振动装置、电子设备以及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种振动装置、具备该振动装置的电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]—直以来，作为对加速度、角速度、物体的姿态等的物理量进行检测的装置，公知有一种将压电振子等作为物理量检测元件而对物理量进行检测的物理量检测装置。此种物理量检测装置被构成为，通过朝向检测轴方向的力的作用从而在物理量检测元件的共振频率产生变化时，根据该共振频率的变化而对施加于物理量检测装置上的力进行检测。
[0003]在专利文献1中公开有一种物理量检测装置(振动装置)，所述物理量检测装置(振动装置)具备:悬臂(基台)，其以隔着接头部的方式而具备固定部和可动部；物理量检测元件(振动元件)，其以跨及固定部和可动部的方式而被固定于基台上，所述振动装置采用了如下结构，即，为了使检测灵敏度提高，从而在基台的可动部上搭载了锤。
[0004]但是，专利文献1所述的振动装置存在如下问题，即，当通过粘合剂等而将锤连接于基台的可动部上时，会产生因粘合剂的硬化收缩而导致的应力，从而存在该应力向振动元件传递而使输出中重叠有误差成分的问题。
[0005]专利文献1:日本特开2014-10045号公报
【发明内容】
[0006]本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，其能够作为以下的方式或应用例而实现。
[0007]应用例1
[0008]本应用例所涉及的振动装置的特征在于，具备:基台，其具有固定部和与所述固定部连接的可动部；振动元件，其具有第一基部、第二基部和振动臂，所述振动臂的一端被连接于所述第一基部上而另一端被连接于所述第二基部上，并且，所述第一基部被固定于所述固定部上，所述第二基部被固定于所述可动部上；锤部，其被连接于所述可动部上；应力缓和部，其被设置于所述锤部的连接区域和所述振动臂之间。
[0009]根据本应用例，由于在接合以及连接有振动元件的第二基部和锤部的可动部中，在连接有锤部的连接区域和振动臂之间设置有应力缓和部，因此由于因连接锤部的连接部件的硬化收缩而产生的应力不易向接合有振动臂的区域直接传递，因此能够减少在振动臂的频率变化等的输出中重叠有随着应力而产生的误差成分的情况。因此，能够获得具有高精度特性的振动装置。
[0010]应用例2
[0011]上述应用例所涉及的振动装置的特征在于，所述应力缓和部为槽以及贯穿孔中的至少一方。
[0012]根据本应用例，由于通过将应力缓和部设为槽或贯穿孔的结构，从而能够较容易地加工制造，因此能够获得低成本的振动装置。
[0013]应用例3
[0014]上述应用例所涉及的振动装置的特征在于，所述应力缓和部被设置于所述基台上。
[0015]根据本应用例，由于通过将应力缓和部设置于接合以及连接有振动元件的第二基部和锤部的基台上，从而使得因连接锤部的连接部件的硬化收缩而产生的应力不易通过振动臂而向基台传递，因此能够进一步减小应力的影响。
[0016]应用例4
[0017]上述应用例所涉及的振动装置的特征在于，所述应力缓和部被设置在所述第二基部的周围。
[0018]根据本应用例，由于通过将应力缓和部配置于接合以及连接有振动元件的第二基部和锤部的基台上且第二基部的周围，从而使得因连接锤部的连接部件的硬化收缩而产生的应力不易通过振动臂而向基台传递，因此能够进一步减小应力的影响。
[0019]应用例5
[0020]上述应用例所涉及的振动装置的特征在于，在将与所述振动臂所延伸的方向正交的方向设为第一方向时，所述应力缓和部的所述第一方向上的长度与所述第二基部的所述第一方向上的长度相比而较大。
[0021]根据本应用例，由于通过使应力缓和部的宽度大于第二基部的宽度，从而使得因连接锤部的连接部件的硬化收缩而产生的应力不易通过振动臂而向基台传递，因此能够进一步减小应力的影响。
[0022]应用例6
[0023]本应用例所涉及的电子设备的特征在于，具备上述应用例所述的振动装置。
[0024]根据本应用例，能够构成具备了具有高精度特性的振动装置的电子设备。
[0025]应用例7
[0026]本应用例所涉及的移动体的特征在于，具备上述应用例所述的振动装置。
[0027]根据本应用例，能够构成具备了具有高精度特性的振动装置的移动体。
【附图说明】
[0028]图1为本发明的第一实施方式所涉及的振动装置的模式俯视图。
[0029]图2为沿着图1中的A-A线的模式剖视图。
[0030]图3为本发明的第二实施方式所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0031]图4为沿着图3中的B-B线的模式剖视图。
[0032]图5为本发明的第三实施方式所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0033]图6为本发明的第四实施方式所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0034]图7为本发明的第五实施方式所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0035]图8为本发明的第五实施方式的改变例1所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0036]图9为本发明的第五实施方式的改变例2所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0037]图10为本发明的第六实施方式所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0038]图11为本发明的第七实施方式所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0039]图12为本发明的第八实施方式所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0040]图13为本发明的第八实施方式的改变例所涉及的振动装置的可动部的模式俯视图。
[0041]图14为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的振动装置的电子设备的便携型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。
[0042]图15为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的振动装置的便携型电话机(也包括PHS:Personal Handy-phone System，个人移动电话系统)结构的立体图。
[0043]图16为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的振动装置的电子设备的数码照相机的结构的立体图。
[0044]图17为概要性地表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的振动装置的移动体的一个示例的汽车的立体图。
【具体实施方式】
[0045]以下，根据附图而对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在以下所示的各图中存在如下情况，即，为了将各结构要素设定为在附图中能够识别的程度的大小，从而适当地使各结构要素的尺寸或比例与实际的结构要素不同而进行记载。
[0046]振动装置
[0047]第一实施方式
[0048]首先，作为本发明的第一实施方式所涉及的振动装置的一个示例而列举出根据双音叉型振动元件的共振频率变化而对与基台的主面交叉的方向上的加速度进行检测的加速度传感器，并参照图1以及图2对其概要结构进行说明。
[0049]图1为本发明的第一实施方式所涉及的振动装置的模式俯视图。图2为沿着图1中的A-A线的模式剖视图。
[0050]另外，在图1中，为了便于对振动装置1的内部结构进行说明，从而图示了将盖体160卸下的状态。此外，为了便于说明，在以下的图中，作为相互正交的三个轴而图示了 X轴、Y轴、Z轴，并将沿着X轴的方向称作X轴方向，沿着Y轴的方向称作Y轴方向，沿着Z轴的方向称作Z轴方向，并将XY面称作主面。另外，Z轴为表示加速度所施加的方向的轴。
[0051]振动装置的结构
[0052]如图1以及图2所示，本实施方式的振动装置1被构成为，包括:基台10，其具有固定部20、可动部40、并在固定部20和可动部40之间具有接头部30 ;振动元件100，其具有第一基部110、第二基部120以及一端被连接于第一基部110上另一端被连接于第二基部120上的振动臂130，并且第一基部110被固定于固定部20上，第二基部120被固定于可动部40上；锤部90，其被连接于可动部40上；应力缓和部80，其被设置于锤部90的连接区域94和振动臂130之间；封装件140。
[0053]基台
[0054]如图2所示，基台10在一端处具有固定部20并在另一端处具有可动部40，且在固定部20和可动部40之间具备与固定部20或可动部40相比而厚度(Z轴方向上的