一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层及其制备方法_3

文档序号:8954100阅读:来源:国知局
止运行后,等待5分钟,取出光固化好弹性层的抛光辊,待用。
[0047]
实例7:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层,厚度1.5mm ;用于粗抛工序,该固结磨料抛光棍基体直径294_,宽度为600_,如图1所示。
[0048]拟配制100g的混合物:
(1)准备若干玻璃器皿及搅拌器,
(2)分别称量官能度为3的聚酯丙烯酸酯200g、聚乙二醇二丙烯酸酯200g、1,6-己二醇二丙烯酸酯300g、1-羟基环己基苯基甲酮100g、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯50g、磷酸三丁酯50g、聚醚20g、对羟基苯甲醚10g、直径125Mm的核桃壳粉50g、UV金属底处理剂 20go
[0049](3)将弹性层光固化模具(图2)安装在基体(4)的抛光辊上;
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为60r/min、模具上表面距光源30mm、回转工作台电机转速为60r/min、定时器设置5分钟;
(5)将称量好的官能度为3的聚酯丙烯酸酯200g、聚乙二醇二丙烯酸酯200g、l,6-己二醇二丙烯酸酯300g倒入搅拌器内,搅拌均匀,再倒入光引发剂、促进剂、填料、辅助剂、附着剂,充分搅拌混合均匀,成为混合物;
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的弹性层光固化模具(图2)内,并充分充满模具内表面与基体之间的空隙;
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上;
(8)开机进行光固化;
(9)待光固化机停止运行后,等待5分钟,取出光固化好弹性层的抛光辊,待用。
[0050]
实例8:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层,厚度1.5_ ;用于精抛工序,该固结磨料抛光辊基体直径294_,宽度为600_,如图1所示。
[0051]拟配制100g的混合物:
(1)准备若干玻璃器皿及搅拌器,
(2)分别称量官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)300g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)200g、聚乙二醇二丙烯酸酯200g、1-羟基环己基苯基甲酮50g、磷酸三丁酯5g、对轻基苯甲醚40g、直径75Mm的核桃壳粉5g、线性大分子聚丙稀酸脂50g、UV金属底处理剂50go
[0052](3)将弹性层光固化模具(图2)安装在基体(4)的抛光辊上;
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为60r/min、模具上表面距光源30mm、回转工作台电机转速为60r/min、定时器设置5分钟;
(5)将称量好的官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)300g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)200g、聚乙二醇二丙烯酸酯200g倒入搅拌器,搅拌均匀,再倒入光引发剂、促进剂、填料、辅助剂、附着剂,充分搅拌混合均匀,成为混合物;
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的弹性层光固化模具(图2)内,并充分充满模具内表面与基体之间的空隙;
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上;
(8)开机进行光固化;
(9)待光固化机停止运行后,等待5分钟,取出光固化好弹性层的抛光辊,待用。
[0053]
实例9:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层,厚度1.5_ ;用于精抛工序,该固结磨料抛光辊基体直径294_,宽度为600_,如图1所示。
[0054]拟配制100g的混合物:
(1)准备若干玻璃器皿及搅拌器,
(2)分别称量官能度为3的聚酯丙烯酸酯100g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)300g、聚乙二醇二丙烯酸酯200g、三缩丙二醇二丙烯酸酯200g、l-羟基环己基苯基甲酮40g、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯40g、聚醚20g、对羟基苯甲醚20g、直径75Mm的核桃壳粉50g、线性大分子聚丙烯酸脂30g。
[0055](3)将弹性层光固化模具(图2)安装在基体(4)的抛光辊上;
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为60r/min、模具上表面距光源30mm、回转工作台电机转速为60r/min、定时器设置5分钟;
(5)将称量好的官能度为3的聚酯丙烯酸酯100g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)300g、聚乙二醇二丙烯酸酯200g、三缩丙二醇二丙烯酸酯200g倒入搅拌器,搅拌均匀,再倒入光引发剂、促进剂、填料、辅助剂、附着剂,充分搅拌混合均匀,成为混合物;
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的弹性层光固化模具(图2)内,并充分充满模具内表面与基体之间的空隙;
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上;
