一种吸笔的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池制造领域，特别是涉及一种吸取晶圆的吸笔。
【背景技术】
[0002]当电力、煤炭、石油等不可再生能源频频告急，能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈时，越来越多的国家开始实行“阳光计划”，太阳能成为新型能源得到了大力开发，其中，我们日常生活中使用最多的就是太阳能电池。太阳能电池以半导体材料为主，利用光电材料吸收光能后发生光电转换，使之产生电流以此作为电源供电。
[0003]在太阳能电池的制造过程中需要历经多道工序，在不同的工序之间转换时，通常需要将晶圆从一个机台搬运到另一个机台，具体步骤包括:工序完成后，将晶圆一片一片地从一个机台上拿取后叠置于载具上，通过载具对晶圆进行搬运，再从载具上将晶圆一片一片拿取并放置于另一机台上，以进行另一道工序。
[0004]在一片一片地拿取载具上叠置的晶圆的过程中，由于相互贴靠的晶圆之间没有空气，再加上晶圆的重量较轻，因此容易受到大气压力而导致晶圆与晶圆之间相互吸附。换句话说，由于相邻的几个晶圆之间会产生吸附现象，于是拿取位于叠置晶圆最外侧的晶圆时往往会有多片晶圆同时往外移动，在受到重力作用后，晶圆开始分离，被晶圆吸附但未被工具拿取的晶圆就将脱落，造成晶圆的破片、缺角等不良品的产生。
[0005]因此，如何解决叠置晶圆拿取过程中因吸附现象导致的晶圆破片、缺角等不良率高的问题已成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。
【实用新型内容】
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种吸笔，用于解决现有技术中太阳能电池的制造过程中晶圆破损率高、良品率低、生产成本高等问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种吸笔，所述吸笔至少包括:
[0008]手持件；
[0009]抽气单元，所述抽气单元包括连接于所述手持件的抽气管，所述抽气管的一端连接抽气设备、另一端设置有抽气口 ；
[0010]送气单元，所述送气单元包括连接于所述手持件的送气管，所述送气管的一端连接送气设备、另一端设置有送气口。
[0011]优选地，所述抽气单元还包括安装于所述抽气口的盘件，所述抽气管吸取晶圆时，所述晶圆贴靠于所述盘件的表面。
[0012]更优选地，所述盘件设置有一供所述晶圆贴靠的贴靠表面，所述抽气管穿设于所述盘件，所述抽气口设置于所述贴靠表面。
[0013]优选地，所述抽气单元还包括设置于所述抽气管的控制空气流通的抽气控制阀。
[0014]更优选地，所述抽气管包括依次连接的第一抽气段、第二抽气段及第三抽气段；所述第二抽气段安装于所述手持件内；所述第一抽气段连接于所述抽气设备与所述第二抽气段之间；所述第三抽气段为所述第二抽气段在所述手持件外的延伸段，所述第三抽气段末端为所述抽气口 ；所述抽气控制阀设置于所述手持件上，并与所述第二抽气段连接。
[0015]优选地，所述送气单元还包括设置于所述送气管的控制空气流通的送气控制阀。
[0016]更优选地，所述送气管包括依次连接的第一送气段、第二送气段及第三送气段；所述第二送气段安装于所述手持件内；所述第一送气段连接于所述送气设备与所述第二送气段之间；所述第三送气段为所述第二送气段在所述手持件外的延伸段，所述第三送气段末端为所述送气口 ；所述送气控制阀设置于所述手持件上，并与所述第二送气段连接。
[0017]优选地，所述手持件呈杆状。
[0018]优选地，所述抽气单元还包括设置于所述抽气管的控制空气流通的抽气控制阀；所述送气单元还包括设置于所述送气管的控制空气流通的送气控制阀；所述抽气控制阀及所述送气控制阀通过按压连板连接，以实现所述抽气控制阀与所述送气控制阀的同步控制。
[0019]优选地，所述抽气单元可通过所述抽气设备来控制所述抽气管的空气流通；以及所述送气单元可通过所述送气设备来控制所述送气管的空气流通。
