一种用于电化学成像测量的电磁屏蔽装置的制作方法

本实用新型属于电磁屏蔽技术领域，具体涉及一种用于电化学成像测量的电磁屏蔽装置。

背景技术：

扫描电化学显微镜(Scanning Electrochemical Microscopy,SECM)是显微镜的一种，其基于电化学原理工作，可测量微区内物质氧化或还原所给出的电化学电流。可用于研究导体和绝缘体基底表面的几何形貌、生物过程及对材料进行微加工、微区电化学动力学、分辨不均匀电极表面的电化学活动、固液及液液界面的氧化还原活性等，应用广泛。

扫描电化学显微镜装置由化学部分(电解池、探头、基底、各种电极和双恒电位仪)、压电驱动器以及计算机组成。具体是利用探针在靠近样品(样品可以是导体、绝缘体或半导体)处进行扫描，从而获得对应的微区电化学和相关信息。在这个过程中，由于探针尖端的尺度一般是几十个微米甚至更小，所以被测物质氧化或还原所给出的电化学电流信号非常微弱，达到纳安(nA)甚至皮安(pA)级别，这样大小的电流非常容易受到电磁波和外界环境的干扰。而现有的扫描电化学显微镜，如CHI920并没有提供配套的电磁屏蔽装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的是解决现有技术中扫描电化学显微镜的探针没有电磁屏蔽装置，导致电流信号容易受到电磁波和外界环境的干扰的问题，提供一种用于电化学成像测量的电磁屏蔽装置。

本实用新型解决上述技术问题采取的技术方案如下。

用于电化学成像测量的电磁屏蔽装置，包括主体件、前闭合件、左闭合件和右闭合件，主体件、前闭合件、左闭合件和右闭合件的材料均为电磁屏蔽材料；

所述主体件由顶部闭合件和后闭合件组成，所述顶部闭合件为底端开口的 中空结构，顶部闭合件的顶端设有安装孔，侧面设有走线孔；所述后闭合件由主板、左侧板、右侧板和间隔板组成，左侧板和右侧板分别固定在主板相对的两条边上，间隔板的三个侧面分别固定在主板、左侧板和右侧板上，将后闭合件分隔为上下两部分，位于间隔板上方的左侧板和右侧板及下方的左侧板和右侧板上均分别设有凸台，凸台内设有第二安装孔，第二安装孔内固定有磁铁；

所述前闭合件与后闭合件的结构相同，只是前闭合件的间隔板的另一个侧面上还设有开口；

所述后闭合件的主板、左侧板和右侧板分别有一个侧面与顶部闭合件的底端开口的一部分固定连接，前闭合件通过磁铁与后闭合件接触，前闭合件的前板、左侧板和右侧板分别有一个侧面与顶部闭合件的底端开口的另一部分接触，后闭合件的间隔板与前闭合件的间隔板接触，使主体件和前闭合件形成两个腔体，主体件和前闭合件组合为第一组合件；

所述左闭合件和右闭合件结构相同，分别由前板、后板、侧板和顶板组合，所述前板和后板分别固定在侧板相对的两条边上，顶板为凹字形，凹字形开口在顶板的一个侧面上，凹陷部分的内壁上固定有多个弹性滚珠，顶板的另外三个侧面分别与前板、后板和侧板固定连接；

所述左闭合件和右闭合件的凹陷部分能够组合，形成封闭图形，图形的尺寸与第一组合件的横截面的尺寸配合，左闭合件和右闭合件组合后形成的第二组合件套在第一组合件外，将第一组合件的下腔体的侧面围住。

进一步的，所述顶板上固定有把手。

进一步的，所述左闭合件和右闭合件的底端分别固定有多个弹性滚珠。

进一步的，所述顶部闭合件和后闭合件一体化成型。

进一步的，所述电磁屏蔽材料为铜、铁或者铝。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的电磁屏蔽装置结构小巧、简单，主体结构通过磁吸式方式固定，安装和拆卸方便，便携又低廉，且电磁屏蔽装置能随探针一起移动，便于实验。

