声波器件和模块的制作方法

文档序号:11138015阅读:来源:国知局
技术总结
声波器件和模块。一种声波器件包括:支撑基板;压电基板,所述压电基板在室温下接合在所述支撑基板的上表面上并且由与所述支撑基板不同的材料制成;梳状电极,所述梳状电极形成在所述压电基板的上表面上并且激发声波;以及非晶层,所述非晶层形成在所述支撑基板与所述压电基板之间。

技术研发人员:森谷亮;川内治
受保护的技术使用者:太阳诱电株式会社
文档号码:201610607908
技术研发日:2016.07.28
技术公布日:2017.02.15

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