柔性玻璃光波导结构的制作方法
【专利说明】柔性玻璃光波导结构
[0001 ]本申请根据35U.S.C.§119要求2013年10月22日提交的美国临时申请系列第61/ 894139号的优先权，本文W所述申请的内容为基础并通过参考将其完整地结合于此。
[000^ 领域
[0003] 本发明设及光波导，具体来说，设及柔性玻璃光波导结构和由其形成的装置。
[0004] 背景
[0005] 随着微处理器的性能持续提高，用于到达处理器和离开处理器的数据流的电互连 日益变成总体系统性能的瓶颈。用光学互连取代电子互连可提供更高的带宽-长度乘积和 更高的密度。
[0006] 柔性的光波导互连可在光学互连技术中提供重要的组件，用于光学地连接中间系 统（例如板到板或忍片到忍片互连）。已提出将基于聚合物的柔性光波导作为短距离互连 件。但是，聚合物可能不适于高溫过程。因此，本领域仍然需要用于光学互连应用的柔性波 导和装置。
[0007] 概述
[000引改善光波导互连的技术之一是提供柔性玻璃光波导。柔性玻璃光波导包含由厚度 不大于约0.3mm的超薄柔性玻璃形成的基材，其还可耐受较高的溫度(例如，高于250°C )，运 适用于印刷电路板(PCB)加工。
[0009] 在W下的详细描述中提出了本发明的附加特征和优点，其中的部分特征和优点对 本领域的技术人员而言由所述内容而容易理解，或按文字描述W及附图中所述实施本发明 而被认识。应理解，前面的一般性描述和W下的详细描述都只是本发明的示例，用来提供理 解要求保护的本发明的性质和特性的总体评述或框架。
[0010] 包括的附图提供了对本发明原理的进一步理解，附图被结合在本说明书中并构成 说明书的一部分。附图图示说明了本发明的一个或多个实施方式，并与说明书一起用来说 明例如本发明的原理和操作。应理解，在本说明书和附图中掲示的本发明的各种特征可W W任意和所有的组合使用。作为非限制性例子，本发明的各种特征可相互组合如下：
[0011] 根据第一方面，光波导装置包含：
[0012] 柔性玻璃光波导结构，该柔性玻璃光波导结构包含厚度不大于约0.3mm的柔性玻 璃基材，该柔性玻璃基材具有透过该柔性玻璃基材传输光学信号的至少一个波导特征，该 至少一个波导特征由形成所述柔性玻璃基材的玻璃材料形成;和
[0013] 位于所述柔性玻璃基材表面上的电学装置。
[0014] 根据第二方面，提供如方面1所述的光波导装置，其中中间基材将电学装置连接到 所述柔性玻璃基材表面。
[0015] 根据第Ξ方面，提供如方面1所述的光波导装置，其中直接在所述柔性玻璃基材表 面上形成电学装置。
[0016] 根据第四方面，提供如方面1-3中任一项所述的光波导装置，其中所述电学装置是 第一装置，光波导装置还包含位于所述柔性玻璃基材表面上的第二装置。
[0017] 根据第五方面，提供如方面4所述的光波导装置，其中第二装置是光学装置，该光 波导装置包含由该柔性玻璃光波导结构携带的电连接，该电连接在第一装置和第二装置之 间发送电信号。
[0018] 根据第六方面，提供如方面1-5中任一项所述的光波导装置，其中电学装置是第一 装置，光波导装置还包含位于柔性玻璃基材相反的表面上的第二装置。
[0019] 根据第屯方面，提供如方面6所述的光波导装置，其中第二装置是光学装置，光波 导装置包含由柔性玻璃光波导结构携带的电连接，该电连接在第一装置和第二装置之间发 送电信号。
[0020] 根据第八方面，提供如方面7所述的光波导装置，其中电连接延伸穿过该柔性玻璃 基材。
