延层以及外延层与衬底之间的过渡层中的浓度分布并进而影响器件的设计参数。为了克服这一问题，申请号为CN200610039599.5和CN200610161305.6的两个中国专利公开了 MOS管用硅外延片的制造方法。采用这些方法在常规形成外延层之前引入了气相腐蚀衬底表面以对衬底进行清洁减少杂质浓度的步骤和在衬底表面生长纯度外延层对衬底进行包覆的步骤，以得到理想的外延层和外延层与衬底之间的界面过渡区。这些方法虽然通过对衬底表面进行腐蚀在一定程度上减少了杂质浓度，但是，一方面，增加了工艺步骤和控制难度，延长了制备时间并提高了制造成本，另一方面，气相腐蚀反应会在半导体器件制造过程中不可避免地引入新的杂质。
[0007]为了避免出现上述问题，现有技术通常使用电阻率很高的P型衬底，例如电阻率为10?20 Ω.Cm。但使用高阻P型衬底制作的TVS 二极管与对TVS 二极管所要求的低阻抗相违背，并不能满足使用要求。通常TVS 二极管的P型衬底掺杂浓度为约119cnT3量级，但是在电阻率如此低的P型衬底上，现有外延技术是无法批量加工TVS器件要求的轻掺杂外延层的。
[0008]因此，本实用新型需要提供一种可批量制作的高性能多通道低电容瞬态电压抑制器件。
【实用新型内容】
[0009]本实用新型要解决的技术问题是将如图1所示的多组上、下整流二极管和TVS管分立器件集成在同一芯片上，从而提供一种集成的、独立芯片的低电容瞬态电压抑制器件，同时实现产品的低成本和高性能化。
[0010]为解决上述技术问题，实现所述低电容瞬态电压抑制器，本实用新型采用的技术方案如下:
[0011]一种低电容瞬态电压抑制器件，其自下而上依次包括:
[0012]第二导电类型自补偿背封层；自补偿背封工艺的制作方法可参见本申请人已授权的申请号为CN201420390642.2的专利。本领域技术人员可以理解，该自补偿背封层在制作过程随后的步骤中作为牺牲层将被去除，器件完成时该层将被背面金属层取代。
[0013]第一导电类型重掺杂衬底；
[0014]第二导电类型埋层；
[0015]第二导电类型轻掺杂外延层；
[0016]第一导电类型隔离区；优选的，该第一导电类型隔离区形成于第二导电类型轻掺杂外延层中并延伸至第一导电类型重掺杂衬底；
[0017]第一导电类型基区；
[0018]第二导电类型发射区；和
[0019]互连结构。
[0020]具体地，根据本实用新型的一个方面，提供一种多通道低电容瞬态电压抑制器件，其特征在于，该器件包括:
[0021]第一导电类型的半导体衬底，
[0022]形成在所述半导体衬底上的第二导电类型外延层，第二导电类型不同于第一导电类型，
[0023]形成在所述半导体衬底和所述外延层之间第二导电类型的至少一个埋层区，和
[0024]形成在所述外延层中并延伸至衬底的第一导电类型的隔离区，该隔离区将所述外延层隔离出多个外延区，
[0025]该器件进一步包括
[0026]TVS管，包括形成在隔离区中第一导电类型的基区和形成在该基区中的第二导电类型的发射区；
[0027]至少一个第一二极管，每一第一二极管包括形成在埋层区上外延区中的第二导电类型的扩散区、形成在该扩散区中第二导电类型的发射区，以及形成在所述埋层区上外延区中的第一导电类型的基区；
[0028]至少一个第二二极管，每一第二二极管包括形成在隔离区中的第一导电类型的基区，以及形成在外延区中的第二导电类型的发射区，以及
[0029]形成在半导体衬底另一侧上的第一电极，和形成在外延层表面上用于形成所述多通道低电容瞬态电压抑制器件的金属布线层。
[0030]优选地，所述第一导电类型为P型，第二导电类型为N型；或所述第一导电类型为N型，第二导电类型为P型。
[0031]优选地，所述金属布线层包括将所述TVS管的发射区与所述至少一个第一二极管的每一发射区电连接的金属布线，以及将所述至少一个第二二极管的发射区和与其对应的第一二极管的基区电连接的至少一个其他金属布线。
[0032]优选地，该器件包括至少一个第一二极管，与第一二极管相同数量的第二二极管以及从连接所述TVS管发射区的金属布线引出的电源电极和从所述其他金属布线层引出的至少一个输入输出电极。
[0033]优选地，所述半导体衬底的电阻率约为0.001?0.02 Ω.cm。
[0034]优选地，所述外延层的电阻率大于5.5 Ω.cm，厚度大于7.5μηι。
[0035]优选地，隔离区的掺杂浓度为119CnT3量级，所述扩散区的掺杂浓度为1.0 X 118?9.9X10 19cm_3。
[0036]优选地，其特征在于，所述发射区的掺杂浓度为8.0X 119?2.0X10 2°cm_3。
[0037]优选地，所述每一第一二极管和所述每一第二二极管的电容分别小于所述TVS管的电容。
[0038]本实用新型的有益效果:
[0039]使用自补偿背封层工艺，为选用重掺杂衬底批量制作具有特殊功能要求的半导体器件提供了可能性，并可显著提高重掺杂衬底生长反型轻掺杂外延层的质量和效率。例如，制作单通道低电容瞬态抑制器件时，使用本实用新型的技术方法，可选用电阻率为0.0Ol?0.02 Ω ^cm的重掺杂P型衬底，在常压外延设备中仍可满炉进行生产，由此提高了生产效率，降低了器件的制造成本。
[0040]本实用新型将多组上整流二极管、下整流二极管以及TVS管集成在同一 P++半导体衬底上，有利于实现产品的低成本和高性能，并可有效节省器件的占地空间。
[0041]此外，根据本实用新型的器件结构，通过将P+隔离区延伸至与P++半导体衬底接触，可以将P++半导体衬底作为接地电极GND，而不必将地电极从正面引出。这样不仅有利于减小芯片尺寸，还能使器件结构适用于多种不同的封装形式。另外，将P++半导体衬底直接作为接地GND电极引出，封装时可以减少至少I根键合金丝，能够大幅度地降低制作成本。
【附图说明】
[0042]图1为一种