(8)开机进行光固化;
(9)待光固化机停止运行后,等待5分钟,取出光固化好弹性层的抛光辊,待用。
[0056]
实例10:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层,厚度1.5mm ;用于粗抛工序,该固结磨料抛光棍基体直径294_,宽度为600_,如图1所示。
[0057]拟配制100g的混合物:
(I)准备若干玻璃器皿及搅拌器, (2)分别称量官能度为3的聚酯丙烯酸酯150g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)200g、二乙二醇二丙烯酸酯200g、l,6-己二醇二丙烯酸酯250g、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯80g、磷酸三丁酯30g、对羟基苯甲醚30g、直径10Mm的核桃壳粉20g、UV金属底处理剂40g。
[0058](3)将弹性层光固化模具(图2)安装在基体(4)的抛光辊上;
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为60r/min、模具上表面距光源30mm、回转工作台电机转速为60r/min、定时器设置5分钟;
(5)将称量好的官能度为3的聚酯丙烯酸酯150g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)200g、二乙二醇二丙烯酸酯200g、l,6-己二醇二丙烯酸酯250g倒入搅拌器,搅拌均匀,再倒入光引发剂、促进剂、填料、辅助剂、附着剂,充分搅拌混合均匀,成为混合物;
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的弹性层光固化模具(图2)内,并充分充满模具内表面与基体之间的空隙;
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上;
(8)开机进行光固化;
(9)待光固化机停止运行后,等待5分钟,取出光固化好弹性层的抛光辊,待用。
[0059]
实例11:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层,厚度1.5_ ;用于精抛工序,该固结磨料抛光辊基体直径294_,宽度为600_,如图1所示。
[0060]拟配制100g的混合物:
(1)准备若干玻璃器皿及搅拌器,
(2)分别称量官能度为3的聚酯丙烯酸酯250g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)200g、二缩丙二醇二丙烯酸酯350g、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯40g、1-羟基环己基苯基甲酮10g、磷酸三丁酯30g、对羟基苯甲醚20g、直径75Mm的核桃壳粉60g、UV金属底处理剂40g。
[0061](3)将弹性层光固化模具(图2)安装在基体(4)的抛光辊上;
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为60r/min、模具上表面距光源30mm、回转工作台电机转速为60r/min、定时器设置5分钟;(5)将称量好的官能度为3的聚酯丙烯酸酯250g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)200g、二缩丙二醇二丙烯酸酯350g倒入搅拌器,搅拌均匀,再倒入光引发剂、促进剂、填料、辅助剂、附着剂,充分搅拌混合均勾,成为混合物;
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的弹性层光固化模具(图2)内,并充分充满模具内表面与基体之间的空隙;
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上;
(8)开机进行光固化;
(9)待光固化机停止运行后,等待5分钟,取出光固化好弹性层的抛光辊,待用。
[0062]
实例12:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层,厚度1.5mm ;用于粗抛工序,该固结磨料抛光棍基体直径294_,宽度为600_,如图1所示。
[0063] 拟配制100g的混合物: (1)准备若干玻璃器皿及搅拌器,
(2)分别称量官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)150g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)150g、三缩丙二醇二丙烯酸酯200g、二乙二醇二丙烯酸酯250g、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯25g、1-羟基环己基苯基甲酮25g、磷酸三丁酯30g、聚醚20g、对羟基苯甲醚30g、直径125Mm的核桃壳粉50g、线性大分子聚丙烯酸脂30g、UV金属底处理剂40go
[0064](3)将弹性层光固化模具(图2)安装在基体(4)的抛光辊上;
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为60r/min、模具上表面距光源30mm、回转工作台电机转速为60r/min、定时器设置5分钟;(5)将称量好的官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)150g、官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)150g、三缩丙二醇二丙烯酸酯200g、二乙二醇二丙烯酸酯250g倒入搅拌器,
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