激光谐振器及具有该谐振器的激光发生器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光谐振器，尤其涉及一种激光谐振器及具有该谐振器的激光发生器。
【背景技术】
[0002]激光器是能发射激光的装置。按工作介质可分为气体激光器、固体激光器、半导体激光器和染料激光器4大类。近来还发展了自由电子激光器，大功率激光器通常都是脉冲式输出。
[0003]其中，气体激光器一般是以气体(CO2、N2、He)作为工作介质，通过对气体施加直流高压，使得气体分子碰撞激发，形成低能级向高能级跃迀，释放光子形成激光。气体激光器一般包括谐振器、反射镜、输出镜、真空泵、热交换器等，然而，目前的谐振器，其结构复杂、固定不牢固、安装不方便，此外，其谐振效果差，导致激光器输出功率低。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足而提供一种激光谐振器及具有该谐振器的激光发生器。
[0005]本实用新型解决现有技术问题所采用的技术方案是:一种激光谐振器，包括:
[0006]两相对的固定板；
[0007]储气管，所述储气管的一端固定安装于两所述固定板之一上，另一端固定安装于两所述固定板中的另一固定板上；
[0008]放电管，所述放电管与所述储气管平行安装于两所述固定板之间，且所述放电管的两端分别通过进气管与所述储气管连通，以将从所述储气管引入混合气体，所述放电管的中部连接有回气管；
[0009]固定座，所述固定座固定安装于所述储气管上，且所述固定座上设有支撑架，所述支撑架固定支撑所述放电管。
[0010]优选地，所述放电管包括多段玻璃管及将多段所述玻璃管连通的电极套，所述支撑架固定连接于所述电极套。
[0011]优选地，所述电极套包括正极套及负极套，所述正极套和负极套分别为多个，多个所述正极套分别连接一所述支撑架。
[0012]优选地，所述固定板为方形，两相对的所述固定板之间连接至少三个横向支撑杆。
[0013]优选地，所述放电管为两根，两根所述放电管平行安装于两所述固定板之间。
[0014]优选地，两所述固定板之一上设有反射镜座，两所述固定板中的另一固定板上设有输出镜座。
[0015]一种激光发生器，包括:
[0016]机架；
[0017]如上所述的激光谐振器，所述激光谐振器安装于所述机架的上部；
[0018]罗茨泵，所述罗茨泵安装于所述机架的下部，且所述罗茨泵的进气口通过一第一热交换器连接至所述放电管的回气管；所述罗茨泵的排气口通过一第二热交换器连接至所述储气管。
[0019]优选地，所述第一热交换器具有一第一入气口及一第一出气口，所述第一入气口与所述放电管的回气管连通，所述第一出气口与所述罗茨泵的进气口连通。
[0020]优选地，所述第二热交换器具有一第二入气口及两个第二出气口，所述第二入气口与所述罗茨泵的排气口连通，两所述第二出气口分别通过一排气管连通至所述储气管。
[0021]本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的激光谐振器及具有该谐振器的激光发生器，其中，激光谐振器中放电管通过储气管上的支撑架支撑固定，可以简化谐振器的结构，结构更加简单紧凑，减少整个激光发生器的体积，同时，可确保谐振器的结构更加牢固。此外，其谐振效果更好，可提高激光发生器的输出功率等。
【附图说明】
[0022]图1是本实用新型实施例激光谐振器的一个视角的结构示意图；
[0023]图2是本实用新型实施例激光谐振器的另一个视角的结构示意图；
[0024]图3是本实用新型实施例激光发生器的结构示意图。
[0025]附图标记:
[0026]固定板10 ；
[0027]发射镜座101 ；
[0028]输出镜座102 ；
[0029]横向支撑杆11;
[0030]储气管20 ；
[0031]进气管21;
[0032]固定座22;
[0033]支撑架23 ；
[0034]放电管30;
[0035]玻璃管301 ；
[0036]正极套302 ；
[0037]负极套303 ；
[0038]回气管31 ；
[0039]激光谐振器100 ；
[0040]机架200 ；
[0041]罗茨泵300;
[0042]第一热交换器400 ；
[0043]第二热交换器500。
[0044]本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
【具体实施方式】
[0045]下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
[0046]在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0047]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0048]在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0049]参照图1至图2所示，本实用新型实施例提供了一种激光谐振器100，包括两相对的固定板10、一储气管20、放电管30及固定座22。
[0050]两固定板10呈相对的状态，用于安装储气管、放电管30等结构。储气管20的一端固定安装于两固定板10之一上，另一端固定安装于两固定板10中的另一固定板10上。也就是说，储气管20是安装在两固定板10之间的，一般的，该储气管20采用金属材质制成。
[0051]放电管30与储气管20平行安装于两固定板10之间，且放电管30的两端分别通过进气管21与储气管连通，以将从储气管20引入混合气体，放电管30的中部连接有回气管31。也就是说，放电管30是与储气管20连通的，储气管20内的混合气体可以进入至放电管30内，也就是，储气管20与放电管30连通，实现气体的循环更新。
[0052]固定座22固定安装于储气管20上，且固定座22上设有支撑架23，支撑架23固定支撑放电管30。也就是说，固定座22是直接安装在储气管20上的，而储气管20 —般为金属材质，具有较高的强度，将固定座22直接安装在储气管20上之后，可以通过固定座22上的支撑架23对放电管30进行支撑固定，如此，可以确保放电管30固定牢固可靠。
[0053]在本实用新型的一个实施例中，放电管30包括多段玻璃管301及将多段玻璃管301连通的电极套，支撑架23固定连接于电极套。也就是说，放电管30是采用玻璃管301制成，同时，为了能够实现为放电管30内的气体施加直流高压，所以，采用多段玻璃管301通过电极套连接的方式，一方面，电极套可以连通玻璃管301形成放电腔体，另一方