行拍摄的基板相机48。基板相机48读取定位后的基板Κ的基准标记，检测基板Κ的定位误差。由此，校正基板Κ上的坐标值，准确地进行安装元件的位置的控制。
[0035]元件相机5在基板搬运装置2与元件供给装置3之间的机台9的上表面处朝向上方地设置。元件相机5对在各头45?47从元件供给装置3向基板Κ上移动的中途吸附拾取的元件的状态进行拍摄检测。当元件相机5检测出元件的吸附位置的误差、旋转角的偏差等时，根据需要对元件安装动作进行微调，废弃安装困难的元件。
[0036]元件安装机1具备省略图示的控制计算机。控制计算机基于以生产的基板的种类与安装的元件的元件种类的对应关系为代表的各设计信息、基板相机47、元件相机5的拍摄数据及省略图示的传感器的检测信息等，控制元件安装动作。
[0037]接下来，对元件移载装置4的头保持部44、单吸嘴头45及两种多吸嘴头46、47的结构以及头保持部44保持各头45?47的方法进行说明。在第一实施方式中，多吸嘴头46,47也被称作回转头，通过旋转而依次选择多个吸嘴，依次进行元件的吸附拾取及向基板的安装。此外，多吸嘴头不限定于回转头，也可以是将多个吸嘴配置为一列而成的头、将多个吸嘴排列成矩阵状而成的头。
[0038]图2是从斜下方向上观察头保持部44的立体图。如图所示，头保持部44具有向下方延伸的圆柱状的R轴441。在R轴441的下侧的中央形成开口而形成中央供给路442。在中央供给路442的周围的圆周上以90°间距配置并形成开口而形成4个周围供给路443。中央供给路442及周围供给路443皆向下方突出形成，在突出的周围外嵌有气密用的0型环 446。
[0039]在比周围供给路443进一步靠外周的圆周上，以90°间距朝向下方突出设置有四个圆棒状的卡合部件444。卡合部件444的上侧延伸进入到R轴441内，且在下端具有卡定部445。卡定部445沿圆周方向水平弯曲，在侧视下成为L字状或J字状。卡合部件444能够相对于R轴441上下移动，由省略图示的气缸沿上下方向驱动。在R轴441的上侧设有Θ轴驱动齿轮447，进一步在其上侧设有R轴驱动齿轮448。R轴驱动齿轮448与R轴441结合。因此，R轴441在通过省略图示的R轴马达来驱动R轴驱动齿轮448旋转时，与保持于下侧的头45?47 —并旋转。
[0040]图3是从斜上方向下观察单吸嘴头45的立体图。单吸嘴头45是以能够更换的方式具有一个吸嘴的头。如图3所示，单吸嘴头45由圆板状的凸缘部451及从凸缘部451的中央向下方延伸的吸嘴座452等构成。在吸嘴座452的下侧，省略图示的吸嘴被保持为能够上下移动并且能够更换。在凸缘部451的上表面中央形成开口而形成中央供给路453。中央供给路453与保持于吸嘴座452的吸嘴连通。在中央供给路453的周围的圆周上以90°间距形成有四个凹陷形状的周围封闭部454。在比周围封闭部454更靠外周的圆周上以90°间距贯穿设置有四个卡合长孔455。卡合长孔455沿着圆周方向弯曲并延伸，并且在孔的内部具有沿圆周方向进入的被卡定部456。单吸嘴头45配备在设于元件安装机1的机台9上的头更换台(省略图示)上。
[0041]在此，对头保持部44保持单吸嘴头45的方法进行说明。首先，头驱动部将头保持部44驱动至头更换台(省略图示)的单吸嘴头45的正上方。接下来，当头保持部44的气缸将卡合部件444向下方驱动时，卡合部件444的下端的卡定部445嵌入到单吸嘴头45的卡合长孔455。第三步，若在头保持部44处R轴马达经由R轴驱动齿轮448驱动R轴441旋转，则卡合部件444的卡定部445从横向嵌入到卡合长孔455的被卡定部456。第四步，若气缸将卡合部件444向上方驱动，则在被卡定部456与卡定部445卡定的状态下，单吸嘴头45整体上升。由此，头保持部44能够在单吸嘴头45与R轴441的下侧相接的状态下进行保持。
[0042]在头保持部44保持有单吸嘴头45的状态下，两者44、45的中央供给路442、453相互连通。另外，头保持部44的四个周围供给路443被单吸嘴头45的四个周围封闭部454封闭。另外，通过使R轴441旋转，单吸嘴头45的下侧的吸嘴也旋转。
[0043]图4是从斜上方向下观察4多吸嘴头46的立体图。4多吸嘴头46是以能够更换的方式具有四个吸嘴的头。如图4所示，4多吸嘴头46由头主体460、圆筒齿轮461及4组吸嘴座462等构成。圆筒齿轮461具有在圆筒外周面上沿轴长方向延伸的齿轮齿(省略图示)，在头主体460的上侧被同轴支承为能够相对旋转。在头主体460的周围以90°间距将4组吸嘴座462配置为能够上下移动。在各吸嘴座462的下侧将省略图示的吸嘴保持为能够更换。在各吸嘴座462的上侧配置有卡合片467及Θ轴齿轮463。卡合片467通过省略图示的Z轴驱动机构进行升降驱动，由此吸嘴进行升降。Θ轴齿轮463与内周侧的圆筒齿轮461的外周面的齿轮齿啮合为能够沿上下方向滑动。
