一种用于二氧化碳激光器的漏粒子收集装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光器技术领域，特别涉及一种用于二氧化碳激光器的漏粒子收集装置。
【背景技术】
[0002]二氧化碳激光器有比较大的功率和比较高的能量转换效率，谱线也比较丰富，在10微米附近有几十条谱线的激光输出，在工业、军事、医疗、科研等方面得到了广泛的应用。
[0003]二氧化碳激光器是以二氧化碳气体作为工作物质的气体激光器，放电管内充以二氧化碳气体和其他辅助气体，电极设置在放电管的两端，激光器还包括有储气管，在储气管的一端设置有反射镜片，另一端设置有输出镜片。当在放电管两端的电极上加高电压时，放电管中产生辉光放电，经反射镜片和输出镜片反射后形成激光束。
[0004]在进一步的研究中，本申请的发明人发现，目前的二氧化碳激光器依然存在着较大的问题，具体为，在二氧化碳激光器工作时，输出镜片的寿命较短，也就直接影响了二氧化碳激光器的使用寿命；并且在使用一定时间后，激光器输出激光质量降低，影响使用质量。
[0005]为了解决上述问题，本申请的发明人进行了深入的研究，发明人发现，目前结构的二氧化碳激光器，在放电管中产生辉光放电时，放电管内具有极高的电场，正粒子受电场加速撞击阴电极，会引起阴电极材料的溅射和蒸发，同时，正粒子在被电场加速撞击阴电极时，部分溅射或由于惯性形成漏粒子射向输出镜片所在的方向，阴电极溅射出的和蒸发出的粒子，以及正粒子部分溅射或由于惯性射向输出镜片所在的方向的粒子统称为漏粒子，由于阴电极距离输出镜片距离较近，这些漏粒子会对输出镜片造成冲击，降低其反射效率和激光束输出效率，同时，漏粒子也可能会沉积附着在输出镜片上，降低输出镜片的光洁度，也进一步的降低了输出镜片的反射效率和激光束输出效率。
[0006]所以，正是由于上述原因，在目前的二氧化碳激光器结构中，输出镜片的使用寿命受到了影响，也直接降低了激光器的使用寿命以及激光束的输出质量。
[0007]所以，基于上述问题，目前亟需一种能够提高输出镜片使用寿命，进而提高二氧化碳激光器的使用寿命，以及激光束输出质量的装置。
【发明内容】
[0008]本实用新型的目的在于:针对现有二氧化碳激光器存在的上述问题，提供一种能够提高输出镜片使用寿命，进而提高二氧化碳激光器的使用寿命，以及激光束输出质量的
目.ο
[0009]为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为:
[0010]一种具有漏粒子收集装置的二氧化碳激光器，包括有放电管和输出镜片，所述放电管上设置有阴电极，所述阴电极与所述输出镜片之间设置有漏粒子收集装置，所述漏粒子收集装置设置的位置保证其不阻挡的激光束。[0011 ] 在本申请的上述方案中，在放电管中产生辉光放电时，放电管内具有极高的电场，正粒子受电场加速撞击阴电极，会产生漏粒子，由于设置了漏粒子收集装置，漏粒子收集装置收集这些漏粒子，减小漏粒子对输出镜片造成的冲击，同时也减少了漏粒子沉积附着在输出镜片上的可能，使得输出镜片的使用寿命增加，进而提高激光器的使用寿命，并且，输出镜片的光洁度能够得到良好的保证，所以也提高了激光束的输出质量。
[0012]作为优选，所述漏粒子收集装置与所述阴电极导电连接。
[0013]在本申请的上述方案中，由于漏粒子带有正电荷，所以，在本申请中，漏粒子收集装置与阴电极导电连接，提高漏粒子收集装置收集阴电极溅射出的粒子以及漏粒子的能力，进一步的提高输出镜片的使用寿命增加，进而提高激光器的使用寿命，并且，输出镜片的光洁度能够得到良好的保证，所以也提高了激光束的输出质量。
[0014]作为优选，所述漏粒子收集装置包括有与所述阴电极导电连接的连接体，所述连接体上设置有若干凸起。
[0015]在本申请的上述方案中，在连接体上设置凸起，进一步的提高漏粒子收集装置收集漏粒子的能力。
[0016]作为优选，所述凸起具有尖角。
[0017]在上述方案中，凸起具有角尖，基于尖端放电的原理，进一步的提高本申请的漏粒子收集装置收集漏粒子的能力。
[0018]作为优选，所述连接体一端与所述阴电极连接，另一端与所述输出镜片相配合。此处连接体的一端与阴电极的连接，可以是连接体直接套设在阴电极之上，也可以是连接体与阴电极之间隔开设置，然后通过导电体连接阴电极与连接体。
[0019]在上述方案中，连接体与输出镜片相配合，使得连接体尽量靠近输出镜片，尽量多的收集漏粒子，进一步的提高本申请漏粒子收集装置收集漏粒子的能力。
[0020]作为优选，所述连接体与所述输出镜片之间为间隙配合连接。避免本申请的漏粒子收集装置刮伤输出镜片，提高激光器的可靠性。
[0021]作为优选，所述连接体为空心的筒体，所述连接体为空心的筒体，所述连接体设置在所述阴电极与输出镜片之间，所述凸起设置在所述连接体的内壁。
[0022]在本申请的上述方案中，连接体设置在阴电极与输出镜片之间，首先是方便了漏粒子收集装置的连接，同时由于连接体为空心筒状，进而避免了对激光束的阻挡；更为重要的是，连接体具有较大的表面积，并且设置在阴电极与输出镜片之间，进而，进一步的提高了本申请漏粒子收集装置收集漏粒子的能力。
[0023]作为优选，所述凸起与所述连接体为一体式结构，所述凸起的尖角向所述连接体内部翘起。
[0024]在本申请的上述方案中，由于连接体和凸起尖角的共同作用，进一步的提高本申请漏粒子收集装置收集漏粒子的能力。
[0025]作为优选，所述漏粒子收集装置为钛材料或钛合金材料制得。
[0026]在上述方案中，本申请的发明人发现钛材料或钛合金材料在受到漏粒子冲击时，溅射量和蒸发量极小，几乎可以忽略不计，进一步的提高了本申请漏粒子收集装置收集漏粒子的能力。
[0027]综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是:
[0028]1、漏粒子收集装置收集漏粒子，减小漏粒子对输出镜片造成的冲击，同时也降低了漏粒子沉积附着在输出镜片上的可能，使得输出镜片的使用寿命增加，进而提高激光器的使用寿命；