基板搬运装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及搬运硅晶圆、玻璃晶圆等基板的基板搬运装置，尤其涉及具备搬运基板的两个手部的基板搬运装置。
【背景技术】
[0002]以往已知有称为多处理室系统(mult1-chamber system)的半导体处理设备。该多处理室系统具备多个半导体处理室以及装载室。半导体处理室以及装载室分别通过门与一个搬运室连接，在搬运室内配置有搬运装置。搬运装置从装载室以及半导体处理室取出晶圆后，将该晶圆搬运至下一个半导体处理室的规定的基板载置位置，并且载置于该基板载置位置。对搬运至基板载置位置的半导体晶圆实施规定的工艺处理，进而由搬运装置搬运至下一个基板载置位置。作为搬运装置，例如已知如专利文献I所公开的具备两个手部的搬运装置。
[0003]该搬运装置具有旋转连杆和两个手部机构。旋转连杆通过旋转用驱动机构进行转动。在旋转连杆上可转动地安装有手部机构的臂部。在手部机构的臂部上可转动地安装有手部机构的手部。两个手部机构的臂部分别通过臂部用传动带等连接于对应的手部用驱动机构。手部用驱动机构形成为使臂部用传动带工作而转动对应的臂部的结构。手部机构的手部通过联动机构连接于对应的手部机构的臂部。联动机构形成为使手部与手部机构的臂部的转动连动地旋转的结构。手部机构的手部形成为能够保持晶圆的结构。
[0004]形成为如上所述结构的搬运装置通过旋转用驱动机构使旋转连杆转动，且通过一侧的手部用驱动机构使对应于该手部用驱动机构的手部机构转动，以使该手部机构的手部朝与门的开口方向大致一致的方向行进，从而搬运保持于手部的晶圆。借助于此，能够避免晶圆或手部机构的臂部等与门接触。
[0005]现有技术文献:
专利文献:
专利文献1:日本特开2011-161554号公报。
【发明内容】
[0006]发明要解决的问题:
然而，专利文献I记载的搬运装置由于在一侧的手部机构伸展的期间，以使一侧的手部机构的手部朝向与门的开口方向大致一致的方向的形式由旋转用驱动机构转动旋转连杆，因此无法以使另一侧的手部机构的手部朝向与另一个门的开口方向大致一致的方向的形式由旋转用驱动机构转动旋转连杆，存在基板的搬运效率较低的问题。另外，这样的问题不限于半导体晶圆，由与多处理室系统具有相同结构的基板处理系统进行处理的半导体晶圆以外的基板中也同样地发生。
[0007]解决问题的手段:
为了解决上述问题，根据本发明的基板搬运装置具备:能够以旋转轴线为中心转动的旋转部;相对于包括所述旋转轴线的对称面对称地设置在所述旋转部的第一手部机构以及第二手部机构;和驱动所述第一手部机构以及第二手部机构的搬运装置驱动机构;所述第一手部机构包括:第一下臂部，其一端部安装于所述旋转部且能够以平行于所述旋转轴线的第一轴线为中心转动;第一上臂部，其一端部安装于所述第一下臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第二轴线为中心转动;第一手部，其梢端部是第一基板保持部，其基端部安装于所述第一上臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第三轴线为中心转动，并且从动于所述第一上臂部的转动进行转动;和使所述第一手部从动于所述第一上臂部的转动进行转动的第一从动机构;并且所述第一手部机构形成为如下结构:通过所述第一下臂部、所述第一上臂部以及所述第一手部的转动，能够使所述第一基板保持部在所述第一基板保持部离所述旋转轴线近的缩回位置、和相比于所述缩回位置第一基板保持部离所述旋转轴线远的伸展位置之间移动;所述第二手部机构包括:第二下臂部，其一端部安装于所述旋转部且能够以平行于所述旋转轴线的第四轴线为中心转动;第二上臂部，其一端部安装于所述第二下臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第五轴线为中心转动;第二手部，其梢端部是第二基板保持部，其基端部安装于所述第二上臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第六轴线为中心转动，并且从动于所述第二上臂部的转动进行转动；和使所述第二手部从动于所述第二上臂部的转动进行转动的第二从动机构；并且所述第二手部机构形成为如下结构:通过所述第二下臂部、所述第二上臂部以及所述第二手部的转动，能够使所述第二基板保持部在所述第二基板保持部离所述旋转轴线近的缩回位置、和相比于所述缩回位置第二基板保持部离所述旋转轴线远的伸展位置之间与所述第一基板保持部同步地移动。
[0008]根据该结构，能够同时驱动第一手部机构以及第二手部机构并进行基板的搬运，因此能够改善基板的搬运效率。此外，能够通过三个轴实现。
[0009]又，本发明的基板搬运装置能够应用于以如下形式配置的半导体处理设备，假定在从旋转轴线延伸的方向观察时以相等的中心角分割为两个假想区域，则使进行相同处理的处理室位于同一侧区域。
