技术特征：
1.一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1)采用酒精和乙醚的混合液浸湿脱脂棉花擦拭清洁整流罩凹面；2)将步骤1)清洁后的整流罩固定在旋转涂胶机上，凹面朝上，用滴管将正性光刻胶滴在整流罩凹面，先手动旋转整流罩，使正性光刻胶匀满整个整流罩凹面，再启动旋转涂胶机进行自动旋涂；3)将步骤2)凹面涂有光刻胶的整流罩放入烘烤箱中烘烤后取出；4)将步骤3)烘烤后的整流罩安装在同心扫描激光直写曝光设备上，启动对心，实现转轴交点与零件球心重合；开启经纬线刻划，完成周期性经纬图案的曝光；5)将步骤4)曝光后的整流罩浸没在显影液中显影50s-60s；6)将步骤5)显影后的整流罩置于真空室中，用离子源轰击整流罩3～5分钟后，依次蒸镀铬层和金层；7)将丙酮滴至步骤6)镀有金膜的整流罩凹面上，并采用丙酮浸湿脱脂棉花擦洗整流罩，得到整流罩凹面金属网栅。2.根据权利要求1所述一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，其特征在于：步骤1)中，酒精和乙醚的质量比为3-4∶6-7，根据环境湿度调整，湿度大时，增加乙醚用量。3.根据权利要求1或2所述一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，其特征在于：步骤2)中，自动旋涂的转速为1000r/s-1500r/s，时间为1-2min。4.根据权利要求3所述一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，其特征在于：步骤3)中，烘烤温度为80-100℃，时间为20min-30min。5.根据权利要求4所述一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，其特征在于：步骤5)中，所述显影液采用浓度为4-5
‰
的naoh。6.根据权利要求5所述一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，其特征在于：步骤6)中，所述真空室中抽真空至1
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10-3
pa。7.根据权利要求6所述一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，其特征在于：步骤6)中，蒸镀铬层时的蒸发速率为0.3nm/s，厚度为10nm～20nm，膜层厚度采用晶振法监控；蒸镀金层采用离子束辅助电子束蒸镀，蒸发速率为1nm/s，厚度为100nm～150nm，膜层厚度采用晶振法监控。8.一种整流罩凹面金属网栅，其特征在于：采用权利要求1-7任一所述制作方法制作。
技术总结
本发明提供一种整流罩凹面金属网栅的制作方法，解决现有整流罩凹面金属网工艺复杂、设备成本高、工艺参数难控制，存在球面均匀性难保证，涂胶、曝光难的技术问题。包括以下步骤：1)采用酒精和乙醚的混合液浸湿脱脂棉花清洁整流罩凹面；2)将整流罩固定在旋转涂胶机上，用滴管将正性光刻胶滴在整流罩凹面，先手动旋转整流罩，再启动旋转涂胶机旋涂；3)将整流罩放入烘烤箱中烘烤后取出；4)将整流罩安装在同心扫描激光直写曝光设备上，启动对心，开启经纬线刻划；5)将整流罩浸没在显影液中显影50S-60S；6)将整流罩置于真空室中，用离子源轰击整流罩后，依次蒸镀铬层和金层；7)将丙酮滴至整流罩凹面上，擦洗整流罩，得到整流罩凹面金属网栅。金属网栅。金属网栅。
技术研发人员：古华 梁雪驰 王一坚 李鹏 陈志航 吕一帆
受保护的技术使用者：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
技术研发日：2021.11.05
技术公布日：2022/2/15