一种屏蔽袋的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于半导体领域，涉及一种屏蔽袋。
【背景技术】
[0002] 目前，正在应用的静电屏蔽袋为三层膜复合结构，请参阅图1，显示为现有屏蔽袋 的膜结构剖视图，自下而上依次包括LDPE+LLDPE层101、铝层102及聚酰胺层103。其中， 所述LDPE+LLDPE层101由LDPE及LLDPE两种材料混合而成。低密度聚乙烯（Low Density Polyethylene，LDPE)是一种塑料材料，它适合热塑性成型加工的各种成型工艺，成型加工 性好。LDPE主要用途是作薄膜产品，还用于注塑制品，医疗器具，药品和食品包装材料，吹 塑中空成型制品等。线性低密度聚乙稀（Linear Low Density Polyethylene，LLDPE)是 乙烯与少量高级α-烯烃（如丁烯-1、己烯-1、辛烯-1、四甲基戊烯-1等）在催化剂作用 下，经高压或低压聚合而成的一种共聚物，密度处于〇. 915~0. 940克/立方厘米之间。常 规LLDPE的分子结构以其线性主链为特征，只有少量或没有长支链，但包含一些短支链。没 有长支链使聚合物的结晶性较高。铝层是柔软的金属薄膜，不仅具有防潮、气密、遮光、耐磨 蚀、保香、无毒无味等优点，而且还因为其有优雅的银白色光泽，易于加工出各种色彩的美 丽图案和花纹。特别是铝膜与塑料和纸复合之后，把铝膜的屏蔽性与纸的强度、塑料的热密 封性融为一体，进一步提高了作为包装材料所必需的对水汽、空气、紫外线和细菌等的屏蔽 性能，大大拓宽了铝膜的应用市场。由于被包装的物品与外界的光、湿、气等充分隔绝，从而 使包装物受到了完好的保护。聚酰胺（P〇lyamide，PA)俗称尼龙（Nylon)，是大分子主链重 复单元中含有酰胺基团的高聚物的总称。聚酰胺可由内酸胺开环聚合制得，也可由二元胺 与二元酸缩聚等得到的。是美国DuPont公司最先开发用于纤维的树脂，于1939年实现工 业化。20世纪50年代开始开发和生产注塑制品，以取代金属满足下游工业制品轻量化、降 低成本的要求。PA具有良好的综合性能，包括力学性能、耐热性、耐磨损性、耐化学药品性和 自润滑性，且摩擦系数低，有一定的阻燃性，易于加工。
[0003] 现有的静电屏蔽袋经过运输、搬运到达客户端后易出现破损、划痕等现象，导致漏 真空、失去防潮防静电效果，遭到多个客户频繁的投诉。重新包装、运输及赔偿等使得成本 上升30%左右，加大了企业的负担。
[0004] 现有的解决办法是：1)操作员在搬运装箱的过程中，需要轻拿轻放，并且在存放 的货架上包上缓冲材料，以避免在棱角的地方磕碰，降低风险；2)每个出货的盒子都包两 层，以保证在客户端没有投诉。
[0005] 然而，现有方法并没有从根本上解决问题，破袋发生的频率仍然较高，同时，每个 盒子包两层屏蔽袋也增加了原物料的使用。
[0006] 因此，如何提供一种新型屏蔽袋，以提高屏蔽袋性能，降低晶圆破损及污染，减少 客户投诉，并降低成本，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。 【实用新型内容】
[0007] 鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种屏蔽袋，用于解 决现有技术中屏蔽袋性能差，在运输、搬运过程中容易出现破损、划痕的问题。
[0008] 为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种屏蔽袋，所述屏蔽袋的膜 结构自下而上依次包括聚乙烯层、聚酰胺层、铝层及PET层。
[0009] 可选地，所述聚乙稀层的厚度范围是0. 1~0. 15mm。
[0010] 可选地，所述聚酰胺层的厚度范围是0· 01~0· 05mm。
[0011] 可选地，所述错层的厚度范围是〇· 001~〇· 02mm。
[0012] 可选地，所述PET层的厚度范围是0.005~0.025_。
[0013] 可选地，所述聚乙烯层的厚度大于总膜厚的一半。
[0014] 可选地，所述聚乙烯层为低密度聚乙烯、线性低密度聚乙烯或高密度聚乙烯。
[0015] 可选地，所述聚乙烯层由低密度聚乙烯、线性低密度聚乙烯及高密度聚乙烯中的 至少两种混合而成。
[0016] 如上所述，本实用新型的掩蔽袋，具有以下有益效果：本实用新型的屏蔽袋的膜结 构自下而上依次包括聚乙烯层、聚酰胺层、铝层及PET层，其中，所述聚乙烯层（PE层）的韧 性及加热契合性较好，有利于提高抽真空及热封的效果；所述聚酰胺层（PA层，尼龙层）具 有抗刺穿、抗拉及隔氧的效果；所述铝层（A1层）具有隔氧、隔气、防潮的效果；所述PET层 具有耐高温、抗拉的效果。本实用新型中，将易于吸附颗粒的聚酰胺层调整到铝层以下，且 最外层使用PET层，可以有效减少掩蔽袋表面吸附的颗粒，同时，本实用新型的屏蔽袋相对 于现有产品，抗刺穿性能和拉伸强度均有显著提高，可以降低晶圆破损及污染、减少客户投 诉，同时可以降低成本，减少原物料的使用、运输成本以及客户损失的赔偿。
【附图说明】
[0017] 图1显示为现有技术中掩蔽袋的膜结构剖视图。
[0018] 图2显示为本实用新型中掩蔽袋的膜结构剖视图。
[0019] 图3显示为测试时将包装盒从11个不同角度跌落的示意图。
[0020] 元件标号说明
[0021] 101 LDPE+LLCPE 层
[0022] 102,，203 铝层
[0023] 103,202 聚酰胺层
[0024] 201 聚乙烯层
[0025] 204 PET 层
【具体实施方式】
[0026] 以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本 说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0027] 请参阅图2及图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用 以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新 型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小 的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新 型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如"上"、"下"、"左"、 "右"、"中间"及"一"等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的 范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的 范畴。
[0028] 如图2所示，本实用新型提供一种屏蔽袋，所述屏蔽袋的膜结构自下而上依次包 括聚乙烯层201、聚酰胺层202、铝层203及PET层204。
[0029] 具体的，在包装时，所述聚乙烯层201作为屏蔽袋的最内膜层。所述聚乙烯层201 的韧性及加热契合性较好，有利于提高抽真空及热封的效果。所述聚乙烯层201在四层膜 中厚度最厚，优选的，所述聚乙烯层201的厚度大于总膜厚的一半。
[0030] 聚乙稀（polyethylene，简称PE)是乙稀经聚合制得的一种热塑性树脂。聚乙稀依 聚合方法、分子量高低、链结构之不同，分高密度聚乙烯、低密度聚乙烯及线性低密度聚乙 烯。低密度聚乙烯（LOW DENSITY POLYETHYLENE，LDPE)俗称高压聚乙烯，因密度较低，材质 最软，主要用在塑胶袋、农业用膜等。高密度聚乙烯（HIGH DENSITY POLYETHYLENE，HDPE) 俗称低压聚乙烯，与LDPE及LLDPE相较