弹性波元件、滤波器元件以及通信装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及弹性波元件、滤波器元件以及通信装置。
【背景技术】
[0002]已知具有压电基板以及配置在压电基板的主面上的激励电极的弹性波元件。这种弹性波元件例如用于分波器的接收滤波器(Rx滤波器)或发送滤波器(Tx滤波器)。
[0003]在此，在分波器中Tx频带与Rx频带的间隔较窄的情况下，由于环境温度(_30°C?+850C )的变化从而频率会移动，因此难以满足Tx频带以及Rx频带所需要的透射特性以及衰减特性。作为解决这一问题的技术，存在使用进行了温度补偿的压电基板的技术(参照JP特开2007-214902号公报等)。
【发明内容】
[0004]发明要解决的课题
[0005]另外，对于这样的Tx频带以及Rx频带的间隔较窄的分波器，除了应对环境温度的变化所引起的频率移动以外，在滤波器特性中还要求高陡度。
[0006]本发明鉴于上述情况而作，其目的在于，提供一种能够提高滤波器特性的弹性波元件、具有该弹性波元件的滤波器元件以及具备它们的通信装置。
[0007]用于解决课题的手段
[0008]本发明的一实施方式所涉及的弹性波元件具备压电基板和配置在该压电基板的上表面的激励弹性波的IDT电极，该IDT电极具有:第I汇流条以及第2汇流条，其在与所述弹性波的传播方向交叉的方向上彼此对置;多个第I电极指，其从所述第I汇流条向所述第2汇流条侧延伸;和多个第2电极指，其从所述第2汇流条向所述第I汇流条侧延伸，并具有与所述多个第I电极指在所述传播方向上相邻的部分，连结所述IDT电极中的多个所述第I电极指的所述第2汇流条侧的前端部分的第I虚拟线、和连结所述IDT电极中的多个所述第2电极指的所述第I汇流条侧的前端部分的第2虚拟线，在将所述第I虚拟线与所述传播方向所成的角度设为第I倾斜角度ΘΑ、将所述第2虚拟线与所述传播方向所成的角度设为第2倾斜角度ΘΒ时，处于2°<ΘΑ< 10°且2°<ΘΒ< 10°的范围。
[0009]本发明的一实施方式所涉及的滤波器元件具有:上述弹性波元件;配置在所述压电基板上的、与所述弹性波元件串联连接的串联谐振器;和与所述弹性波元件并联连接的并联谐振器。
[0010]本发明的一实施方式所涉及的通信装置具备:天线；与该天线电连接的上述滤波器元件;和与该滤波器元件电连接的RF-1C。
[0011]发明效果
[0012]根据本发明的弹性波元件以及具备弹性波元件的滤波器元件，能够实现插入损耗的降低或通带的陡度的提高，能够提高滤波器特性。
[0013]此外，根据具备这些弹性波元件、滤波器元件的通信装置，通过这些元件的滤波器特性的提高从而能够进行良好的通信。
【附图说明】
[0014]图1是表示本发明的一实施方式所涉及的弹性波元件的构成的俯视图。
[0015]图2是相当于在图1的弹性波元件中以Ic-1c线切断时的剖面的剖视图。
[0016]图3是表示图1的弹性波元件的变形例的构成的俯视图。
[0017]图4是表示在图1的弹性波元件中倾斜角度Θ为0°的阻抗特性的图。
[0018]图5是表示制作图1的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0019]图6是表示制作图1的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0020]图7是表示制作图1的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0021]图8是相当于在本发明的一实施方式的变形例所涉及的弹性波元件中以图1的Ic-1c线切断时的剖面的剖视图。
[0022]图9是表示制作图8的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0023]图10是表示制作图8的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0024]图11是表示制作图8的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0025]图12是表示制作图8的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0026]图13是表示图1的弹性波元件的变形例的构成的俯视图。
[0027]图14是表示本发明的一实施方式的变形例所涉及的弹性波元件的构成的俯视图。
[0028]图15是表示本发明的一实施方式的变形例所涉及的弹性波元件的构成的俯视图，是将图14的弹性波元件的一部分进行放大后的放大俯视图。
[0029 ]图16是用于说明图14的弹性波元件的效果的示意图。
