技术总结
本实用新型涉及一种等离子体发生装置和一种半导体处理设备，所述等离子体发生装置包括：微波发生装置；石英管，自所述微波发生装置内穿过；所述石英管两端均连接至旋转接头，用于通过所述旋转接头连通至气体管路；所述旋转接头包括固定部和旋转部，所述旋转部与所述石英管端部连接使得所述石英管可旋转，所述固定部用于连接至气体管路。所述微波发生装置的石英管寿命较长。
技术研发人员：李垚;陈伏宏;易飞;刘家桦;叶日铨
受保护的技术使用者：德淮半导体有限公司
技术研发日：2018.08.14
技术公布日：2019.01.25