真空层压机的制作方法

1.本实用新型涉及芯片制造设备领域，特别涉及一种真空层压机。


背景技术：

2.在芯片制造过程中，半固化片等材料需要经由真空层压机1来进行层压加工制得。具体地说，半固化片的原材料在真空层压机1内通过真空叠置压缩而形成半固化片。在该过程中，真空层压机1的内部空间需要承受高温、真空压力条件，为此真空层压机1的门2需要被牢靠紧密地锁紧。
3.参见图1所示的真空层压机1的门2位置处的放大图，为了实现真空层压机1的门2能够紧密锁紧的目的，真空层压机1的门框上设有多个螺栓孔，门2上面设有对应多个通孔3。工人需要人工吊装门2，将门2的通孔3对准螺栓孔后再紧固螺栓，这使得门2的拆装过程较为繁琐，从而影响半固化片的制作速度。
4.除此之外，真空层压机1及其门2具有重量上限要求，因此门2的厚度被限定的目标值之内。厚度相对较小的门2会带来其他问题。具体而言，这类门2仅允许设置孔径不大于10mm的通孔3，超过该直径的通孔3将使得真空层压机1的真空度难以达到要求。而较小孔径的通孔3则导致真空层压机1的所允许使用螺栓的直径也被限定在较小范围内。较小直径的螺栓在经过多次拆装作业后容易使螺栓及门2的通孔3出现脱丝的现象，工人因此需要对门2进行维修作业。
5.此外，较小直径的螺栓导致门2需要设置更多数量，更为密集的螺栓孔，以此来保证真空层压机1在高温、低压条件下的密闭性。这会导致真空层压机1的门2的拆装作业更为繁琐，更换维护成本更高。
6.因此，有必要对现有的真空层压机进行改造设计。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的之一在于提供一种能够便于开启、关闭的真空层压机。
8.本实用新型的目的是通过如下技术方案实现的：一种真空层压机，该真空层压机包括主体框架、门以及闩锁机构。其中，所述主体框架限定所述真空层压机的内部空间，并且包括彼此相对的第一侧壁和第二侧壁，其中，所述第一侧壁和第二侧壁限定所述内部空间的开口。门用于封闭所述开口，且具有彼此相对的第一侧部和第二侧部，其中第一侧部可转动搭接固定在第一侧壁，第二侧部能够搭接在所述第二侧壁。所述闩锁机构包括固定板及锁紧件。其中，固定板附接在门的第二侧部，并且形成有朝向第二侧壁开口的u形槽，u形槽沿板厚贯通。所述锁紧件能够穿过u形槽并固定在主体框架的第二侧壁上，从而使得门的第二侧部抵接在第二侧壁而封闭所述开口。
9.门通过铰接的方式固定在真空层压机的主体框架上，工人拆装过程无需耗费精力去对准门。此外，由于门的螺栓孔改为设置在主体框架的第二侧壁上，门的密封效果不再受到螺栓孔的尺寸限制。并且，设置在第二侧壁的螺栓孔的直径大小不会和真空层压机的内
部空间连通而影响真空层压机的真空度，螺栓孔的直径可以被设置成具有较大尺寸。在此情况下，第二侧壁的螺栓孔的数量能够被设置得更少，工人能够更快地拆装门。并且具有更大尺寸的螺栓以及螺栓孔能够避免脱丝的情况发生。
10.根据本实用新型的一些实施方式，所述固定板的厚度不小于10mm。
11.根据本实用新型的一些实施方式，所述固定板的宽度不小于所述u形槽宽度的4倍。
12.根据本实用新型的一些实施方式，当所述锁紧件卡接所述门时，所述锁紧件与固定板的接合处距离所述门的第二侧部的边缘的间距d1不大于60mm。
13.根据本实用新型的一些实施方式，所述u形槽从所述门的第二侧部突出的尺寸d1不小于80mm。
14.根据本实用新型的一些实施方式，真空层压机的工作压力不小于5mpa。
15.根据本实用新型的一些实施方式，所述闩锁机构还包括固定在第二侧壁的成对吊耳，以及固定在所述成对吊耳上的铰接轴，其中所述锁紧件包括螺栓以及可拆卸地固定在螺栓上的螺母，所述螺栓具有和所述铰接轴配合的通孔。
16.根据本实用新型的一些实施方式，所述螺栓的直径不小于15mm。
17.根据本实用新型的一些实施方式，位于门的同一侧的相邻锁紧件之间的间距d为：
18.30cm≤d≤120cm。
19.根据本实用新型的一些实施方式，当所述真空层压机的工作压力处于40-80torr内时，所述相邻锁紧件之间的间距选自40cm-60cm中的任意值。
