光扫描装置的校准方法和校准装置与流程

文档序号:13076566阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种应用于光扫描装置的校准方法,该光扫描装置具有:光纤,其具有被支承为能够振动的前端部;以及致动器,其使所述光纤的前端部在与该光纤的光轴垂直的方向上驱动,该校准方法包含如下的步骤:配置步骤(步骤S02),配置光位置检测器,该光位置检测器对来自光纤的前端部的出射光的位置进行检测;以及检测步骤(步骤S03),向光纤提供光,并且对该光纤的前端部进行驱动,通过光位置检测器来检测出射光的位置。使用干涉条纹抑制单元来执行检测步骤(步骤S03),该干涉条纹抑制单元抑制在到达光位置检测器的光路上所产生的干涉条纹。

技术研发人员:藤原真人;高田祐平
受保护的技术使用者:奥林巴斯株式会社
技术研发日:2015.03.18
技术公布日:2017.12.01
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