一种真空涂层设备用模块化加热装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及真空涂层设备的加热领域，特别涉及一种真空涂层设备用模块化加热装置。


背景技术：

[0002]
真空涂层设备中,通常使用加热器对真空室进行加热,而现有真空涂层设备加热器一般根据真空室内壁形状来进行排布，不同内壁加热器的形状不同，另外密封方式采用正负极分别穿过真空室壁，在真空室外密封的方式，接线方式为螺母压紧独立接线方式。真空涂层一段时间后，加热器的表面会形成很厚一层涂层，需要接下来保养，拆卸比较麻烦，接线也存在一定安全隐患，另外各个位置加热器大小不同，不能互换，做备品也比较麻烦。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的是提供一种真空涂层设备用模块化加热装置，具有方便拆卸加热器、加热器接线更加安全、加热器可以设为统一大小方便多台真空设备互换的优点。
[0004]
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0005]
一种真空涂层设备用模块化加热装置，包括真空室和若干位于真空室上的加热装置；
[0006]
每个所述加热装置均包括加热器、加热器挡板、螺母挡板、保护套、航空插头、拧紧螺丝；
[0007]
所述加热器位于真空室内部，所述加热器与真空室内部相接触处设有加热器挡板，所述加热器与加热器挡板固定连接，所述真空室的室壁上开设有穿孔，所述保护套的一端设有外螺纹，所述保护套设有外螺纹的一端部分穿过穿孔与加热器挡板固定连接，所述保护套的外螺纹位于真空室外的部分螺纹连接有螺母挡板，所述螺母挡板上开设有若干第一螺纹孔，所述第一螺纹孔内均螺纹连接有拧紧螺丝，所述拧紧螺丝与真空室外侧壁相抵；
[0008]
所述保护套连接有航空插头，所述航空插头的正极与加热器的正极相连接，所述航空插头的负极与加热器的负极相连接。
[0009]
其中优选方案如下：
[0010]
优选的：所述加热器挡板与真空室内壁相抵处设有加热器密封圈，所述加热器挡板与真空室内壁相抵触开设有环形槽，所述环形槽内设有加热器密封圈，所述加热器密封圈与环形槽形状一一对应，所述环形槽的深度小于加热器密封圈的厚度。利用加热器密封圈隔绝加热器挡板与真空室内壁之间的缝隙，而加热器密封圈的厚度是大于环形槽的深度的，因此在将加热器挡板固定的时候，加热器密封圈被挤压，能很好的填补加热器挡板与真空室内壁之间的缝隙，同时，为了保证加热器密封圈不被高温熔化，因此，加热器密封圈使用的是耐高温材料。
[0011]
优选的：所述螺母挡板与真空室外侧壁的之间固定设有替换板，所述替换板与保护套上的滑动连接，所述替换板上开设有若干穿孔,每个所述穿孔内均设有螺丝，所述真空
室外侧壁上开设有若干与穿孔一一对应的第二螺纹孔,所述螺丝与螺纹孔螺纹连接。拧紧螺丝反复抵压替换板，时间长了上面会有很多凹坑，可以用新的替换掉，如果没有这块替换板，真空室外壁会有很多压痕，修复困难或无法修复。
[0012]
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
[0013]
通过加热器挡板、保护套、螺母挡板的设置，能够起到方便拆卸加热器的效果；通过固定螺母与螺丝的设置，能够起到二次固定加热器的效果；通过加热器密封圈的设置，能够起到对真空室内密封的效果；通过航空插头与保护套的设置，能够起到保证拆卸加热器时安全的效果。本实用新型具有方便拆卸加热器、加热器接线更加安全、加热器可以设为统一大小方便多台真空设备互换的优点。
附图说明
[0014]
图1是实施例中的整体结构图；
[0015]
图2是实施例中图1的部分剖视图。
[0016]
图中，1、真空室；2、加热装置；211、加热器；212、加热器挡板；213、螺母挡板；214、保护套；215、航空插头；216、拧紧螺丝；217、加热器密封圈；218、替换板；219、螺丝。
