一种圆形金属薄膜支撑结构的制作方法

本实用新型涉及电子束辐照加工领域，具体涉及一种圆形金属薄膜支撑结构。

背景技术：

辐照加工时，电子枪射出电子束，并在真空室内扩展形成线性电子束带后，通过贴附在支撑窗开口上的金属薄膜引出至被辐照物质，有效地杀灭害虫、虫卵、病菌等。支撑窗上的金属薄膜需要密封安装，以隔绝真空室，现有技术中的薄膜通常通过夹板固定在支撑窗上，在受到电子束和真空泵的吸力时，薄膜会紧密的贴合在支撑窗上，并且沿着受力方向产生变形，在支撑窗上的贴附效果不好，并且，薄膜在支撑窗的开口内过量的变形，尤其在支撑窗中心位置，容易出现折痕和破裂，薄膜损坏后造成真空破坏，大气进入后导致电子枪烧毁、真空泵损坏、电源损坏，造成重大经济损失。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种圆形金属薄膜支撑结构，为薄膜提供足够的支撑强度的同时具有更好的贴附效果，在抽真空过程中的薄膜不会发生爆裂。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种圆形金属薄膜支撑结构，支撑窗和薄膜，所述支撑窗上设有用于供电子束射出的开口，所述薄膜布置于开口的端面上，所述支撑窗呈圆形，所述开口内设有沿径向间隔设置的若干支撑圈，所述支撑圈的两侧均设有若干用于连接相邻支撑圈的连接条，所述连接条沿周向间隔设置，所述支撑圈与连接条构成供薄膜支撑的支撑区域。

本实用新型的优点在于：圆形的支撑窗更适用于小型的电子出口，在圆形的支撑窗上的开口内布置间隔设置的支撑圈，并且相邻的每个支撑圈之间通过连接条进行连接，支撑圈和连接条构成网格状的支撑区域，当薄膜受到抽真空的压力和电子束的冲击，使薄膜沿着受力方向变形并贴附到支撑区域上，对薄膜起到支撑作用，使得薄膜具有更好的抗电子束冲击和抗抽真空压力的能力，避免薄膜过度变形而发生破裂，提高了支撑窗的结构强度和工作的安全性。

进一步，所述连接条弯曲设置，通过以上改进，提高了支撑窗的抗热应力破坏性，在高温环境下具有更好的稳定性。

进一步，所述支撑圈两侧的连接条分别沿相对或相同方向弯曲设置，通过以上改进，在薄膜贴附至连接条上时，支撑圈之间的连接条能够给予薄膜沿着弯曲方向均匀的变形的趋势，避免薄膜产生不均匀的变形而产生破裂。

进一步，所述支撑区域内设有朝向支撑窗的中心设置的凹面，通过以上改进，支撑区域上设有凹面，使得薄膜能够紧密的贴附在开口内的支撑区域上，使薄膜在受到来自电子束的冲击和抽真空的压力前处于张紧状态，在支撑窗上获得更好的贴附效果，并且凹面均朝向支撑窗的中心下凹设置，使得在抽真空和受到电子束冲击时，薄膜和支撑窗受到的压力均能够沿着凹陷方向得到缓冲，对薄膜起到更好的保护作用。

进一步，最外侧的所述支撑圈的端面与开口的端面呈平滑的过渡曲线连接，通过以上改进，避免了薄膜在开口的周边产生的折痕，使得薄膜的安装更加可靠。

进一步，所述凹面为一抛物线绕支撑窗的中轴线旋转而成，所述抛物线的对称线与支撑窗的中轴线重合，通过以上改进，使得支撑区域呈圆弧状的凹陷，具有更大的贴附面积，使得薄膜在支撑窗上的贴合更加紧密，并获得更好抗冲效果。

进一步，所述支撑圈两侧的连接条交错设置。通过以上改进，当薄膜受到电子束和抽真空的压力时，薄膜紧密的压合在凹面上，连接条交错设置，保证支撑强度的同时，错开薄膜在相邻的支撑区域内产生重合的折痕，使得薄膜在受压时更加稳定可靠，增加了使用寿命。