20.在符合本领域常识的基础上，上述各优选实施方式，可任意组合，即得本实用新型各较佳实例。通过阅读下列的附图和详细描述本领域技术人员可理解本实用新型的其他系统、方法、特征和优点。目的是所有这种额外的系统、方法、特征和优点包括在本说明书中和本实用新型内容中，且包括在本实用新型的范围内，并被所附权利要求保护。
附图说明
21.为了更好地理解本实用新型的上述及其他目的、特征、优点和功能，可以参考附图中所示的优选实施方式。附图中相同的附图标记指代相同的部件。本领域技术人员应该理解，附图旨在示意性地阐明本实用新型的优选实施方式，对本实用新型的范围没有任何限制作用，图中各个部件并非按比例绘制。
22.图1为现有技术的真空层压机的门的局部放大图，其示出了真空层压机中设有螺栓的位置。
23.图2为本实用新型的真空层压机中设有闩锁机构处的放大图。
24.图3是图2的局部a的左视图。
具体实施方式
25.接下来将参照附图详细描述本实用新型的实用新型构思。这里所描述的仅仅是根据本实用新型的优选实施方式，本领域技术人员可以在所述优选实施方式的基础上想到能够实现本实用新型的其他方式，所述其他方式同样落入本实用新型的范围。在以下的具体描述中，例如“上”、“下”、“内”、“外”、“纵”、“横”等方向性的术语，参考附图中描述的方向使
用。本实用新型的实施例的部件可被置于多种不同的方向，方向性的术语是用于示例的目的而非限制性的。
26.图2示出了根据本实用新型的真空层压机100中设有闩锁机构30处的放大图，图3示出了图2的左视图，为了示出真空层压机100的开口13位置，图2透视性地示出了开口13。如图2、3所示，根据本公开的真空层压机100包括主体框架10、门20以及闩锁机构30等。其中，主体框架10例如可由多根工字梁以及固定在工字梁上的板材等构成，并且包括彼此相对的第一侧壁11和第二侧壁12，其中，第一侧壁11和第二侧壁12限定内部空间的开口13。主体框架10的多根工字梁以及固定在工字梁上的板材共同限定真空层压机100的内部空间。
27.应当理解，主体框架10中工字梁还可替换地为角钢或其他结构。主体框架10上还可增设斜梁等，用作提供主体框架10的整体结构强度。
28.真空层压机100的门20用于封闭开口13。门20具有彼此相对的第一侧部21和第二侧部22，其中第一侧部21可转动搭接固定在主体框架10的第一侧壁11上，第二侧部22则枢转搭接在第二侧壁12上。门20的第一侧部21和主体框架10的第一侧壁11的枢转搭接关系可通过铰链等实现，在此不再赘述。
29.根据本公开的真空层压机100还具有图2、3所示的闩锁机构30，其中，为了清楚展示闩锁机构30，图2中的闩锁机构30的尺寸被放大性地示出。如图2、3所示，闩锁机构30包括固定板31及锁紧件等。其中，固定板31附接在门20的第二侧部22，并且形成有朝向第二侧壁12开口13的u形槽s，u形槽s沿板厚方向贯通。固定板31优选通过焊接、粘接等方式牢固附贴在门20的朝外表面上。固定板31和门20之间应具有足够的接触面积，以此保证固定板31和门20之间的固定连接。固定板31优选采用钢制材质制成，例如由不锈钢制成，以此保证固定板31具有足够的硬度且不易发生锈蚀。
30.锁紧件能够穿过u形槽s并固定在主体框架10的第二侧壁12上，从而使得门20的第二侧部22抵接在第二侧壁12而封闭开口13。在图2、3的实施方式中，锁紧件包括螺栓33以及可拆卸地固定在螺栓33上的螺母32。为了将螺栓33可转动地固定在主体框架10上，主体框架10的第二侧壁12上设有成对的吊耳34，并且成对的吊耳34上设有铰接轴35。紧固件中的螺栓33具有和铰接轴35配合的通孔。在需要封闭主体框架10的开口13时，工人可首先闭合门20，随后转动螺栓33，使得螺栓33沿u形槽s移动。在螺栓33移动到位后，工人将螺母32套在螺栓33上并拧紧即可。打开门20的过程可按照相反顺序完成。
31.在另一些实施方式中，锁紧件不设置螺母32。此时，主体框架10上设有与螺栓33对应的螺栓孔。工人转动门20，使得固定板31的u形槽s与第二侧壁12上的螺栓孔对准，再将螺栓33拧紧。