具体实施方式
[0017]
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
[0018]
其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0019]
根据图1-2所示，一种真空涂层设备用模块化加热装置2，包括真空室1和若干位于真空室1上的加热装置2；
[0020]
每个加热装置2均包括加热器211、加热器挡板212、螺母挡板213、保护套214、航空插头215、拧紧螺丝216和加热器密封圈217；
[0021]
加热器211位于真空室1内部，加热器211与真空室1内部相接触处设有加热器挡板212，加热器211与加热器挡板212固定连接，真空室1的室壁上开设有穿孔，保护套214的一端设有外螺纹，保护套214设有外螺纹的一端部分穿过穿孔与加热器挡板固定连接，保护套214的外螺纹位于真空室1外的部分螺纹连接有螺母挡板213，螺母挡板213上开设有若干第一螺纹孔，第一螺纹孔内均螺纹连接有拧紧螺丝216，拧紧螺丝216与真空室1外侧壁相抵。
[0022]
保护套214与加热器挡板212的固定连接方式为焊接，焊接可以使保护套214与加热器挡板212的连接更加牢固；保护套214与加热器挡板212的固定连接方式还可以为螺纹连接，加热器挡板212上开设有螺纹圆槽，螺纹圆槽的直径与真空室1的室壁上开设的穿孔一一对应，保护套214设有外螺纹的一端部分穿过穿孔与加热器挡板212螺纹连接并与螺纹圆槽内部底壁相抵。将保护套214与加热器挡板212螺纹连接，从真空室1内部通过穿孔，将保护套214未设有外螺纹的一端穿过穿孔，将螺母挡板213从保护套214未设有外螺纹的一端套设进保护套214，并与保护套214螺纹连接，将螺母挡板213转到与真空室1外侧壁相抵，在螺母挡板213上螺纹连接有螺母挡板213，转动螺母挡板213，使螺母挡板213远离螺母头的一端与真空室1外侧壁相抵，达到使加热装置2固定的效果。在加热器挡板212的螺纹圆槽
的底壁上开设有两个小型圆孔，供线路经过。
[0023]
该加热器211包含加热管和加热丝，加热管固定位于加热器挡板212上，加热丝在加热管里用绝缘粉绝缘。
[0024]
加热器挡板212与真空室1内壁相抵处设有加热器密封圈217，加热器挡板212与真空室1内壁相抵触开设有环形槽，环形槽内设有加热器密封圈217，加热器密封圈217与环形槽形状一一对应，环形槽的深度小于加热器密封圈217的厚度。利用加热器密封圈217隔绝加热器挡板212与真空室1内壁之间的缝隙，而加热器密封圈217的厚度是大于环形槽的深度的，因此在将加热器挡板212固定的时候，加热器密封圈217被挤压，能很好的填补加热器挡板212与真空室1内壁之间的缝隙，同时，为了保证加热器密封圈217不被高温熔化，因此，加热器密封圈217使用的是耐高温材料。
[0025]
保护套214连接有航空插头215，航空插头215的正极与加热器211的正极相连接，航空插头215的负极与加热器211的负极相连接。加热器211连接保护套214，保护套214位于真空室1外侧的一端连接有航空插头215，在拆卸加热器211的时候不需要重新连线，仅仅需要拔掉航空插头215，保证了拆卸的安全性。
[0026]
螺母挡板213远离真空室1外侧壁的一侧上设有替换板218，所述替换板218与保护套214上的滑动连接，所述替换板218上开设有若干穿孔,每个所述穿孔内均设有螺丝219，所述真空室1外侧壁上开设有若干与穿孔一一对应的第二螺纹孔,所述螺丝219与螺纹孔螺纹连接。拧紧螺丝216反复抵压替换板218，时间长了上面会有很多凹坑，可以用新的替换掉，如果没有这块替换板218，真空室1外壁会有很多压痕，修复困难或无法修复。
[0027]
本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。