进一步，所述连接条的两端与支撑圈之间均设有圆弧状的加强部。通过以上改进，加强部的设置，使得第一筋条和第二筋条能起到更好的支撑作用，同时使得支撑窗具有更好的结构强度。

进一步，所述支撑圈和连接条的端面上均设有圆角。通过以上改进，圆角的设置，使得支撑圈与薄膜、连接条与薄膜之间的接触更加圆滑，薄膜与支撑单元具有更大的接触面积，避免了薄膜受压时，在第一筋条的端部引起折痕。

进一步，所述支撑窗的材料为铝合铜，通过以上改进，具有更好的散热效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的薄膜与支撑窗的贴附示意图；

图中：1、薄膜；2、支撑窗；2.1、开口；3、支撑圈；4、连接条；5、加强部；6、圆角；7、凹面；

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应当理解尽管在本文中出现了术语上、中、下、外、内等以描述各种元件，但这些元件不被这些术语限制。这些术语仅用于将元件彼此区分开以便于理解，而不是用于定义任何方向或顺序上的限制。

一种圆形金属薄膜支撑结构，支撑窗2和薄膜1，支撑窗2上设有用于供电子束射出的开口2.1，薄膜1布置于开口2.1的端面上，支撑窗2呈圆形，开口2.1内设有沿径向间隔设置的若干支撑圈3，支撑圈3的两侧均设有若干连接条4，即支撑圈3的内圈和外圈均设有连接条4，且连接条4沿周向间隔设置，相邻的每个支撑圈3之间通过连接条4进行连接，支撑圈3与连接条4构成供薄膜1支撑的支撑区域，支撑区域内设有朝向支撑窗2的中心设置的凹面7，凹面7为一抛物线绕着支撑窗2的中心旋转而成的抛物面，且该抛物线的对称线与支撑窗2的中轴线重合，使得在抽真空和受到电子束冲击时，获得更大的接触面积，具有更好的贴附效果，薄膜1和支撑窗2受到的压力均能够沿着凹陷方向得到缓冲，对薄膜1起到更好的保护作用。

具体的，连接条4弯曲设置，提高了支撑窗2的抗热应力破坏性，在高温环境下具有更好的稳定性，且支撑圈3两侧的连接条4分别沿相同或相对方向弯曲设置，每个连接条4的弯曲弧形相同，在薄膜1贴附至连接条4上时，支撑圈3之间的连接条4能够给予薄膜1沿着弯曲方向均匀的变形的趋势，避免薄膜1产生不均匀的变形而产生破裂。

具体的，最外侧的支撑圈3的端面与开口2.1的端面呈平滑的过渡曲线连接，受力时能够更好的压合在支撑窗2上而不产生破裂，同时避免了薄膜1在开口2.1的周边产生的折痕，使得薄膜1的安装更加可靠。

具体的，第一凹部的端面与第二凹部的端面呈平滑的过渡曲线连接，使得支撑窗2内供薄膜1贴附的整体的端面呈圆弧面的凹陷，使得薄膜1在支撑窗2上的贴合更加紧密，并获得更好抗冲效果。

具体的，所述支撑圈3两侧的连接条4交错设置，当薄膜1受到电子束和抽真空的压力时，薄膜1紧密的压合在凹面7上，保证支撑强度的同时，错开薄膜1在相邻的支撑区域内产生重合的折痕。

具体的，连接条4的两端与支撑圈3之间均设有圆弧状的加强部5，第一筋条和第二筋条能起到更好的支撑作用，同时使得支撑窗2具有更好的结构强度。

具体的，支撑圈3和连接条4的端面上均设有圆角6，圆角6的设置，使得支撑圈3与薄膜1、连接条4与薄膜1之间的接触更加圆滑，薄膜1与支撑单元具有更大的接触面积，避免了薄膜1受压时，在第一筋条的端部引起折痕。

具体的，支撑窗2的材料为铝合铜，具有更好的散热效果。本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。