[0020]如上所述，本实用新型的吸笔，具有以下有益效果:
[0021]本实用新型的吸笔通过送气管可对多个叠置晶圆进行吹气，以使最外侧的晶圆与其余晶圆分离，避免拿取最外侧晶圆时吸附其他晶圆，并在移动过程中导致晶圆脱落的问题，可减少晶圆的破损机率，从而提升太阳能电池制造中的良品率并降低生产成本。
【附图说明】
[0022]图1显示为本实用新型实施例一中提供的吸笔的侧视示意图。
[0023]图2显示为本实用新型实施例一中提供的吸笔的立体示意图。
[0024]图3?图5显示为本实用新型实施例一中提供的吸笔工作原理示意图。
[0025]图6显示为本实用新型实施例二中提供的吸笔的立体示意图。
[0026]元件标号说明
[0027]I吸笔
[0028]2手持件
[0029]3抽气单元
[0030]31抽气管
[0031]310抽气口
[0032]311第一抽气段
[0033]312第二抽气段
[0034]313第三抽气段
[0035]32盘件
[0036]321贴靠表面
[0037]33抽气控制阀
[0038]4送气单元
[0039]41送气管
[0040]410送气口
[0041]411第一送气段
[0042]412第二送气段
[0043]413第三送气段
[0044]42送气控制阀
[0045]5按压连板
[0046]7晶圆
[0047]71晶圆顶面
[0048]81抽气设备
[0049]82送气设备
[0050]83载具
【具体实施方式】
[0051]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0052]请参阅图1?图6。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0053]实施例一
[0054]如图1?图5所示，本实用新型提供一种吸笔I，所述吸笔I连接于抽气设备81及送气设备82，用于一片一片地吸取多个叠置晶圆中位于最外侧的晶圆7，多个叠置晶圆通常放置于一个载具83上。所述吸笔I包括:一个手持件2及安装于所述手持件2的抽气单元3和送气单元4。
[0055]具体地，在本实施例中，所述手持件2呈杆状，以方便使用者握持，但在实际操作中，所述手持件2的形状不限于本实施例所列举的杆状，只要可实现使用者对所述吸笔I握持的结构均可，在此不一一赘述。
[0056]所述抽气单元3包括贯穿于所述手持件2的抽气管31，所述抽气管31的一端连接抽气设备81 ;所述抽气管31的另一端连接盘件32 ;连接于所述抽气管31，用于控制所述抽气管31中空气是否流通的抽气控制阀33。
[0057]具体地，所述抽气管31包括抽气口 310，以及依次连接的第一抽气段311、第二抽气段312和第三抽气段313。所述第二抽气段312安装于所述手持件2内；所述第一抽气段311连接于所述抽气设备81与所述第二抽气段312之间；所述第三抽气段313为所述第二抽气段312在所述手持件2外的延伸段，所述第三抽气段313末端为所述抽气口 310。
[0058]具体地，所述盘件32设置于所述第三抽气段313末端，并具有一个贴靠表面321，在本实施例中，所述盘件32与所述第三抽气段313位于同一平面。所述第三抽气段313穿设于所述盘件32，所述第三抽气段313的末端呈90度弯曲，但不以此角度为限，使所述抽气口 310位于所述贴靠表面321，所述贴靠表面321可供最外侧的晶圆顶面71贴靠。
[0059]具体地，所述抽气控制阀33设置于所述手持件2上，并且与所述抽气管31的第二抽气段312连接。
[0060]所述送气单元4包括贯穿于所述手持件2的送气管41，所述送气管41的一端连接送气设备82 ;以及连接于所述送气管41，用于控制所述送气管41中空气是否流通的送气控制阀42。
[0061]所述送气管41包括送气口 410，以及依次连接的第一送气段411、第二送气段412和第三送气段413。所述第二送气段412安装于所述手持件2内；所述第一送气段411连接于所述送气设备82与所述第二送气段412之间；所述