[0030]图17是表示制作图14的弹性波元件并进行测量后的结果的图。
[0031]图18是表示将图1的弹性波元件安装于电路基板的弹性波装置的构成的剖视图。
[0032]图19是表示本发明的一实施方式所涉及的滤波器元件的电路构成的图。
[0033]图20是表示比较例所涉及的滤波器元件的电路构成的图。
[0034]图21是通过仿真对图18、图19的滤波器元件进行计算的结果。
[0035]图22是表示本发明的一实施方式的变形例所涉及的滤波器元件的电路构成的图。
[0036]图23是通过仿真对图22的滤波器元件的滤波器特性进行计算的结果。
[0037]图24是表示图22的滤波器元件的变形例的构成的俯视图。
【具体实施方式】
[0038]以下，参照附图来说明本发明的实施方式所涉及的弹性波(SAW:SurfaceAcoustic Wave)元件。另外，以下的说明中所使用的图是示意图，附图上的尺寸比率等不一定与现实一致。
[0039]弹性波元件(以下也称作SAW元件)可以将某个方向设为上方或下方，但在下面，为了方便起见，定义正交坐标系xyz，并且将z方向的正侧设为上方，使用上表面、下表面等用语。
[0040](SAW元件的构成的概要)
[0041 ]图1是表示本发明的一实施方式所涉及的SAW元件I的构成的俯视图。图2是图1的Ic-1c线的#1』视图。
[0042]如图1所示，SAW元件I具有基板3、设置在基板3的上表面3a的激励(IDT:1nterDigital Transducer)电极5以及反射器7。此外，除此以外，SAW元件I还可以具有覆盖上表面3a的保护层、用于与IDT电极5进行信号的输入输出的布线等。
[0043]基板3由钽酸锂(LiTaO3)晶体所构成的具有压电性的单晶基板构成。更具体来说，基板3由36°?48°Y-X切割的LiTaO3构成。基板3的平面形状以及各种尺寸也可以适当设定。作为一例，基板3的厚度(ζ方向)例如为0.2mm以上且0.7mm以下。
[0044]IDT电极5由第I梳齿电极13A以及第2梳齿电极13B所构成的一对梳齿电极13构成。另外，以下，有时将第I梳齿电极13A以及第2梳齿电极13B简称为梳齿电极13，不对它们进行区别。此外，关于第I梳齿电极13A所涉及的构成等，有时如“第I汇流条21A”等那样，标注“第I”以及“A”，而关于第2梳齿电极13B所涉及的构成等，有时如“第2汇流条21B”等那样，标注“第2”以及“B”。此外，有时会省略这些“第I”、“第2”、“A”以及“B”。
[0045]如图1所示，梳齿电极13具有:彼此对置的2根汇流条21;从各汇流条21向其他汇流条21侧延伸的多个电极指23;以及在多个电极指23之间从各汇流条21向其他汇流条21侧延伸的多个伪(dummy)电极指25。而且，I对梳齿电极13配置为多个电极指23彼此交叉(啮合)。另外，也可以不配置伪电极指25。
[0046]弹性波在与多个电极指23正交的方向上传播。因此，在对基板3的晶体方位加以考虑的基础上，2根汇流条21配置为在与想使弹性波传播的方向交叉的方向上彼此对置，多个电极指23形成为在相对于想使弹性波传播的方向而正交的方向上延伸。
[0047]另外，弹性波的传播方向虽然根据多个电极指23的朝向等来设定，但在本实施方式中为了方便起见，有时会以弹性波的传播方向为基准来说明多个电极指23的朝向等。
[0048]此外，正交坐标系xyz被定义为如下的坐标系:X轴与电极指23正交(与弹性波的传播方向平行)，y轴与电极指23平行，ζ轴与IDT电极5正交。即，正交坐标系xyz不是以基板3的外形为基准而是以IDT电极5(弹性波的传播方向)为基准来定义的。
[0049]汇流条21例如形成为以大致固定的宽度呈直线状延伸的长条状，相对于弹性波的传播方向(X方向)倾斜。因此，汇流条21的彼此对置侧的缘部21a为直线状，此外，相对于弹性波的传播方向倾斜。汇流条21(缘部21a)的倾斜角度例如在2根汇流条21间彼此相同。另夕卜，汇流条21也可以与布线一体地形成。另外，汇流条21也可以相对于弹性波的传播方向不倾斜。
[0050]多个电极指23形成为以大致固定的宽度呈直线状延伸的长条状，并在弹性波的传播方向上以大致固定的间隔进行排列。如图2所示，一对梳齿电极13的多个电极指23设置为作为相邻的电极指23的中心间间隔的重复间隔的间距Pt例如与想要发生谐振的频率下的弹性波的波长λ的半波长同等。另外，作为间距Pt的重复间隔，也可以使用从相邻的电极指23的相同侧的端到端的间隔。此外，作为多个电极指23的间距Pt，能够使用相邻的2根电极指23的中心间间隔的平均值。
[0051 ] 波长λ(2Ρ?)例如设定为1.5μπι以上且6μπι以下。各电极指23的宽度wl根据SAW元件I所需要的电气特性等来适当设定，例如，相对于间距Pt而设定为0.3Pt以上且0.7Pt以