集成传感器的封装结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种集成传感器的封装结构。
【背景技术】
[0002]集成传感器是一种内部集成了多个传感器单元的传感器芯片(例如由压力传感器单元和温度传感器单元集成的集成传感器)，并且作为一个能够同时实现多种传感功能的独立的芯片进行使用。目前集成传感器的封装一般是将其各个传感器单元的MEMS传感器芯片和ASIC芯片贴装于基板上，最终封装在一个腔体内进行集成，例如图1和图2所示:外壳2覆盖在第一基板I上围成一个大的腔体，腔体内设置有贴装在第一基板I上的两个传感器单元。其中一个传感器单元包括MEMS传感器芯片3和ASIC芯片5，两者之间通过引线4电连接，AISC芯片5通过引线连接至第一基板I。另一个传感器单元包括MEMS传感器芯片8和ASIC芯片7，两者之间同样通过引线电连接，AISC芯片7通过引线连接至第一基板I。外壳2设有传感器单元传感所需的开口 6，第一基板I的背面设有焊盘9，传感器单元通过焊盘9与外部电路电连接。
[0003]现有集成传感器的这种封装方式是将集成传感器的全部传感器单元封装在一个腔体内，对于其中某些容易受到干扰的ASIC芯片，其它传感器单元会对其造成电、磁、热、光的干扰，严重影响该传感器单元的性能和集成传感器的整体性能。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种在集成传感器中屏蔽某些ASIC芯片以防止其受到其它传感器单元的干扰的新的技术方案。
[0005]本实用新型提出了一种集成传感器的封装结构，包括:第一基板和第一外壳，所述第一外壳与所述第一基板围成第一封装腔体；设置在所述第一封装腔体内的多个传感器，每个所述传感器均包括MEMS传感器芯片和与所述MEMS传感器芯片电连接的ASIC芯片；在所述第一封装腔体的内部，至少一个所述传感器的ASIC芯片的外部设有屏蔽结构。
[0006]优选的，所述屏蔽结构包括包裹ASIC芯片电连接部分的绝缘胶和完全覆盖ASIC芯片的导电胶屏蔽罩。
[0007]优选的，设有屏蔽结构的ASIC芯片在其底部与所述第一基板上的电路电连接，并且通过所述第一基板上的电路分别与其对应的MEMS传感器芯片和外部电路电连接。
[0008]优选的，所述屏蔽结构包括设置于ASIC芯片外部的第二外壳，所述第二外壳和所述第一基板围成第二封装腔体以将ASIC芯片隔离的封装在所述第二封装腔体内部。
[0009]优选的，多个所述传感器中的敏感传感器的ASIC芯片的外部设有所述屏蔽结构，或者为干扰源的传感器的ASIC芯片的外部设有所述屏蔽结构。
[0010]优选的，多个所述传感器包括压力传感器、麦克风、以及湿度传感器；其中，所述麦克风的ASIC芯片和所述湿度传感器的ASIC芯片的外部分别设有所述屏蔽结构，或者所述压力传感器的ASIC芯片的外部设有所述屏蔽结构。
[0011]优选的，所述传感器直接设置于所述第一基板上或者通过第二基板设置于所述第一基板上。
[0012]本实用新型通过对集成传感器中的容易受到干扰的ASIC芯片的外部设置屏蔽结构，使其与其它传感器单元隔离封装，避免集成传感器中的其它传感器单元对其影响干扰，有效提升了该传感器单元的性能和集成传感器的整体性能。
【附图说明】
[0013]被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本实用新型的实施例，并且连同其说明一起用于解释本实用新型的原理。
[0014]图1、2是现有集成传感器封装结构的结构示意图。
[0015]图3、4是本实用新型集成传感器的封装结构的第一实施例的结构示意图。
[0016]图5是本实用新型集成传感器的封装结构的第二实施例的结构示意图。
[0017]图6是本实用新型集成传感器的封装结构的第三实施例的结构示意图。
[0018]图7是本实用新型集成传感器的封装结构的制造工序的示意图。
【具体实施方式】
[0019]现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到:除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。
[0020]以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。
[0021]对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
[0022]在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
[0023]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0024]集成传感器中包括多个传感器单元，其中某些传感器单元相对更为敏感，即更容易受到集成传感器中的其它传感器单元的干扰，这些容易受到其它传感器单元干扰的传感器单元为“敏感传感器”，会对敏感传感器造成干扰的传感器单元为“为干扰源的传感器”。本实用新型可以对这些敏感传感器的ASIC芯片设置屏蔽结构，也可以对为干扰源的传感器的ASIC芯片设置屏蔽结构。例如在一个包括压力传感器、麦克风、以及湿度传感器的集成传感器中，压力传感器会释放电磁信号和热能成为干扰源，麦克风的ASIC芯片会容易被压力传感器释放出的电磁信号所干扰，湿度传感器的ASIC芯片会容易被压力传感器释放出的热能所干扰，所以本实用新型会分别在麦克风的ASIC芯片和湿度传感器的ASIC芯片的外部设置屏蔽结构；或者，在另一实施例中也可以在为干扰源的压力传感器的ASIC芯片的外部设置屏蔽结构，这样也能够达到屏蔽压力传感器对其它传感器的干扰的技术效果。在本实用新型公开的基础上，本领域技术人员可以根据实际应用产品和环境确定其它敏感的需要屏蔽的ASIC芯片，这些也应当属于本实用新型的保护范围内。
[0025]参考图3和图4所示为集成传感器封装结构的第一实施例，包括:第一基板I和第一外壳2，第一外壳2与第一基板I围成第一封装腔体。设置在第一封装腔体内的两个传感器单元，第二传感器单元包括MEMS传感器芯片8和ASIC芯片7，两者之间通过一引线电连接，AISC芯片7同样通过一引线连接至第一基板I。第一传感器单元包括MEMS传感器芯片3和ASIC芯片5，AISC芯片5通过焊接或者金属打线等方式在AISC芯片5的底部与第一基板I上的电路电连接，MEMS传感器芯片3通过引线4同样连接至第一基板I上的电路，这样ASIC芯片5就可以分别通过第一基板I上的电路分别与其对应的MEMS传感器芯片3以及外部电路电连接，这样的连接方式有利于后续对ASIC芯片5进行屏蔽处理