附图说明

图1是本实用新型的电磁屏蔽装置的装配示意图；

图2是本实用新型的电磁屏蔽装置的分解示意图；

图3a、图3b、图3c分别本实用新型的电磁屏蔽装置的主体件的俯视图、主视图、左视图；

图4a、图4b分别是本实用新型的电磁屏蔽装置的前闭合件的主视图、俯视图。

图5a、图5b、图5c分别是本实用新型的电磁屏蔽装置的左闭合件的主视图、俯视图、仰视图；

图中，1、主体件，11、顶部闭合件，111、第一安装孔，112、走线孔，12、后闭合件，2、前闭合件，21、主板，22、左侧板，23、右侧板，24、间隔板，241、开口，25、凸台，251、第二安装孔，3、左闭合，31、前板，32、后板，33、侧板，34、顶板，341、弹性滚珠，4、右闭合件，5、把手。

具体实施方式

以下结合具体实施方式进一步说明本实用新型。

如图1、2、3a-3c、4a-4b和5a-5c所示，本实用新型的用于电化学成像测量的电磁屏蔽装置，包括主体件1、前闭合件2、左闭合3和右闭合件4。

其中，主体件1由顶部闭合件11和后闭合件12组成。顶部闭合件11为底端开口的中空结构，一般形状为方体形，顶端的四角有三角形切面，顶部闭合件1的顶端设有第一安装孔111，用于电磁屏蔽装置的固定，侧面设有走线孔112，用于探针走线。后闭合件12由主板21、左侧板22、右侧板23和间隔板24组成，一般主板21、左侧板22和右侧板23均为长方形，左侧板22和右侧板23的长边与主板21的宽边长度相等，左侧板22和右侧板23的长边分别垂直固定在主板21两条宽边上；间隔板24一般为长方形，间隔板24的三个侧面分别固定在主板21、左侧板22和右侧板23上，另一个侧面裸露在外，间隔板24将后闭合件2分隔为上下两部分，位于间隔板24上方和下方的左侧板22和右侧板23上分别设有凸台25，凸台25内设有第二安装孔251，第二安装孔251内固定有磁铁，通常磁铁是通过502胶粘结固定的。

前闭合件2与后闭合件12的结构相同，只是前闭合件2的间隔板24的裸露在 外的侧面上还设有开口241，为探针提供通道。

上述后闭合件12的主板、左侧板22和右侧板23分别有一个侧面与顶部闭合件11的底端开口的一部分固定连接，前闭合件2通过磁铁与后闭合件12接触，前闭合件2的前板21、左侧板2和右侧板23分别有一个侧面与顶部闭合件1的底端开口的另一部分接触，且后闭合件12的间隔板24与前闭合件2的间隔板24接触，使主体件1和前闭合件2形成两个腔体，成为第一组合件，间隔板24下方的腔体置于电解池中，探针经前闭合件2的间隔板24的开口241穿过，进行检测，间隔板24上方的腔体一般高于电解池，用于辅助电磁屏蔽效果。需要说明的是，在实际过程中，顶部闭合件11和后闭合件12通常一体化成型。

左闭合件3和右闭合件4结构相同，分别由前板31、后板32、侧板33和顶板34组成，一般前板31、后板32、侧板33和顶板34皆为长方形，前板31和后板32的宽边分别固定在侧板33相对的两条宽边上，且保证三者的长边在同一平面内；顶板34为凹字形，凹字形的开口在顶板34的一条长边上，凹陷部分的内壁上固定有多个弹性滚珠341，为了防止装置移动过程中，左闭合件3/右闭合件4与主体件1发生刚性接触，摩擦力过大，顶板34的另一条长边固定在侧板33的长边上，顶板34的两条宽边分别固定在前板31和后板32的一条宽边上。

上述左闭合件3和右闭合件4的凹陷部分相对，组合成第二组合体，凹陷部分形成封闭长方形，图形的尺寸与第一组合件的横截面的尺寸配合，第二组合件套在第一组合件外，且通过弹性滚珠341分隔不接触，将第一组合件2的下腔体的侧面围住，增强电磁屏蔽效果。

本实施方式中，为了左闭合件3和右闭合件4的拆合方便，顶板34上可以设定把手5。为了防止装置移动过程中，前闭合件2和平台发生刚性接触，摩擦力过大，左闭合件3和右闭合件4的底端设定有多个弹性滚珠341。

本实用新型中，由于装置起电磁屏蔽作用，因此主体件1、前闭合件2、左闭合件3和右闭合件4均由电磁屏蔽性材料制备，优先铜、铁、铝，更优选铝。