32.为了实现门20和开口13之间的气密性配合，门20的第一侧部21、第二侧部22和主体框架10的第一侧部21、第二侧部22之间设有常规的密封垫和密封槽。应当理解，在锁紧件锁紧后，密封垫能够嵌入密封槽内。密封垫以及对应的密封槽属于常规技术，在此不再赘述。
33.对于本公开的固定板31，其厚度优选被设定成不小于10mm，例如12mm、13mm、14mm等等，使得紧固件对固定板31施加较大的紧固力的时候，固定板31不会被压弯变形。
34.除此之外，固定板31的宽度优选地被设定成不小于u形槽s宽度的4倍。参见图2，在本公开中，固定板31的宽度、u形槽s的宽度是指在真空层压机100的高度方向上的对应部
件、机构的尺寸。
35.进一步参见图2，为了避免多次拆装门20、真空层压机100多次后，附接在门20上的固定板31由于受螺栓33所施加的较大紧固力而从门20脱落或者弯曲，螺栓33和u形槽s的配合位置被限定在一特定范围内。具体地，当锁紧件卡接门20时，锁紧件与固定板31的接合处距离门20的第二侧部22的边缘的间距d1被设定成不大于60mm，例如55mm、50mm、45mm等等。由此，螺栓33紧固在固定板31后，螺栓33的紧固力在固定板31上形成较小的弯矩，固定板31不易发生脱落、弯曲。
36.此外，本公开的u形槽s从门20的第二侧部22突出较大尺寸。具体地，该尺寸d1被设定成不小于80mm，例如85mm、90mm、100mm等等。较大的突出尺寸可以保证螺栓33紧固在固定板31后，螺栓33和固定板31之间具有较大的接触面积，螺栓33不会因为真空层压机100工作过程发生的振动而脱落。特别地，不小于80mm的d1允许工人在螺栓33上套设具有较大尺寸的垫片，以此进一步提供螺栓33和固定板31之间的接合强度。
37.对于螺栓33，其优选被设定成具有不小于15mm的直径，例如16mm、18mm等等。
38.对于如上设置的螺栓33、固定板31，相较于现有技术，由于各个螺栓33的尺寸能够被设定地更大，且能够施加更大的紧固力，本公开的真空层压机100能够设置更少数量的螺栓33也能满足真空层压机100的工作要求。具体而言，门20的同一侧的相邻锁紧件(螺栓33)之间的间距d可被设定在30cm至120cm之间，例如60cm、80cm、100cm等等。
39.相邻的螺栓33之间的间距可根据真空层压机100的工作压力来设定。例如，当真空层压机100的处于40-80torr(托)内时，相邻的锁紧件之间的间距选自40cm-60cm中的任意值，例如50cm、55cm等等。对于工作压力处于上述区间的真空层压机而言，将相邻锁紧件的间距设置在40-60cm范围内的技术方案在可保证锁紧件能够实现良好密封的基础上，减少锁紧件的总量，进而提高工作人员的拆装速度。
40.对于本公开的真空层压机100，锁紧螺栓33所能施加的紧固力较大，因此真空层压机100的工作压力能够被设定成不小于5mpa。
41.如上可知，在本公开的真空层压机100中，门20通过铰接的方式固定在真空层压机100的主体框架10上，工人拆装过程无需耗费精力去对准门20。此外，由于门20的螺栓孔改为设置在主体框架10的第二侧壁12上，门20的密封效果不再受到螺栓孔的尺寸限制。并且，设置在第二侧壁12的螺栓孔的直径大小不会和真空层压机100的内部空间连通而影响真空层压机100的真空度，螺栓孔的直径可以被设置成具有较大尺寸。在此情况下，第二侧壁12的螺栓孔的数量能够被设置得更少，工人能够更快地拆装门20。并且具有更大尺寸的螺栓33以及螺栓孔能够避免脱丝的情况发生。
42.最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
43.附图标记说明：
44.真空层压机：100。
45.主体框架：10。
46.第一侧壁：11。
47.第二侧壁：12。
48.开口：13。
49.门：20。
50.第一侧部：21。
51.第二侧部22。闩锁机构：30。
52.固定板：31。螺母：32。螺栓：33。吊耳：34。铰接轴：35。u形槽：s。