一种支撑垫片及设有该支撑垫片的铜质导管的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种支撑垫片及设有该支撑垫片的铜质导管。

背景技术：

镀膜工序是指在制备太阳能电池过程中制备氮化硅薄膜，其作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时也起到表面钝化和体钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。镀膜主要以等离子体增强化学气相沉淀（PECVD）的方法，如Roth&Rau设备，该设备在恒定磁场和恒定电场的控制下，与高频电磁场发生相互作用，把从恒定电场中获得能量转变成微波能量，微波通过铜天线传输到腔体内，延石英管中的铜管形成线性微波源，激发反应气体成为等离子体，在硅片表面沉积异常均匀的氮化硅薄膜。

其中等离子体的发生装置是磁控头，是微波发生装置，其核心为磁控管，是一个置于恒定磁场中的二极管。管内电子在相互垂直的恒定磁场和恒定电场的控制下，与高频电磁场发生相互作用，把从恒定电场中获得能量转变成微波能量，从而达到产生微波能的目的。微波通过铜天线传输到腔体内，延石英管中的铜管形成线性微波源。而在生产、维护过程中，铜管会由于重力或其他外力因素，发生形变，影响微波传输及能量均匀，导致形变处镀膜颜色异常。

有鉴于此，开发一种支撑垫片及设有该支撑垫片的Roth&Rau铜质导管，解决现有技术中铜质导管易变形导致镀膜颜色不均匀的缺陷，显然是有必要的。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种支撑垫片及设有该支撑垫片的铜质导管，解决现有技术中铜质导管易变形导致镀膜颜色不均匀的缺陷。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种支撑垫片，包括圆弧结构，所述圆弧结构上设有至少5个方向朝外的支撑直杆，

所述支撑直杆均匀的分布在所述圆弧结构上，

所述圆弧结构的圆心角的范围为240°~300°。

优选地，所述圆心角的范围为270°~300°。

进一步技术方案中，所述圆心角为288°。

优选地，所述圆弧结构上设有5个方向朝外的支撑直杆。

优选地，所述圆弧结构上设有6个方向朝外的支撑直杆。

优选地，所述圆弧结构为聚四氟乙烯圆弧。

优选地，所述支撑直杆为聚四氟乙烯支撑直杆。

本实用新型还提供了一种设有支撑垫片的铜质导管，包括铜质导管，所述铜质导管的外部套设有复数个上述支撑垫片，相邻所述支撑垫片之间的间距相等。

优选地，所述铜质导管外部套设有3个支撑垫片。

优选地，所述铜质导管外部套设有5个支撑垫片。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1.本实用新型设有均匀分布的支撑直杆，避免铜管在石英管内发生形变，使得沉积薄膜膜厚、折射率均匀性好，减少色差返工；

2.本实用新型结构简单，成本低，适合推广。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图。

图2是本实用新型实施例二的结构示意图。

其中：1、圆弧结构；2、支撑直杆。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：

参见图1所示，一种支撑垫片，包括圆弧结构1，圆弧结构1上设有5个方向朝外的支撑直杆2，

支撑直杆2均匀的分布在所述圆弧结构1上，

圆弧结构1的圆心角为288°。

本实施例中，圆弧结构1为聚四氟乙烯圆弧。

本实施例中，支撑直杆2为聚四氟乙烯支撑直杆。

本实施例还提供了一种设有该支撑垫片的铜质导管，包括铜质导管，铜质导管的外部套设有3个支撑垫片，相邻所述支撑垫片之间的间距相等。

实施例二：

参见图2所示，一种支撑垫片，包括圆弧结构1，圆弧结构1上设有6个方向朝外的支撑直杆2，

支撑直杆2均匀的分布在所述圆弧结构1上，

圆弧结构1的圆心角为300°。

本实施例中，圆弧结构1为聚四氟乙烯圆弧。

本实施例中，支撑直杆2为聚四氟乙烯支撑直杆。

本实施例还提供了一种设有该支撑垫片的铜质导管，包括铜质导管，铜质导管的外部套设有4个支撑垫片，相邻所述支撑垫片之间的间距相等。