[0044]在头主体460的上表面的中央形成开口而形成中央供给路464。在中央供给路464的周围的圆周上以90°间距配置并形成开口而形成四个周围供给路465。在比周围供给路465更靠外周的圆周上以90°间距贯穿设置有四个卡合长孔466。卡合长孔466采用与单吸嘴头45的卡合长孔455相同的形状，具有被卡定部。
[0045]在4多吸嘴头46的内部，针对每个吸嘴座462设有省略图示的切换阀。为了操作切换阀，阀操作片46A设置在比各吸嘴座462靠下方的位置。4组吸嘴座462通过R轴441的旋转选择性地转位到与预定的旋转相位相当的吸附位置或安装位置。位于吸附位置或安装位置的吸嘴座462能够使卡合片467与省略图示的Z轴驱动机构卡合而进行升降，进一步能够使阀操作片46A与省略图示的阀切换机构卡合而进行切换操作。由此，该吸嘴座462的切换阀能够使保持的吸附喷与中央供给路464或周围供给路465选择性地连通。4多吸嘴头46也配备在头更换台(省略图示)上。
[0046]在此，头保持部44保持4多吸嘴头46的方法与保持单吸嘴头45的方法类似。图5是表示头保持部44保持4多吸嘴头46之前的状态的来自侧面方向的立体图。根据图5的状态，头保持部44的R轴441下降而进入到4多吸嘴头46的圆筒齿轮461内。并且，通过使头保持部44的卡合部件444嵌入到4多吸嘴头46的卡合长孔466，头保持部44在4多吸嘴头46与R轴441的下侧相接的状态下进行保持。
[0047]此时，两者44、46的中央供给路442、464相互连通。此外，头保持部44的四个周围供给路443与4多吸嘴头46的四个周围供给路465相互连通。另外，头保持部44的Θ轴驱动齿轮447与4多吸嘴头46的圆筒齿轮461卡合。由此，当Θ轴驱动齿轮447通过省略图示的Θ轴马达进行旋转驱动时，经由圆筒齿轮461及Θ轴齿轮463驱动吸嘴旋转。
[0048]图6是从斜上方向下观察12吸嘴头47的立体图。12多吸嘴头47是以能够更换的方式具有12个吸嘴的头。如图6所示，12多吸嘴头47由头主体470、圆筒齿轮471及12组吸嘴座472等构成。圆筒齿轮471在圆筒外周面上具有沿轴长方向延伸的齿轮齿(省略图示)，在头主体470的上侧同轴支承为能够相对旋转。在头主体470的周围以30°间距将12组吸嘴座472配置为能够上下移动。在各吸嘴座472的下侧，以能够更换的方式保持有省略图示的吸嘴。在各吸嘴座472的上侧配置有卡合片477及Θ轴齿轮473。卡合片477通过省略图示的z轴驱动机构进行升降驱动，使吸嘴升降。Θ轴齿轮473以能够沿上下方向滑动的方式与内周侧的圆筒齿轮471的齿轮齿啮合。
[0049]在有底筒状部471的底面的内侧中央形成开口而形成中央供给路474。在中央供给路474的周围的圆周上以90°间距配置并形成开口而形成四个周围供给路475。在比周围供给路475更靠外周的圆周上以90°间距贯穿设置有四个卡合长孔476。中央供给路474、周围供给路475及卡合长孔476的形状分别与4多吸嘴头46的中央供给路464、周围供给路465及卡合长孔466 —致。
[0050]在12多吸嘴头47的内部，针对每个吸嘴座472设有切换阀478(参照图10)。为了操作切换阀478，将阀操作片47A设置在比各吸嘴座472靠下方的位置。12组吸嘴座472通过R轴441的旋转而选择性地转位至与预定的旋转相位相当的吸附位置或安装位置。位于吸附位置或安装位置的吸嘴座472能够使卡合片477与省略图示的Z轴驱动机构卡合而进行升降，进一步能够使阀操作片47A与省略图示的阀切换机构卡合而进行切换操作。由此，该吸嘴座462的切换阀478能够使保持的吸嘴479 (参照图10)与中央供给路474或周围供给路475选择性地连通。12多吸嘴头46也配备在头更换台(省略图示)上。
[0051]头保持部44保持12多吸嘴头46的方法与保持4多吸嘴头46的方法相同。图7是表示头保持部44保持有12多吸嘴头47的状态的侧向剖视图。如图所示，头保持部44的R轴441进入到12多吸嘴头47的圆筒齿轮471。并且，头保持部44在使12多吸嘴头47与R轴441的下侧相接的状态下进行保持。
[0052]此时，两者44、46的中央供给路442、474相互连通。另外，头保持部44的四个周围供给路443与12多吸嘴头47的四个周围供给路475相互连通。如图7所示，外嵌于头保持部44的中央供给路442的0型环446与12多吸嘴头47的中央供给路474的内周面压接，由此确保气密。基于0型环的气密的确保对于在图中无法观