[0010]第一基板保持部形成为如下结构:以使保持于第一基板保持部的基板在所述对称面的一侧区域移动的形式执行动作;第二基板保持部形成为如下结构:以使保持于第二基板保持部的基板在所述对称面的另一侧的区域移动的形式执行动作。
[0011]根据该结构，能够防止保持于第一基板保持部以及第二基板保持部的基板相互干扰。
[0012]也可以是所述搬运装置驱动机构包括:使所述旋转部转动的第一驱动部;使所述第一下臂部以及第二下臂部联动地向相反方向转动的第二驱动部;和使所述第一上臂部以及第二上臂部联动地向相反方向转动的第三驱动部。
[0013]根据该结构，能够使基板搬运装置的结构简单化，又，有利于制造，且制造成本也低廉。
[0014]也可以是所述第一从动机构使所述第一手部从动于所述第一上臂部的转动且以1.35以上且1.65以下的减速比转动;所述第二从动机构使所述第二手部从动于所述第二上臂部的转动且以1.35以上且1.65以下的减速比转动。
[0015]根据该结构，能够以避开第一手部机构以及第二手部机构中任意一方手部机构的形式使另一方手部机构的手部从动于上臂部的转动并进行转动。
[0016]也可以是所述第一手部在所述缩回位置上采取从第三轴线越靠近第一基板保持部的中心则离所述对称面越远的姿势;所述第二手部在所述缩回位置上采取从第六轴线越靠近第二基板保持部的中心则离所述对称面越远的姿势。
[0017]根据该结构，能够防止由初始姿势的基板搬运装置的第一基板保持部以及第二基板保持部中任意一方基板保持部保持的基板干扰由另一方基板保持部保持的基板。
[0018]也可以是所述第一基板保持部以及第二基板保持部形成为如下结构:以其轨迹绘制实质上渐近于从所述旋转轴线以辐射状延伸的直线或者与该直线平行的直线的曲线的形式从所述缩回位置向所述伸展位置移动。
[0019]根据该结构，在伸展位置附近，第一基板保持部以及第二基板保持部能够以大致绘制直线的形式移动，因此能够使第一基板保持部以及第二基板保持部容易插入于基板处理室。
[0020]发明效果:
根据本发明，能够改善基板搬运装置的搬运效率。
【附图说明】
[0021]图1是示出具备根据本发明实施形态的基板搬运装置的半导体处理设备的构成例的俯视图；
图2是从斜上方观察图1的基板搬运装置的立体图；
图3是在铅锤方向上对图1所示基板搬运装置的第一手部机构以及其周边部分剖切后放大示出其截面的放大剖视图；
图4是在铅锤方向上对图1所示基板搬运装置的第二手部机构以及其周边部分剖切后放大示出其截面的放大剖视图；
图5是示意性地示出设置于图1所示基板搬运装置的旋转部的齿轮的俯视图；
图6是示出第一手部机构以及第二手部机构的动作的俯视图；
图7是示出基板搬运装置从图1状态下使第一手部机构以及第二手部机构伸出而使手部靠近门的状态的俯视图；
图8是示出基板搬运装置从图7状态下使第一手部机构以及第二手部机构进一步伸出而使手部插入于处理房的房间的状态的俯视图；
图9是示出基板搬运装置从图8状态下使第一手部机构以及第二手部机构进一步伸出而使手部移动至基板载置位置的状态的俯视图；
图10是示出基板搬运装置从图1状态下旋转而使第一基板保持部以及第二基板保持部位于朝向另一处理房的位置的状态的俯视图；
图11是示出基板搬运装置从图10状态下使第一手部机构以及第二手部机构伸出而使手部靠近门的状态的俯视图；
图12是示出基板搬运装置从图11状态下使第一手部机构以及第二手部机构进一步伸出而使手部插入于处理房的房间的状态的俯视图；
图13是示出基板搬运装置从图12状态下使第一手部机构以及第二手部机构进一步伸出而使手部移动至基板载置位置附近的状态的俯视图； 图14是示出基板搬运装置从图13状态下使第一手部机构以及第二手部机构进一步伸出而使手部移动至基板载置位置的状态的俯视图；
图15是示出基板搬运装置从图14状态下使第一手部机构以及第二手部机构缩回而从基板载置位置取出基板的状态的俯视图；
图16是示出基板搬运装置从图15状态下使第一手部机构以及第二手部机构缩回而使手部靠近门的状态的俯视图；
图17是示出基板搬运装置从图16状态下使第一手部机构以及第二手部机构缩回而使基板穿过门的状态的俯视图；
图18是示出基板搬运装置从图17状态下使第一手部机构以及第二手部机构缩回而恢复至初始姿势的状态的俯视图。
【具体实施方式】
[0022]以下，参照【附图说明】本发明的实施形态。
[0023]半导体处理设备:
图1是示出具备根据本发明实施形态的基板搬运装置I的半导体处理设备100的构成例的俯视图。半导体处理设备100是基板处理系统的一个示例。只要基板处理系统是在搬运空间的周围配置有多个处理基板的处理室，且在该搬运空间内配置有对各处理室取放基板的搬运装置这样的系统即可。如图1所示的半导体处理设备100是用于对基板P实施热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理以及平坦化处理等各种工艺处理的设