一种对位贴合设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶面板制造技术领域，特别涉及一种对位贴合设备。
【背景技术】
[0002]目前，真空贴合工艺是液晶面板制造过程中的重要步骤，在密闭的真空腔体中，通过上定盘和下定盘分别吸附阵列(Thin Film Transistor，TFT)基板和彩膜(ColorFilter, CF)基板，上定盘和下定盘相向移动，把TFT基板和CF基板压合在一起形成液晶面板。
[0003]在真空贴合工艺中，对位时要精确的检测并控制垂直方向的振动，以提高对位精度。
[0004]目前生产趋势是6代以下产品进行生产液晶屏小型化，越小的尺寸对于对位精度的要求越高，目前5、4.95以下的产品对位精度设计值达到4.75um。因此，对于真空对合机控制振动的要求就更加高，因此，提供一种能够控制垂直方向振动、提高对位精度的对位贴合设备是目前亟需解决的重要问题。
【发明内容】
[0005]本发明提供了一种对位贴合设备，该对位贴合设备能够控制基台在垂直方向的振动，从而可以提高对位精度。
[0006]为达到上述目的，本发明提供以下技术方案:
[0007]一种对位贴合设备，包括:
[0008]底座；
[0009]与所述底座相对设置的基台，所述基台背离所述底座的一侧表面形成支撑面；
[0010]设置于所述底座和基台之间的缓冲件；
[0011]设置于所述底座和基台之间的驱动件；
[0012]设置于所述基台的支撑面的对合单元；
[0013]设置于所述基台以检测所述基台沿垂直于所述支撑面方向的振动信息的振动传感器；
[0014]与所述驱动件、所述振动传感器以及所述对合单元信号连接的控制器，所述控制器用于:
[0015]当所述振动传感器采集的振动信息位于所述控制器设定的阈值范围内时，控制所述驱动件根据形成的调节信号为所述基台提供与其振动方向相反的作用力，以平衡所述基台受到的振动力；
[0016]当所述振动传感器采集的振动信息超出所述控制器设定的阈值范围时，控制所述对合单元根据产生的制动信号停止动作。
[0017]上述对位贴合设备，可以通过振动传感器检测基台沿垂直于支撑面方向的振动信息，并且可以根据振动传感器采集的振动信息通过控制器对对合单元进行控制，即当振动信息位于控制器设定的阈值范围内时，控制器控制驱动件根据形成的调节信号为基台提供与其振动方向相反的作用力，以平衡基台受到的振动力，从而保证精准对位；当振动信息超出控制器设定的阈值范围时，控制器控制对合单元根据产生的制动信号停止动作，以在振动较大时停止对盒过程，从而可以避免对盒过程失败。
[0018]因此，上述对位贴合设备能够控制基台在垂直方向的振动，从而可以提高对位精度。
[0019]优选地，所述驱动件为双向电磁作动器、或者基于材料机敏性的作动器。
[0020]优选地，当所述驱动件为所述基于材料机敏性的作动器时，所述作动器的材料为压电陶瓷、或者压电薄膜、或者电致伸缩陶瓷、或者形状记忆合金、或者磁致伸缩材料。
[0021 ] 优选地，所述缓冲件为空气弹簧。
[0022]优选地，所述振动传感器为压电射流垂直振动感知仪。
[0023]优选地，所述对合单元包括:
[0024]固定于所述基台的支撑面的定位架；
[0025]固定于所述定位架的定贴合板；
[0026]安装于所述定位架的动贴合板；
[0027]驱动所述动贴合板动作的第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述控制器信号连接;
[0028]安装于所述定位架、用于检测所述动贴合板行程的位置检测装置；
[0029]支撑机构，当所述动贴合板相对于所述定贴合板的行程超过设定位置时，所述支撑机构用于支撑于所述定贴合板与所述动贴合板之间。
[0030]优选地，所述位置检测装置为行程开关。
[0031]优选地，所述支撑机构安装于所述定贴合板。
[0032]优选地，所述支撑机构包括:
[0033]固定于所述定贴合板上的固定座，所述固定座背离所述定贴合板的一侧设有滑轨；