[0021] 根据第九方面，提供如方面1-8中任一项所述的光波导装置，其中所述至少一个波 导特征件至少部分地被周围的柔性玻璃基材的玻璃材料限制。
[0022] 根据第十方面，提供如方面1-9中任一项所述的光波导装置，其包含透过柔性玻璃 基材传输光学信号的多个波导特征件。
[0023] 根据第十一方面，提供如方面1-10中任一项所述的光波导装置，其中所述至少一 个波导特征件至少部分地埋于柔性玻璃基材之内。
[0024] 根据第十二方面，提供如方面11所述的光波导装置，其中柔性玻璃基材具有相反 的宽表面，所述至少一个波导特征件与所述宽表面中的至少一个相交。
[0025] 根据第十Ξ方面，提供如方面11所述的光波导装置，其中所述至少一个波导特征 件埋于柔性玻璃基材之内，从而所述至少一个波导特征件的至少一部分与两个所述宽表面 都隔开。
[0026] 根据第十四方面，提供如方面1-13中任一项所述的光波导装置，还包含聚合物层， 该聚合物层涂覆柔性玻璃基材的宽表面。
[0027] 根据第十五方面，提供如权利要求1-14中任一项所述的光波导装置，其中至少一 个波导特征件的宽度不大于约100微米。
[0028] 根据第十六方面，一种装置组装件包含：
[0029] 基材；
[0030] 连接到所述基材的第一装置，其中第一装置是电学装置；
[0031 ]连接到所述基材的第二装置;和
[0032] 光学地连接第一装置和第二装置的柔性玻璃光波导结构，该柔性玻璃光波导包含 厚度不大于约0.3mm的柔性玻璃基材，该柔性玻璃基材具有至少一个波导特征件，该至少一 个波导特征件透过所述柔性玻璃基材在第一和第二光学装置之间传输光学信号，该至少一 个波导特征件由形成该柔性玻璃基材的玻璃材料形成。
[0033] 根据第十屯方面，提供如方面16所述的装置组装件，其中第一装置是位于基材的 一个宽表面上，第二装置位于基材的相反的表面上。
[0034] 根据第十八方面，提供如方面16或17所述的装置组装件，其中所述基材具有延伸 穿过基材厚度的开口，所述柔性玻璃光波导结构延伸穿过该开口。
[0035] 根据第十九方面，提供如方面16-18中任一项所述的装置组装件，其中所述柔性玻 璃光波导结构具有随着基材连续地延伸的一部分。
[0036] 根据二十方面，提供如方面16-19中任一项所述的光学结构，其中柔性玻璃光波导 结构具有与该基材隔开的一部分。
[0037] 根据二十一方面，提供如方面16-20中任一项所述的光学结构，其中第二装置是光 学装置。
[0038] 根据二十二方面，提供如方面16-21中任一项所述的光学结构，其中基材由多个层 形成，所述柔性玻璃光波导结构至少部分地在基材的多个层之间延伸。
[0039] 根据二十Ξ方面，光波导装置包含：
[0040] 柔性玻璃光波导结构，该柔性玻璃光波导结构包含厚度不大于约0.3mm的柔性玻 璃基材，该柔性玻璃基材具有透过该柔性玻璃基材传输光学信号的至少一个波导特征件， 该至少一个波导特征件由形成所述柔性玻璃基材的玻璃材料形成;和
[0041] 至少部分地埋于所述柔性玻璃基材之内的电学装置和/或光学装置。
[0042] 根据第二十四方面，提供如方面23所述的光波导装置，其中电学装置和/或光学装 置是第一装置，该电学装置和/或光学装置包含由所述柔性玻璃基材携带的第二装置。
[0043] 根据二十五方面，提供如方面24所述的光波导装置，其包含由所述柔性玻璃光波 导结构携带的电连接，该电连接在第一装置和第二装置之间携带电信号。
[0044] 附图简要说明
[0045] 参照附图，阅读本发明的W下详细描述，可W更好地理解本发明的运些方面、特征 和优点W及其