一种声表面波滤波器反射栅结构的制作方法

文档序号:12844846阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种声表面波滤波器反射栅结构,包括压电基底(6);所述压电基底(6)之上制作有叉指换能器(1);所述叉指换能器(1)两侧为反射栅(2);还包括连接所述叉指换能器(1)和所述反射栅(2)的汇流条(4);其特征在于,在所述反射栅(2)的外侧、所述汇流条(4)的末端还连接有多根补偿反射栅(3);所述补偿反射栅(3)平行于所述反射栅(2);所述补偿反射栅(3)的宽度宽于所述反射栅(2)。

2.如权利要求1所述的声表面波滤波器反射栅结构,其特征在于,所述补偿反射栅(3)有2~6根。

3.如权利要求1所述的声表面波滤波器反射栅结构,其特征在于,多根所述补偿反射栅(3)的宽度相等,相邻的补偿反射栅(3)的间隔距离相等。

4.如权利要求1所述的声表面波滤波器反射栅结构,其特征在于,由靠近所述反射栅(2)到远离所述反射栅(2)的方向,相邻的补偿反射栅(3)的间隔距离越来越宽。

5.如权利要求1所述的声表面波滤波器反射栅结构,其特征在于,所述补偿反射栅(3)的宽度是所述反射栅(2)的宽度的5~10倍。

6.如权利要求5所述的声表面波滤波器反射栅结构,其特征在于,所述反射栅(2)的宽度为0.25um,所述补偿发射栅(3)的宽度为4um。

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