[0034]安装于所述固定座、且与所述滑轨滑动配合的支撑柱，所述支撑柱可沿垂直于所述基板支撑面的方向伸缩；
[0035]与所述位置检测装置信号连接、安装于所述固定座以驱动所述支撑柱沿所述滑轨滑动的第二驱动装置。
[0036]优选地，所述支撑柱包括固定杆和伸缩杆，所述伸缩杆可以相对于所述固定杆做伸缩运动、且固定杆和伸缩杆之间连接有缓冲弹簧；所述固定杆的一端与所述固定座上设置的滑轨滑动配合；且当所述支撑柱支撑于所述定贴合板与所述动贴合板之间时，所述伸缩杆的伸出端与动贴合板朝向定贴合板的一面相抵。
[0037]优选地，所述第二驱动装置为气缸。
[0038]优选地，所述气缸包括缸体和伸缩杆，所述缸体固定于所述固定座，所述伸缩杆的伸出端安装于所述支撑柱，所述伸缩杆可相对于所述缸体沿平行于滑轨的方向伸缩。
【附图说明】
[0039]图1为本发明实施例提供的一种对位贴合设备的结构示意图；
[0040]图2为本发明实施例提供的一种对位贴合设备的对合单元结构示意图。
【具体实施方式】
[0041]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0042]请参考图1，图1为本发明实施例提供的一种对位贴合设备的结构示意图。
[0043]如图1所示，本发明实施例提供的一种对位贴合设备，包括:
[0044]底座I ;
[0045]与底座I相对设置的基台2，基台2背离底座的一侧表面形成支撑面21 ；
[0046]设置于底座I和基台2之间的缓冲件3 ；
[0047]设置于底座I和基台2之间的驱动件4 ;
[0048]设置于基台2的支撑面21的对合单元5 ；
[0049]设置于基台2以检测基台2沿垂直于支撑面21方向的振动信息的振动传感器6 ;
[0050]与驱动件4、振动传感器6以及对合单元5信号连接的控制器7，控制器7用于:
[0051]当振动传感器6采集的振动信息位于控制器7设定的阈值范围内时，控制驱动件4根据形成的调节信号为基台2提供与其振动方向相反的作用力，以平衡基台2受到的振动力；
[0052]当振动传感器6采集的振动信息超出控制器7设定的阈值范围时，控制对合单元5根据产生的制动信号停止动作。
[0053]上述对位贴合设备，可以通过振动传感器6检测基台2沿垂直于支撑面21方向即垂直方向的振动信息，并且可以根据振动传感器6采集的振动信息通过控制器7对驱动件4以及对合单元5进行控制，即当振动信息位于控制器7设定的阈值范围内时，控制器7可以根据形成的调节信号控制驱动件4为基台2提供与基台2本身振动方向相反的作用力，以减小基台2的振动幅度，从而提高贴合对位精度；当振动信息超出控制器7设定的阈值范围时，控制器7产生制动信号并控制对合单元5停止动作，以在振动较大时停止贴合过程，从而可以避免贴合过程失败。
[0054]因此，上述对位贴合设备能够控制基台在垂直方向的振动，从而可以提高对位精度。
[0055]如图1所示，一种具体的实施例中，驱动件4应选用对控制器发出的信号可以做出快速响应的器件，具体可以采用双向电磁作动器或者基于材料机敏性的作动器。
[0056]当驱动件4为双向电磁作动器时，控制器7可以控制双向电磁作动器中线圈电流的大小和方向，当基台2向下振动时，通过控制电流的方向，在两线圈上下形成相斥的磁极，由于磁力作用，可以阻止基台2向下振动；当基台2向上振动时，则在两线圈上下形成相吸的磁极，产生的磁场力可以阻止基台2向上的振动。综上所述，双向电磁作动器可以实现抑制基台2振动的作用。
[0057]优选地，当驱动件为基于材料机敏性的作动器时，作动器的材料可以为压电陶瓷、或者压电薄膜、或者电致伸缩陶瓷、或者形状记忆合金、或者磁致伸缩材料等。
[0058]如图1所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，缓冲件3可以为空气弹簧，空气弹簧的缓冲作用可以减弱基台2的振动。
[0059]如图1所示，在上述各实施例的基础上，一种具体的实施例中，振动传感器6可以为压电射流垂直振动感知仪。
[0060]压电射流垂直振动感知仪中，压电陶瓷双晶片随基台2的振动而弯曲振动，使泵室腔体的体积发生增大、